其他精密與特種加工技術(shù)-資料下載頁(yè)
2024-10-09 15:55本頁(yè)面
【正文】 上光學(xué)像的對(duì)比度，提高分辨率，同時(shí)焦深、像亮度曝光量和寬容度也得到改善。 36 2. CQUEST和 SHRINC技術(shù) CQUEST的原理是選擇和控制用于微細(xì)圖形成像的照明光，使通過(guò)透鏡的光程達(dá)到優(yōu)化，以提高像質(zhì)和增加焦深。 SHRINC方法也可用在準(zhǔn)分子激光照明情況下，并可與相移掩模結(jié)合使用。當(dāng)與 i線(xiàn)分步重步光刻機(jī)結(jié)合時(shí)，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 64 Mbit DRAM；當(dāng)與 KrF準(zhǔn)分子激光光刻結(jié)合時(shí)，可用于大規(guī)模生產(chǎn) 256 Mbit DRAM；進(jìn)一步與ArF(193 nmm)準(zhǔn)分子激光光刻和相移掩模結(jié)合，可望用于 1 Gbit DRAM的生產(chǎn)。 37 磁性磨料加工 磁性磨料研磨加工按磨粒的狀態(tài)分為干性研磨和濕性研磨兩種。 干性研磨使用的磨料是干性磨料；濕性研磨是將磨料與不同的液體混合。這兩種方式都能進(jìn)行拋光、去毛刺和棱邊倒圓。這里主要介紹干性磁力研磨。 38 加工原理 干性磁力研磨的示意圖如右圖所示。把磁性磨料放入磁場(chǎng)中，磁性磨料在磁場(chǎng)中將沿著磁力線(xiàn)的方向有序地排列成磁力刷。把工件放入 NS磁極中間，并使工件相對(duì) N極和 S極保持一定的距離，當(dāng)工件相對(duì)磁極作相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，磁性磨料將對(duì)工件表面進(jìn)行研磨加工。 39 磁性磨料 磁性磨料的制造工藝雖不完全相同，但使用的原材料是基本相同的。常用的原料是鐵加普通磨料 (例如 A12O SiC等 )。 一般的制造方法是將一定粒度的 A12O3或 SiC與鐵粉混合、燒結(jié)，然后粉碎、篩選，制成一定尺寸的磁性磨料，如右圖所示。 40 加工工藝參數(shù)對(duì)加工質(zhì)量的影響 1. 磁場(chǎng)強(qiáng)度的影響 加工間隙中的磁感應(yīng)強(qiáng)度大小可以通過(guò)改變勵(lì)磁電壓的大小來(lái)控制。當(dāng)勵(lì)磁電壓一定時(shí)，磁性磨料受到的作用力與磁感應(yīng)強(qiáng)度的平方成正比。增大加工間隙中的磁感應(yīng)強(qiáng)度，就能有效地提高研磨拋光效率，因此，要正確選用勵(lì)磁電壓。應(yīng)根據(jù)工件的尺寸、工件材質(zhì)、工件加工表面粗糙度的要求等合理選擇電壓值。一般粗加工時(shí)應(yīng)選用較大的磁場(chǎng)強(qiáng)度。 41 2. 加工間隙的影響 當(dāng)磁性磨料、工件轉(zhuǎn)速、勵(lì)磁電壓一定時(shí)，應(yīng)正確選擇加工間隙的大小。試驗(yàn)結(jié)果和理論分析都證明：加工間隙增大，磁感應(yīng)強(qiáng)度會(huì)減??；加工間隙小，則磁感應(yīng)強(qiáng)度大。在粗加工時(shí)，加工間隙要盡量選?。痪庸r(shí)，加工間隙要選大。加工間隙大小的值應(yīng)根據(jù)具體的加工要求而定。 42 3. 磁極形狀的影響 為了有效和可靠地工作，必須正確設(shè)計(jì)磁極的形狀。若磁極的中央部分是圓弧，中央部分不容易保存磁性磨粒，中央部分就沒(méi)有研磨作用，降低了磁極的利用率。若在磁極圓弧的中央開(kāi)槽，則磁性磨料的受力狀態(tài)改變，使中央部分集中了磁性磨粒，使磁極利用率提高。同時(shí)，磁極形狀的設(shè)計(jì)應(yīng)使磁性磨料在加工間隙中受到更大的磁場(chǎng)力，從而提高磁力研磨的加工效率。 43 應(yīng)用實(shí)例 1. 利用回轉(zhuǎn)磁極研磨球面（下圖所示） 工具磁極的端面為球面，兩個(gè)工具磁極繞同一軸線(xiàn)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。研磨時(shí)，工件不但轉(zhuǎn)動(dòng)，而且擺動(dòng)，但球心始終不動(dòng)。利用這種方法研磨，可以在幾分鐘內(nèi)將球面從 6研磨拋光成為 Ra 。 44 2．磁力研磨階梯形零件 (下圖所示 ) 利用磁力研磨方法拋光圓柱階梯形零件，可以將棱邊上20~30高度的毛刺在幾分鐘內(nèi)去除，研磨成的棱邊圓角半徑為 ，這是其他方法無(wú)法或者很難實(shí)現(xiàn)的，在精密耦合件中用來(lái)拋光和去毛刺十分有效。 磁性磨料研磨加工技術(shù)主要用于精密機(jī)械零件的表面精整和去毛刺。去毛刺的高度不能超過(guò) 。通常用于液壓元件的閥體內(nèi)腔拋光及去毛刺，效率高、質(zhì)量好，棱邊倒角可以控制在 ，這是其他加工方法難以實(shí)現(xiàn)的。 磁性磨料研磨加工技術(shù)還可以用于油泵齒輪、軸瓦、軸承、異型螺紋滾子等的研磨拋光。 45 階梯形零件的磁力研磨
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