【導讀】各式各樣的加速度計在不斷出現。本文從MEMS的發(fā)展入筆，羅列傳感器重。熱電偶式等各種傳感器，介紹相關原理和一些用途。感器作為方向，闡述相關設計原則和注意事項。針對微機械電容式加速度。論述加速度傳感器的相關優(yōu)化方案的選取，粱結構的優(yōu)化選擇和。體硅加工等系列方案選取。進而說明加速度計的主要失效模式和實效機理。最后選取一種加速度計，介紹其涉及到的MEMS工藝和工藝步驟。軟件的相關應用。MEMS技術發(fā)展的始點是集成電路技術。Intel公司1971年推出的Intel

　　

【正文】 電路開始相應變化，從開始震蕩到保持平穩(wěn)。 圖 Tspice仿真及 WEdit觀察波形 由于時間及個人能力水平有限，在計算機仿真方面做的不夠充分，希望在以后的學習工作中能夠繼續(xù)學習相關知識和 軟件，正真將課題做的完整和充分。 31 結論 近些年來，由 MEMS 的發(fā)展帶來的加速度傳感器技術的突飛猛進使人們生活得很多方面受益。國內外對加速度傳感器的研究正在不斷深入 ，軍工里面用到的高靈敏度和高可靠性的加速度傳感器，火箭等用到的高 G 值的加速度傳感器，能承載的加速度變化達到萬 G 以 上。 對于電容式加速度傳感器來說，基于電容變化的原理來對加速度進行檢測的微機械電容式加速度計具有制作工藝簡單、溫度系數小、穩(wěn)定性好、阻尼系數容易控制等優(yōu)點，因而得到了廣泛的應用。電容式加速度傳感器的基本參數如固有頻率，非線性度，分辨率、量程、穩(wěn)定性等首先取決于其本身結構。因此，對其進行結構設計研究具有重要的理論意義及應用價值。 電容式加速度傳感器的設計已經相當成熟 ， 但人們沒有停下探索的腳步。由于三明治式電容加速度計加工難度大，如果以后加工工藝和相關加工技術上有了突破，這種結構是較理想的，可做出精度較高、封閉 性較好的加速度計。 在這方面的研究上，美國 Litton 公司、德國 Litef 公司、瑞士 Neuchatel 大學以及日本日立公司和東北大學 用體硅加工法走在了前列。 梳齒式電容加速度計作為微加速度計中的一種典型結構，具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、結構相對簡單、功耗比較低、直流特性好等特點，但是容易受到電磁干擾。該類型的加速度計可以通過把若干極板面積較小的電容并連起來形成相對較大的電容以提高分辨率，而且可以制作反饋結構實現閉環(huán)控制，利于精度的提高。此外，此類型微加速度計的制作方法基本上與大規(guī)模集成電路的工藝技術相互兼容。綜 上便利條件，目前梳齒式微加速度計研究較多并已經得到了成功的應用。 在工藝選擇上，由于體硅加工可提高微機械傳感器的分辨率和精度，所以取代表面加工技術成為主要研究方向。在設計方案選取上，定齒偏置由于其橫向尺寸較小，敏感軸方向尺寸較大，鍵合塊少，單塊鍵合面積大，大大降低了鍵合難度，接觸電阻小而均勻，而且加工難度小，分辨率卻較大，精度也高，表現出優(yōu)良的綜合性能。 相信通過 人們不斷地研究和論證，未來的加速度傳感器 必將 在靈敏度 ，線性度和響應特性上有較大提高，傳感器的 測量動態(tài)范圍加大，具有低的漂移，提高了抗干擾能力，得到 高的可靠性。在人們日益注重效率和效益的今天，加速度傳感器的開發(fā)成本和時間必將大大地降低。使得這些性能優(yōu)良的加速度計為人類造福。 32 謝辭 在 經過 了 幾個月的查 閱 資料、整理材料、寫作論文 之后 ， 如今 終于可以順利的完成論文的 寫作 了， 琢磨良久 ，寫下這 段謝 辭 。 我的這篇 論 文 能夠及時 完成，要感謝 我的畢業(yè)論文導師張 老師 ，因為論文 正是在 張 老師 的悉心指導下完成的。 張老師 淵博的專業(yè)知識，嚴謹的治學態(tài)度，精益求精的工作作風，誨人不倦的高尚師德，嚴以律己、寬以待人的崇高風范，樸實無華、平易近人的人格魅力 更是 對 我影響深遠。本論文從選題到完 成，每一步張老師都給予了極大的幫助， 傾注了 他 大量的心血。 同時，論文的順利完成 也 離不開其它 的 老師、同學和 朋友的關心 以和 幫助。在整個的論文寫作 過程 中， 院系相關 老師 ，身邊的 同學和朋友 都默默地 幫助我查閱 資料和提供有利于論文寫作的 寶貴 建議和意見，在他們的幫助下，論文 才 得以不斷的完善。 通過此次 畢業(yè) 論文 的寫作 ，我學到了很多 的 知識， 突破 了傳統(tǒng)方式下的教與學的體制束縛 。 在論文的寫作過程中，通過查 閱 資料和搜集有關的文獻，培養(yǎng)了我的 自學能力和動手能力 ， 并且由原先的被動的接受知識轉換為主動的尋求知識，這可以說是學習方法上的一個 很大的突破。在以往的傳統(tǒng)的 學習模式下，我們可能會記住很多的書本知識，但是通過畢業(yè)論文，我 學會了如何將學到的知識轉化 成 為自己的東西， 也 學會了怎 么更好 地 處理知識和實踐相結合的問題。 在論文的寫作過程中 ，我 也學到了做任何事情所要有的 認真 態(tài)度和 平衡 心態(tài) 。 首先做學問要一絲不茍，對于發(fā)展過程中出現的任何問題和偏差都不 能 輕視，要通過正確的途徑 加以 解決 ；其次， 做 任何 事情 都 要有耐心和毅力，不要一遇到困難就 打 退堂鼓 ， 只要堅持下去就 一定 可以找到思路去解決問題 ；最后，就是 要學會與人合作，這樣做起事情來就可以事倍功半。 總之， 在 此次 論文的寫作過程 中 ，我收獲了很多， 既 為大學 的 四年 生活與學習 劃上了一個完美的句號，也為將來 到工作崗位上 做 了一個很好的鋪墊。 33 參考文獻 [1] Wenmin Qu, et of a 3D differentialcapacitive acceleration sensor by UVLIGA[J].Sensors and Actuators 77(1999)1420. 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