【正文】 （當(dāng)量值），在同行業(yè)中處于較好水平?！倍嗑Ч枭a(chǎn)是可再生能源太陽能發(fā)電的基礎(chǔ)，可見本新建多晶硅項(xiàng)目，符合行業(yè)準(zhǔn)入條件。 余熱利用項(xiàng)目合理利用導(dǎo)熱油回收節(jié)能型大型還原爐生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)生的余熱，用于滿足各用熱負(fù)荷所需熱量。4）循環(huán)水泵、循環(huán)油泵、壓縮機(jī)等安裝變頻器。2. 設(shè)備節(jié)能本項(xiàng)目設(shè)備選型的原則是主要設(shè)備立足國內(nèi)，個(gè)別關(guān)鍵設(shè)備如處理含有氫氣、氯化氫和氯硅烷混和氣的氫壓縮機(jī)、液體氯硅烷輸送泵、關(guān)鍵的分析設(shè)備、關(guān)鍵的閥門儀表等可以考慮引進(jìn)合資產(chǎn)品。4）項(xiàng)目采用先進(jìn)的精餾、吸附等工藝和技術(shù)，有利于節(jié)約能源。工藝節(jié)能改良西門子法技術(shù)的特點(diǎn)是密封運(yùn)轉(zhuǎn)、閉路循環(huán)，采用節(jié)能型大型還原爐（本項(xiàng)目的核心設(shè)備），干法回收等技術(shù)，產(chǎn)品質(zhì)量高，原輔材料及電力消耗大為降低，每生產(chǎn)1公斤多晶硅的單耗與周內(nèi)目前水平相比各項(xiàng)單耗指標(biāo)都大幅度降低。SiHCl3直接送還原系統(tǒng)生產(chǎn)多晶硅。Si降200~250kW h／kg44638萬元=通過以上核算可以看出，項(xiàng)目實(shí)施后，；（當(dāng)量值）； 。耗水項(xiàng)目全年用水量50000噸， t/kg。保溫和保冷材料的選取以及外防護(hù)材料的選取符合節(jié)能要求。保證了生產(chǎn)裝置的安全操作、平穩(wěn)運(yùn)行，可大大提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。Si以下。 多晶硅還原設(shè)備（1）大型節(jié)能還原爐：12對(duì)棒大型節(jié)電還原爐生產(chǎn)多晶硅直徑可達(dá)Φ150mm，單臺(tái)年產(chǎn)量為40t，符合大規(guī)模生產(chǎn)的要求。 干法回收設(shè)備干法回收設(shè)備主要由換熱裝置、吸收裝置、儲(chǔ)存裝置和輸送設(shè)備組成。在變壓器選型方面，選用S1016000kVA（110kV），和S111250kVA（10kV），還原爐變壓器選用單臺(tái)配電容量為2270kVA多晶硅專用調(diào)壓變壓器，該變壓器能夠合理調(diào)整多晶硅還原工序隨結(jié)晶過程帶來的電阻變化引起的加熱熱功率變化，保證了結(jié)晶溫度，解決了多晶硅生產(chǎn)中物耗高、能耗高、成本高、污染嚴(yán)重及難實(shí)現(xiàn)規(guī)模生產(chǎn)問題。還原爐導(dǎo)熱油冷卻：由于多晶硅生產(chǎn)過程中各種物料要反復(fù)經(jīng)過多次加熱、冷卻過程，如對(duì)生產(chǎn)中余熱資源進(jìn)行合理利用，則可以大大降低能耗。濕法回收工藝消耗大、收率低，從而增加了整個(gè)多晶硅生產(chǎn)成本。熱硅棒經(jīng)冷卻后即多晶硅棒，每爐次的多晶硅棒經(jīng)過取樣檢測(cè)后，按照不同用戶的要求進(jìn)行切割、滾磨、破碎、清洗、烘干等加工處理后，最后進(jìn)行真空包裝。該工序能耗主要為導(dǎo)熱油吸收的還原爐余熱和電力。吸收塔內(nèi)不被吸收的氣體主要是氫氣，其中含有微量的氯硅烷、氯化氫，為進(jìn)一步凈化氫氣，采用活性炭吸附器吸附氫氣中的雜質(zhì)；三個(gè)活性炭吸附器通過時(shí)間程序控制，分別進(jìn)行吸附、再生、降溫。來自還原車間的尾氣（包括氫氣、氯化氫、二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅），經(jīng)過鼓泡氣氣換熱器冷卻后，進(jìn)入鼓泡淋洗塔，用氯硅烷循環(huán)屏蔽泵數(shù)佛那個(gè)的低溫氯硅烷鼓泡淋洗，還原尾氣中大部分四氯化硅、三氯氫硅絕大部分被溶解吸收后，返回氯硅烷貯罐供氯硅烷循環(huán)屏蔽泵使用，富裕氯硅烷通過氯硅烷輸送泵送往干法精餾工序。加壓冷凝后的不凝氣體主要是氫氣、氯化氫、二氯二氫硅，采用四氯化硅作為吸收劑，其中大量的氯化氫、二氯二氫硅在加壓低溫條件下被四氯化硅溶解吸收，氫氣分離出來。該工序能耗主要為導(dǎo)熱油吸收的還原爐余熱和電力。經(jīng)過如此多次反復(fù)部分氣化和冷凝，最終在氣相中得到較純的易揮發(fā)的低沸點(diǎn)組分如三氯氫硅，而在液相中得到較純的難揮發(fā)的高沸點(diǎn)組分如四氯化硅。第四章 項(xiàng)目工藝、技術(shù)、設(shè)備能效指標(biāo)多晶硅的制備工藝過程是元素硅的提純過程，它是將2個(gè)“9”的工業(yè)硅提純到7～11個(gè)“9”的高純硅，多晶硅的生產(chǎn)主要有改良西門子法、硅烷法和流化床法等方法，其中改良西門子法具有工藝技術(shù)成熟、安全性高、產(chǎn)品純度滿足微電子工藝需要等優(yōu)點(diǎn)，世界新建多晶硅生產(chǎn)裝置絕大多數(shù)采用改良西門子法。表37 每周期及年耗電耗核算表序號(hào)耗電工序電負(fù)荷，kW負(fù)荷系數(shù)運(yùn)行功率，kW每周期運(yùn)行時(shí)間,h每周期電耗，kWh1還原工序電耗18160 12712 288 3661056 2壓縮空氣電耗200 120 288 34560 3制氮電耗48 　48 288 13824 4制氫電耗360 　360 288 103680 5制冷電耗258 181 288 52038 6制純水電耗40 　40 288 11520 7其他工序電耗300 240 288 69120 每周期合計(jì)13701 　3945798 年產(chǎn)品周期按20核算，年電耗合計(jì)78915954 年耗電折標(biāo)準(zhǔn)煤（）,tce 本項(xiàng)目產(chǎn)品為直徑150mm，長為2200mm的太陽能級(jí)多晶硅棒，還原爐為12對(duì)棒加熱電極。制氮機(jī)組選型為BGpN29132+NCHa120變壓吸附制氮機(jī)組。 主要工藝設(shè)備一覽表設(shè)備類單位數(shù)量備注反應(yīng)器類（還原設(shè)備）臺(tái)8塔類座7容器類臺(tái)27換熱器類臺(tái)30風(fēng)機(jī)臺(tái)20泵臺(tái)10其它設(shè)備臺(tái)14 干法回收設(shè)備明細(xì)表序號(hào)設(shè)備名稱規(guī)格負(fù)荷，kW1還原尾氣緩沖罐Φ18004380 V = 10m3　2鼓泡氣氣換熱器 Φ500 2300 F = 3m3　3鼓泡琳洗塔Φ1400 7000　4氯硅烷儲(chǔ)罐 Φ1400 3380 V= 4m3　5氯硅烷循環(huán)屏蔽泵Q = 15m3 / h H = 45m 106鼓泡塔氯硅烷換熱器 Φ500 2300 F = 3m3　7氫壓機(jī)LW 9 / 一 0. 6 2008壓縮氣吸收氣換熱器 Φ500 2300 F = 30m3　9壓縮氣過冷器 Φ700 2500 F =40m3　10吸收塔Φ377 8154　11富液儲(chǔ)罐Φ12002050 V =2m3　12富液循環(huán)屏蔽泵Q = 15m3/ h H = 45m 1013貧液水冷器 Φ12001880 F = 8m3　14一級(jí)貧富液換熱器 Φ450 2074 F = 18m3　15二級(jí)貧富液換熱器 Φ450 2074 F = 18m3　16貧液過冷器 Φ10002880 F = 125m3　17脫吸塔Φ600~ Φ200010650　18脫吸塔頂冷凝器 Φ450 2374 F = 11m3　19脫吸塔再沸器 Φ10002800 F = 100m3　20二氯二氫硅儲(chǔ)罐Φ9001800 V =1m3　21吸收塔出口緩沖罐Φ18004380 V =10m3　22活性炭吸附器Φ200011000　23吸附后純氫儲(chǔ)罐Φ300014780 V =100m3　24導(dǎo)熱油水換熱器 Φ500 2300 F = 30m3　25導(dǎo)熱油膨脹槽 Φ14003380 V = 4m3　26冷油循環(huán)屏蔽泵Q = 15m3 / h H = 45m 1027袋式過濾器 Φ1400 2300 F = 15m3　28高效氫氣過濾器Q = 1200m3 / h 　 提純?cè)O(shè)備明細(xì)表序號(hào)設(shè)備名稱規(guī)格負(fù)荷，kW1合成粗餾1塔Φ420　2合戍粗餾 l ＃塔頂冷凝器 Φ500 1400 F = 20m3　3合成粗餾 1 ＃塔頂再沸器 Φ700 1200 F = 22m3　4合成粗餾 2 塔 Φ600　5合成粗餾 2 ＃塔冷凝器 Φ800 2000 F = 65m3　6合成粗餾 2 ＃塔再沸器 Φ1000 1150 F =44m3　7低沸物儲(chǔ)槽 Φ1800 4380 V =10m3　8粗餾產(chǎn)品儲(chǔ)槽 Φ1800 4380 V =10m3　9輸送泵HJZM 630/10精餾 1 ＃塔Φ460　11精餾 1 ＃塔冷凝器 Φ500 1400 F = 20m3　12精餾 1 ＃塔再沸器 Φ700 1200 F =22m3　13精餾 2 ＃塔 Φ600　14精餾 2 塔冷凝器 Φ800 2000 F = 65m3　15精餾 2 塔再沸器 Φ1000 1150 F =44m3　16干法精餾 1 ＃塔 Φ600　17干法精餾 1 ＃塔冷凝器 Φ800 1500 F =50m3　18干法精餾 1 塔再沸器 Φ1100 1400 F =62m3　19干法精餾 2 ＃塔 Φ900　20干法精餾 2 ＃塔冷凝器Φ10002000 F =110m3　21干法精餾 2 ＃塔再沸器Φ14001400 V =110m3　22精餾產(chǎn)品儲(chǔ)罐Φ18004380 V =10m3　23高沸物儲(chǔ)罐Φ22005780 V =20m3　24原料罐Φ22005780 V =20m3　25回收罐Φ18004380 V =10m3　 還原設(shè)備明細(xì)表序號(hào)設(shè)備名稱規(guī)格負(fù)荷，kW112對(duì)棒還原爐Φ140010002還原電氣　　3進(jìn)出氣換熱器　　4尾氣水冷器　　5H2 一油換熱器　　6三氯氫硅混合罐　　7導(dǎo)熱油加熱爐　　8導(dǎo)熱油水冷器　　9硅芯爐　　10液氬儲(chǔ)槽　　11多功能磨錐機(jī)　　12外園切斷機(jī)　　13硅芯清洗機(jī)　　14純水設(shè)備　　15石墨鍛燒爐410020002810 12016超聲波清洗機(jī)KWSQ1042　17烘箱AH47 AH480　,。其他設(shè)備包括塔類：提純塔為篩板塔，吸收塔、脫吸