田口式品質(zhì)工程概況-資料下載頁(yè)
2025-01-08 17:39本頁(yè)面
【正文】 28 Rene Kao 步驟三：因子的配置 記號(hào) 1 2 3 A . . B C 10 20 30 D 5 min 10 min 15 min 行 A 1 B 2 C 3 D 4 S(晶圓面內(nèi)位置 ) 號(hào) 電鍍時(shí)間 電鍍槽溫度 氨水 還原劑量 a b c d e No 1 1 1 1 1 2 1 2 2 2 3 1 3 3 3 4 2 1 2 3 5 2 2 3 1 數(shù) 據(jù) 6 2 3 1 2 7 3 1 3 2 8 3 2 1 3 9 3 3 2 1 步驟四：決定實(shí)驗(yàn)順序，進(jìn)度安排 因子與水準(zhǔn) 因子配置表 13A12B2C1DC?40?? ?49 3L2023/1/26 29 Rene Kao 步驟五：實(shí)驗(yàn)及收集數(shù)據(jù) 行 A B C D Ni膜厚數(shù)據(jù) (單位 :刻度 ) 號(hào) 1 2 3 4 a b c d e No 1 1 1 1 1 2 1 2 2 2 3 1 3 3 3 4 2 1 2 3 5 2 2 3 1 6 2 3 1 2 7 3 1 3 2 8 3 2 1 3 9 3 3 2 1 實(shí)驗(yàn)的配置及數(shù)據(jù) 2023/1/26 30 Rene Kao 步驟六：數(shù)據(jù)分析及決定最適條件 (1) SN比 之計(jì)算 (2) 靈敏度 S之計(jì)算 (3) 作出各個(gè)樣本 SN比 和靈敏度 S一覽表 樣本 NO. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 4 8 4 7 8 6 3 2 2023/1/26 31 Rene Kao (4) 求各因子水準(zhǔn)的 SN比 及靈敏度 S之平均值 (5) 作出各因子和各水準(zhǔn)的 SN比 及靈敏度 S的一覽表 要因 1 2 3 Max Min A B C D 要因 1 2 3 Max Min A B C D 9 9 1 SN比 之一覽表 (db) 靈敏度 S 之一覽表 (db) 2023/1/26 32 Rene Kao 回 應(yīng) 圖 A B C D 24 2220 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 2 1 2 3 1 2 3 1 2 3 1 2 3 A : 電鍍時(shí)間 B : 電鍍槽溫 C : 氨水量 D : 還原劑量 2023/1/26 33 Rene Kao (6) 決定各要因的最適條件 ? 減少變異 → 選擇 中最大水準(zhǔn) → ?符合目標(biāo)值 → 選擇對(duì) 不太發(fā)生效果並且大幅度改變膜厚值的要因 調(diào)整那一因子？ 調(diào)整因子 調(diào)整 B因子時(shí)品質(zhì)變動(dòng)不大 調(diào)整多少 ？ 電鍍膜厚的目標(biāo)值 之最大水準(zhǔn)的靈敏度值 ?最適條件 → → 內(nèi)差法求 B因子的溫度 ?2023/1/26 34 Rene Kao 步驟七：最適條件之效果的推定 調(diào)整前 調(diào)整後 SN比 之估計(jì) 靈敏度 S之估計(jì) 的估計(jì) 的估計(jì) 與目標(biāo)值之比較 步驟八：確認(rèn)實(shí)驗(yàn) 32321 DCBBA ﹑之間﹑與﹑y? ?? 3y T3D1C1B2A ???????????? T3D2C1 ????????? 3D1C1B2 ????? ? ? 3D2CB2B1A SSSS21SS? ???? ?? 20S? ?? 20 ??? ??? ),( ??? ),( ??? ),( ??? ),( ???2023/1/26 35 Rene Kao 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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