基本光刻工藝之從曝光到最終檢驗(yàn)-資料下載頁(yè)
2025-02-06 01:04本頁(yè)面
【正文】 同刻蝕一樣 ， 等離子體工藝也可用于光刻膠去除 。 將晶園放置于反應(yīng)室中并通入氧氣 ， 等離子場(chǎng)把氧氣激發(fā)到高能狀態(tài) ， 從而將光刻膠成分 第九章 基本光刻工藝 從曝光到最終檢驗(yàn) － 38－ ? 光刻版制作 這一節(jié)簡(jiǎn)單介紹光刻版的制作過(guò)程 。 最初的光刻版是由涂上 感光乳劑的玻璃板 制成 ， 但由于感光乳劑容易劃傷 ， 在使用中變質(zhì)且不能分辯 3181。m以下的圖形 ， 現(xiàn)在最常用的感光版使用 玻璃涂敷鉻技術(shù) 。 制做過(guò)程如圖所示 。 最受歡迎的光刻版制作材料是 硼硅酸鹽玻璃或石英 ，它們有良好的尺寸穩(wěn)定性和曝光波長(zhǎng)的傳輸性能 。 ? 靜夜四無(wú)鄰，荒居舊業(yè)貧。 , February 25, 2023 ? 雨中黃葉樹，燈下白頭人。 01:03:3001:03:3001:032/25/2023 1:03:30 AM ? 1以我獨(dú)沈久，愧君相見頻。 :03:3001:03Feb2325Feb23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 01:03:3001:03:3001:03Saturday, February 25, 2023 ? 1乍見翻疑夢(mèng)，相悲各問(wèn)年。 :03:3001:03:30February 25, 2023 ? 1他鄉(xiāng)生白發(fā)，舊國(guó)見青山。 2023年 2月 25日星期六 上午 1時(shí) 3分 30秒 01:03: ? 1比不了得就不比，得不到的就不要。 。 2023年 2月 上午 1時(shí) 3分 :03February 25, 2023 ? 1行動(dòng)出成果，工作出財(cái)富。 2023年 2月 25日星期六 1時(shí) 3分 30秒 01:03:3025 February 2023 ? 1做前，能夠環(huán)視四周；做時(shí)，你只能或者最好沿著以腳為起點(diǎn)的射線向前。 上午 1時(shí) 3分 30秒 上午 1時(shí) 3分 01:03: ? 沒(méi)有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 , February 25, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒(méi)有。 01:03:3001:03:3001:032/25/2023 1:03:30 AM ? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 :03:3001:03Feb2325Feb23 ? 1世間成事，不求其絕對(duì)圓滿，留一份不足，可得無(wú)限完美。 01:03:3001:03:3001:03Saturday, February 25, 2023 ? 1不知香積寺，數(shù)里入云峰。 :03:3001:03:30February 25, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 2月 25日星期六 上午 1時(shí) 3分 30秒 01:03: ? 1楚塞三湘接，荊門九派通。 。 2023年 2月 上午 1時(shí) 3分 :03February 25, 2023 ? 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 2023年 2月 25日星期六 1時(shí) 3分 30秒 01:03:3025 February 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來(lái)秋。 上午 1時(shí) 3分 30秒 上午 1時(shí) 3分 01:03: ? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 , February 25, 2023 ? 閱讀一切好書如同和過(guò)去最杰出的人談話。 01:03:3001:03:3001:032/25/2023 1:03:30 AM ? 1越是沒(méi)有本領(lǐng)的就越加自命不凡。 :03:3001:03Feb2325Feb23 ? 1越是無(wú)能的人，越喜歡挑剔別人的錯(cuò)兒。 01:03:3001:03:3001:03Saturday, February 25, 2023 ? 1知人者智，自知者明。勝人者有力，自勝者強(qiáng)。 :03:3001:03:30February 25, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 2月 25日星期六 上午 1時(shí) 3分 30秒 01:03: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過(guò)于提升自我。 2023年 2月 上午 1時(shí) 3分 :03February 25, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 2023年 2月 25日星期六 1時(shí) 3分 30秒 01:03:3025 February 2023 ? 1一個(gè)人即使已登上頂峰，也仍要自強(qiáng)不息。 上午 1時(shí) 3分 30秒 上午 1時(shí) 3分 01:03: MOMODA POWERPOINT Lorem ipsum dolor sit amet, consectetur adipiscing elit. Fusce id urna blandit, eleifend nulla ac, fringilla purus. Nulla iaculis tempor felis ut cursus. 感謝您的下載觀看 專家告訴
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