【正文】
大面積遞增及多級數(shù)的相關(guān)生產(chǎn)議題,亦已經(jīng)有人開始討論。因此,薄膜制造在工業(yè)上可以說已邁入新紀元。 PLD的應(yīng)用前景 對激光器要求 ? 盡可能避免熱效應(yīng):激光波長越短,越容易實現(xiàn)“冷加工”。所以 193nm,248nm的準(zhǔn)分子激光器和 266nm,355nm的高次諧波 ND:YAG固態(tài)激光器為常用的。 ? 大能量,短脈沖創(chuàng)造要超過靶材的閾值的功率密度 對激光器要求 ? 比較高的重復(fù)頻率,提升濺射速度。 ? 激光器使用簡單,壽命長,易于維護(這一點Nd:YAG固態(tài)激光器要好于準(zhǔn)分子激光器) The end Thank you! 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAIT