流固相非催化反應ppt課件-wenkub.com
2025-04-28 06:43 本頁面
【正文】 一、 CVD的基本類型 ： 一般式五種類型： ①熱解②還原 ③氧化④置換⑤歧化 818 超細顆粒化學氣相合成： 二、 CVD的主要技術 ：據化學反應的激活能形式不同，分四種 : ① 常壓化學氣相沉淀技術（熱能激活） ②減壓化學氣沉淀技術（熱能激活） ③等離子增強化學氣相沉淀（低溫等離子體中的載能電子激活 ) ④ 金屬有機化合物化學氣相沉淀 819 超細顆粒的化學液相合成 ? 一、通過液相反應生成沉淀： ? ①沉淀法：合成金屬氧化物。 ①考察溫度對不同控制步驟及總體速率的影響：溫度對化學 反應速率影響最明顯。ACASAg CCC ???0?ACC)248]()(2)(31[6 322????SCSCAgBe f fSBRRRRCbMDRt ?)258(62??AgBe f fSBf CbMDRt ?)268()1(2)1(31 32 ?????? BBfxxtt., ???? fSAge f f tRCD 則?effD811 化學反應控制 ? Ａ的濃度分布： ? 對不可逆反應， ? ＊ ? ＊ ? ＊ ? Note：由（ 829）知：若 ? 強化總體速率措施： 。 ? 一、外擴散速率、內擴散速率、表面化學反應速率： ????????????????????)38(4)28()(4:,)18)((4222ACCARRRAe f fCACASAsAgGSAkCRdtdnddCDRdtdnCACCCkRdtdnC???化未反應芯半徑隨時間變未知88 宏觀反應速率 ? 二、總體速率的一般計算式： ? 式 (82)中 可由Ａ的擴散過程的物料衡算導得： ? ? ? （ 87） ? 據加和法則：式（ 89） ?
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