薄膜技術(shù)緒論ppt課件-wenkub.com
2025-04-30 06:00 本頁面
【正文】 薄膜科學(xué)涉及的領(lǐng)域： 薄膜科學(xué)的研究內(nèi)容 涉及材料學(xué) 、 化學(xué) 、 物理化學(xué) 、 表面物理學(xué) 、凝聚態(tài)物理學(xué) 、 電子學(xué)等內(nèi)容 。 按功能和應(yīng)用領(lǐng)域分類： ? 電子薄膜 ? 光學(xué)薄膜 ? 硬質(zhì)薄膜 、 耐蝕薄膜 、 潤滑薄膜 ? 裝飾薄膜 ? 包裝薄膜 ? 生物薄膜 ? 其它 薄膜的分類 電子薄膜： ? 半導(dǎo)體器件與集成電路中使用的導(dǎo)電和介電材料薄膜 ? 超導(dǎo)薄膜 ? 光電子器件中使用的功能薄膜 ? 薄膜敏感元件和固態(tài)傳感器薄膜 ? 薄膜電阻 ? 薄膜太陽能電池 ? 平板顯示器件 ? 薄膜聲表面波濾波器 ? 磁記錄薄膜和薄膜磁頭 ? 靜電復(fù)印機(jī)磁鼓薄膜 薄膜的分類 光學(xué)薄膜： ? 減反膜 ? 反射膜 ? 分光鏡和濾光片薄膜 ? 鍍膜玻璃 ? 光盤存儲介質(zhì)薄膜 ? 集成光學(xué)元件與光波導(dǎo)器件中介質(zhì)薄膜和半導(dǎo)體薄膜 薄膜的分類 工程薄膜： ? 硬質(zhì)薄膜 （ 用于工模具 、 量具 、 刀具等 ） TiN、 TiC、 TiB AlN ? 耐蝕薄膜 化工容器耐蝕非晶鎳膜 、 微晶不銹鋼薄膜 、 渦輪發(fā)動機(jī)葉片抗熱蝕薄膜等 。使之成為制造高溫、高壓、高功率和高頻強(qiáng)輻射條件下工作的電子器件的絕好材料。室溫下，金剛石的熱導(dǎo)率是銅的 5倍。cm1 1017 電子遷移率 /cm2(VK)1 20① 10～ 20 縱波聲速 /km 薄膜科學(xué)的應(yīng)用 TiC耐磨性好，能有效地提高刀具的抗月牙洼磨損能力，適合于低速切削及磨損嚴(yán)重的場合； TiN涂層具有低的摩擦系數(shù)，潤滑性能好，能減少切削熱和切削力，適合于產(chǎn)生融合和磨損的切削； Al2O3的高溫耐磨性、耐熱性和抗氧化能力比 TiC和 TiN好，月牙洼磨損率低，適合于高速、大切削熱切削；金剛石涂層硬度和熱導(dǎo)性高，摩擦系數(shù)很低，適合于有色金屬合金的高速切削；而復(fù)合涂層綜合幾種涂層材料的特點(diǎn)，目前以雙涂層和三涂層組合居多。 （ 2）耐熱涂層 燃?xì)鉁u輪發(fā)動機(jī)等需要較高溫度使用的機(jī)械部件。金屬導(dǎo)線上的搪瓷 到 700℃ ，磷酸鹽為基的 無機(jī)粘結(jié)劑 涂層到 1000℃ ，等離子噴涂氧化鋁涂層在 1300℃ ，都仍保持著良好的電絕緣性能。 耐磨和防護(hù)涂層技術(shù)可以有效地降低各類部件的機(jī)械磨損、化學(xué)腐蝕及高溫氧化傾向，從而延長使用壽命。 ? 直到上世紀(jì) 80年代 , 薄膜科學(xué)才發(fā)展成為一門相對獨(dú)立的學(xué)科 。 ? 薄膜材料研究不僅吸引了為數(shù)眾多的科技工作者 , 而且受到各國高技術(shù)產(chǎn)業(yè)界的廣泛關(guān)注 。這類產(chǎn)品已經(jīng)廣泛進(jìn)入我們的日常生活中。 而這類固體薄膜 ， 一般就僅以薄膜來稱呼 。 是一個(gè)單分子膜層 。 在這個(gè)領(lǐng)域中 ， 一些專門的知識進(jìn)一步發(fā)展成為一個(gè)個(gè)獨(dú)立的分支 ， 薄膜物理就是該領(lǐng)域中一個(gè)相當(dāng)重要的分支 。 薄膜科學(xué)的研究內(nèi)容包含了制備技術(shù) 、 分析方法 、 結(jié)構(gòu)觀察 、 薄膜的應(yīng)用以及薄膜的生長機(jī)理等及其豐富的內(nèi)容 。 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 薄膜科學(xué)的發(fā)展歷史 和液體薄膜相比較的話 ， 固體薄膜的歷史比較淺短 。 光學(xué)薄膜是薄膜科學(xué)中最早被深入研究的薄膜。
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