cda系統(tǒng)及制程真空系統(tǒng)簡介精講-資料下載頁
2024-11-19 05:14本頁面
【正文】 壓力 真空度 ?負(fù)壓力單位or壓力單位(vac),第二十六頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空系統(tǒng)流程圖,第二十七頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空機(jī)組成,,,第二十八頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空機(jī)工作流程,空 氣 部 份,潤滑油部份,第二十九頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空機(jī)表件/圖控點(diǎn)/附屬組件,第三十頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空機(jī)~入口導(dǎo)引閥,真空開關(guān)設(shè)定：下限?26.0inHg 上限?28.0inHg,設(shè)備啟動(dòng)(真空度小于26.0inHg vac),真空度大于26.0inHg(vac) 小于28.0inHg(vac) (重載),真空度大于28.0inHg(vac) (輕載),第三十一頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),真空機(jī)~油溫控制器,第三十二頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),主電源回路/控制回路,,第三十三頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),主電源回路/控制回路,第三十四頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),控制回路,,第三十五頁，共三十八頁。,制程真空系統(tǒng),控制回路~Local/Cont,,,第三十六頁，共三十八頁。,~敬請(qǐng)指教~,第三十七頁，共三十八頁。,內(nèi)容總結(jié),壓縮干燥空氣及。離心式空氣壓縮機(jī)(螺旋式空氣壓縮機(jī))。吸附式干燥機(jī)(冷凍式干燥機(jī))。Bar (105 Pa)、Torr。1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi。1atm=29.92inHg=10,328mmAq=1.033kg/cm2=14.7Psi。=101,325Pa=1.01Bar=760Torr。=101,325Pa=1.01Bar=760Torr,第三十八頁，共三十八頁
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