cuc擴(kuò)散爐-資料下載頁
2025-08-04 08:48本頁面
【正文】 有超溫，斷偶，斷水報警功能。 CUC擴(kuò)散爐設(shè)備主要特點(diǎn) SP 氣控系統(tǒng) 凈化臺系統(tǒng) 設(shè)備是由工控機(jī)和 PLC 聯(lián)手控制管理有效的防 止了上位工控死機(jī)使得 設(shè)備無法繼續(xù)工作的現(xiàn) 象。 CUC擴(kuò)散爐設(shè)備主要技術(shù)規(guī)格 ? 尾氣排放方式：集中收集定向排放 ? 凈化工作臺精華級別： 1000級（環(huán)境 10000級） ? 送片方式： SIC懸臂獎自動送片機(jī)構(gòu)，運(yùn)動速度 20~500mm/min連續(xù)可調(diào)； ? 送片機(jī)構(gòu)定位精度； ≤ 177。2mm, SIC懸臂獎最多大在片量 17kg. ? 設(shè)備總功率：最大總功率 120KVA(3管 )，工作功率 60 KVA(3管 )。 位于設(shè)備頂部的水冷散熱系統(tǒng) 位于設(shè)備內(nèi)部的功率系統(tǒng) 設(shè)備內(nèi)部電氣控制系統(tǒng)模塊化設(shè)計 控制系統(tǒng)門式設(shè)計便于開啟維修
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