多晶硅鑄錠爐操作與生產(chǎn)流程(ppt31頁)-資料下載頁
2025-02-15 15:22本頁面
【正文】 3 裝料盡可能以不超高為目標(biāo)。 4 裝料完畢后要對坩堝四壁清理。 進(jìn)爐 步驟： 1 小心用專用叉車將裝 好硅料的坩堝從小推 車上升起。 2 使用專用叉車將坩堝 放到石墨交換臺上。 3 放入交換臺時應(yīng)緩慢下 降。 4 坩堝盒與交換臺四周距 離 41177。 2 cm. 原料進(jìn)爐 監(jiān)控 步驟： 1 合上爐體，關(guān)上夾具。 2 點(diǎn)慢速抽真空按鈕，慢 抽真空。 3 檢查水，電，氣等相關(guān)輔助設(shè)備并記錄各項參數(shù)。 4 當(dāng)真空抽到 始運(yùn)行。 5 熔化第十步會有報警需 人工確認(rèn)。 6 長晶第六步會有報警需 人工確認(rèn)。 7 長晶第七步會有報警需 人工確讓。 出爐 步驟： 1 打開爐體，使用專用叉 車將結(jié)晶好的硅錠從爐 體取出。 2 緩慢得將硅錠放到專用 的推車上，蓋上保溫 罩，拉到指定點(diǎn)。 3 標(biāo)注高溫，小心燙傷。 脫錠入庫 步驟： 1 取出石墨側(cè)板，脫掉石 英坩堝。 2 對硅錠四周進(jìn)行清理衛(wèi) 生。 3 標(biāo)注硅錠編號入庫。 注意事項 1 在生產(chǎn)過操作程中應(yīng)穿戴防護(hù)服、手套、口罩。 2 設(shè)備在運(yùn)行過程中，禁止隨意開、關(guān)，點(diǎn)擊操作 界面。 3 在需要確認(rèn)熔化，透頂報警時，要通過確認(rèn)后方 可跳步。長角報警時按取消鍵以使這步按設(shè)定工 藝走完。 4 遇到斷水時，應(yīng)在最短時間內(nèi)切換使用備用水 以保證設(shè)備的安全。 5 在處理突發(fā)事件時，同時要注意人身安全。 6 外圍輔助設(shè)備發(fā)生故障時及時聯(lián)系當(dāng)班人員修復(fù)。 演講完畢，謝謝觀看！
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