材料學(xué)科發(fā)展概況與制備材料新技術(shù)-資料下載頁(yè)
2025-01-08 05:24本頁(yè)面
【正文】 高頻放電按頻率可分為射頻（＜ 105 MHz）放電和微波放電，前者又有感應(yīng)耦合和電容耦合兩種不同方式微波發(fā)生器環(huán)形器定向耦合器矩形波導(dǎo)三螺針調(diào)配器發(fā)射天線等離子體球基板石英鐘罩均流罩模式轉(zhuǎn)換器樣品臺(tái)電容耦合 電感耦合反應(yīng)氣體真空泵真空計(jì) 等離子體的特性(1) 等離子體的溫度 ε= mv 2 = kT 低溫等離子體：部分電離的等離子體 平衡等離子體＝高壓等離子體＝熱等離子體 非平衡等離子體＝低壓等離子體＝冷等離子體 高溫等離子體：完全電離的等離子體（ 2）等離子體的濃度（密度） 需用正離子濃度和電子濃度表征，當(dāng)?shù)入x子體中 只有一價(jià)正離子時(shí)，可用等離子體濃度等效描述 （ 3）等離子體的電離度 A＝ A+＋ e α ＝ （ 4）電中性和德拜長(zhǎng)度 λ D＝（ 5）導(dǎo)電性和磁控性 等離子體具有很強(qiáng)的導(dǎo)電性，并可用磁場(chǎng)控 制它的行為，如電弧的旋轉(zhuǎn)、穩(wěn)定和熄滅等 等離子體化學(xué) 等離子體中含有大量電子、離子和其他高能粒子（如處于激發(fā)態(tài)的原子、分子）， 既可活化其他反應(yīng)物，也可作為活性反應(yīng)物直接參與反應(yīng)。 這種高活性反應(yīng)環(huán)境所產(chǎn)生的熱力學(xué)和動(dòng)力學(xué)效應(yīng)，已廣泛用于材料的制備和加工處理（ 1）電子參與的反應(yīng) H2O + e OH* (激發(fā)態(tài) ) + H O2 + e O2+ 、 O+、 O－ H2 + e H2+ 、 H+、 H、 H－ N2 + e N2+ 、 N+、 N2m (亞穩(wěn)態(tài) )、 N* I2 + e I2－ 、 I－ 、 I+ C2H2 + e CH+ + CH + 2e（ 2）離子參與的反應(yīng)Ar+ ＋ H2 ArH+ ＋ HAr+ ＋ NH3 ArH+ ＋ NH2Ar+ ＋ HCl ArH+ ＋ ClAr+ ＋ H2 Ar ＋ H2+C2H2+ ＋ C5H6 C2H2 ＋ C5H6+（ 3）激發(fā)態(tài)粒子參與的反應(yīng)Ar* ＋ AB Ar ＋ AB+Ar* ＋ AB Ar ＋ A ＋ BHe* ＋ H2O He ＋ H ＋ OH 等離子體技術(shù)在材料制備中的應(yīng)用（ 1）利用弧光放電 制備超微粉體（ 2）物理氣相沉積（ 3）化學(xué)氣相沉積 激光技術(shù) 激光也是材料制備和加工的重要手段 激光的產(chǎn)生l 受激吸收l(shuí) 自發(fā)發(fā)射l 受激發(fā)射l 粒子數(shù)反轉(zhuǎn) 激光的特點(diǎn)l 單向性：方向完全一致的軸向光l 單色性：頻率只對(duì)應(yīng) ν 21＝ (E2E1)/hl 超高光強(qiáng)：能在幾微米至幾十微米直徑范圍內(nèi)， 產(chǎn)生幾萬(wàn)乃至幾百萬(wàn)度高溫 激光在材料領(lǐng)域的應(yīng)用（ 1）材料表面改性l 表面摻雜、局部退火和外延生長(zhǎng)l 形成非晶態(tài)（冷卻速率 1014K/s）l 表面涂層（ 2）材料加工 激光打孔 激光切割 激光焊接（ 3）激光制備超微粉（ 4）激光化學(xué)氣相沉積教學(xué)要求（ 3）低溫等離子體有哪些類(lèi)型？熱等離子體、 冷等離子體、低壓等離子體、高壓等離子 體、平衡等離子體和非平衡等離子體之間 是什么關(guān)系？（ 4）激光的主要特點(diǎn)演講完畢，謝謝觀看！
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