【正文】 芯片：芯片尺寸為11mm180。、像素截距為12mm180。12mm。 n阱CMOS四層金屬工藝設(shè)計(jì)投影用單色顯示模式的SVGA 分辨率的LCoS顯示芯片(已在國(guó)內(nèi)集成電路廠成功小批量試生產(chǎn))：芯片尺寸為17mm180。、像素截距為16mm180。16mm。，設(shè)計(jì)了VGA分辨率的彩色時(shí)序顯示控制器。18. 激光除污機(jī)激光除污是將高亮度和方向性好的激光，經(jīng)過(guò)光學(xué)聚焦整形系統(tǒng)，形成高能量的激光束，照射到物品需要清洗的部位，激光束被污染層所吸收，通過(guò)光剝離、氣化、超聲波等過(guò)程，破壞掉污染物和物體之間的作用力，使污染物離開(kāi)物體表面，達(dá)到清洗的目的，同時(shí)不損壞物體本身。激光清洗優(yōu)點(diǎn)：1）選擇性清除污物，不損傷被清洗物體本身；2）定位準(zhǔn)確，范圍可控，甚至能夠清除納米量級(jí)的微粒；3）實(shí)時(shí)控制和反饋，除污作業(yè)自動(dòng)化；4）多用途，能夠清除多種類型的污物且效果良好；5）高效率，低成本，無(wú)耗材。1 23 456（圖） 超聲檢測(cè)窄脈寬激光除污機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖1－窄脈寬激光器裝置，2－光束調(diào)整傳輸裝置，3－移動(dòng)平臺(tái)裝置，4－超聲檢測(cè)裝置5－自動(dòng)控制裝置，6－吸塵回收裝置。南開(kāi)大學(xué)研發(fā)的激光除污機(jī)，可夠清多種污物，尤其是在激光脫漆除銹方面，具有良好的效果。專利（申請(qǐng)）號(hào)：。19. 激光標(biāo)識(shí)和激光防偽應(yīng)用激光打標(biāo)機(jī)和激光整形機(jī)可應(yīng)用于產(chǎn)品商標(biāo)制作及激光防偽應(yīng)用，也可應(yīng)用于薄材質(zhì)的切割,在各種金屬材料、有色塑料、晶體管、集成電路及各種工具、刃具上刻蝕各種字符、漢字和圖形?？捎糜诠?、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料的劃片與切割。提供產(chǎn)品標(biāo)簽和防偽條形碼的設(shè)計(jì)和制作。同時(shí)，也用于對(duì)有機(jī)玻璃、膠合板、皮革、紙板等材料進(jìn)行圖文切割，也可以在各種金屬薄膜上進(jìn)行圖文切割。例如，我們利用該機(jī)器在各種厚度的硅片上進(jìn)行了打孔，最小孔徑達(dá)100微米；最大（厚度）深度為500微米。設(shè)備主要規(guī)格：激光打標(biāo)機(jī)激光整形機(jī)工作介質(zhì)φ480mm,Ｎｄ:ＹＡＧφ460mm,Ｎｄ:ＹＡＧ工作波長(zhǎng)1064nm1064nm連續(xù)功率60W40W最大刻蝕面積120mm120mm105mm105mm脈沖能量10mJ3mJ脈沖寬度150ns75ns頻率范圍110kHz110kHz激光束模式多模準(zhǔn)基模激光刻蝕技術(shù)應(yīng)用實(shí)例：我們應(yīng)用激光打標(biāo)機(jī)和激光整形機(jī)，可以在各種不透明的材質(zhì)上進(jìn)行激光標(biāo)識(shí)和精密加工，也可以開(kāi)展激光微型防偽技術(shù)的研究。例如，在光敏紙張、塑料、陶瓷、金屬、半導(dǎo)體芯片上進(jìn)行中英文字符和各種復(fù)雜圖形的激光標(biāo)識(shí)。其特點(diǎn)是永久性標(biāo)記；無(wú)接觸污染；不需要對(duì)樣品進(jìn)行任何預(yù)處理，可以現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)進(jìn)行。圖1和圖2是激光標(biāo)識(shí)南開(kāi)大學(xué)?；盏膶?shí)例。圖3是激光在硅片上精密打孔的實(shí)例?？组g距為36毫米，其誤差精度小于20微米，最小孔徑可以小于50微米。以上精度是常規(guī)方法達(dá)不到的。 圖1. 英文字符及圖形的激光標(biāo)識(shí) 圖2. 中文字符的激光標(biāo)識(shí) 圖3. 硅片上激光精密打孔20. 用于激光精密加工的266nm深紫外光源具有高科技含量的激光精細(xì)、精密加工技術(shù)是激光行業(yè)的科技發(fā)展目標(biāo)之一。然而，目前在激光精細(xì)、精密加工業(yè)中仍沿用準(zhǔn)分子激光器作紫外光源。準(zhǔn)分子激光器輸出的光束大而方，聚焦后光束質(zhì)量差；其設(shè)備龐大、成本高；最大缺點(diǎn)是使用有毒氣體作工作介質(zhì)，不利于安全和環(huán)保。目前國(guó)內(nèi)外都致力于用四倍頻方法研制緊湊型深紫外固體激光器，把這種紫外光源安裝到激光設(shè)備上，就可以方便地進(jìn)行激光精密加工和標(biāo)識(shí)。例如，在對(duì)金、銀等金屬進(jìn)行激光焊接時(shí)，由于其對(duì)1μm以上光束反射率極高，一般在98%以上，所以，目前市場(chǎng)上的激光焊接機(jī)（以Nd:YAG或CO2激光器為光源的）均不能對(duì)這些有光澤的金屬直接焊接，而需做一些預(yù)處理，其工序多、強(qiáng)度大、效率低，不適合大生產(chǎn)要求。據(jù)文獻(xiàn)報(bào)道，這些光澤金屬則對(duì)266 nm深紫外光的吸收系數(shù)高達(dá)65%以上。如用266 nm深紫外光源，就便于實(shí)現(xiàn)激光直接焊接。例如，現(xiàn)有的激光焊接機(jī)均不能直接焊接，而將來(lái)研制成功了266 nm深紫外光源后，安裝到激光設(shè)備上就可以很方便地解決這一難題，替代目前的手工壓焊方法。另外，空間太陽(yáng)電池板為防止宇宙射線輻射，需在表面上鋪一層特種玻璃蓋片，其厚度僅200μm，邊緣部分需要異型精密切割。采用CO2激光器進(jìn)行切割后，發(fā)現(xiàn)切縫粗糙，達(dá)不到精度要求。而Nd:YAG激光切割機(jī)的波長(zhǎng)對(duì)這種玻璃是透明的根本無(wú)法切割。所以，只有采用超短波長(zhǎng)的266 nm深紫外光作光源。同時(shí)，這種超短波長(zhǎng)光源也適合在透明工件上進(jìn)行激光精密標(biāo)識(shí)的應(yīng)用。不僅如此，在集成電路生產(chǎn)中其也有廣泛的應(yīng)用前景。國(guó)外現(xiàn)狀國(guó)外已經(jīng)研制成功了實(shí)用化、緊湊型266 nm深紫外光源，例如，美國(guó)Applied Material :YAG晶體產(chǎn)生1064nm基頻光，然后，通過(guò)四倍頻方法輸出波長(zhǎng)為266nm連續(xù)激光，輸出功率達(dá)到3W。德國(guó)研制的SpitLight600型氙燈泵浦266nm深紫外脈沖固體激光器，輸出單脈沖能量為80mJ ,重復(fù)頻率20Hz，脈沖寬度7ns ,。以上型號(hào)的光源均可以方便地安裝到激光應(yīng)用設(shè)備上，實(shí)現(xiàn)對(duì)透明工件或光澤金屬的激光精密加工和標(biāo)識(shí)。國(guó)內(nèi)現(xiàn)狀目前國(guó)內(nèi)還未有達(dá)到實(shí)用化的、輸出功率達(dá)到瓦量級(jí)的266 nm深紫外光源的研究成果報(bào)導(dǎo)。國(guó)產(chǎn)倍頻晶體的現(xiàn)狀國(guó)產(chǎn)倍頻晶體完全達(dá)到了普及應(yīng)用水平，紫外倍頻的首選倍頻晶體及器件其輸出的最高功率預(yù)計(jì)可達(dá)到20W。本項(xiàng)目采用腔外四倍頻方法研制了一種輸出波長(zhǎng)為266nm的緊湊型深紫外光源。其平均功率達(dá)到瓦量級(jí)，經(jīng)fθ透鏡組聚焦后，光斑直徑小于20um，峰值功率達(dá)到10 kw，重復(fù)頻率：10～1000Hz，脈沖寬度最大到毫秒量級(jí)。最后將研制成功的這種深紫外光源安裝到激光切割機(jī)上，能對(duì)透明工件和光澤金屬進(jìn)行激光精密加工和激光標(biāo)識(shí)。21. 腦血氧飽和度檢測(cè)儀目前，國(guó)內(nèi)外用于臨床上使用的血氧儀只能檢測(cè)指端或耳垂部位容血的血氧飽和度，或者專門用于監(jiān)測(cè)心外手術(shù)體外循環(huán)系統(tǒng)管道中血液的血氧飽和度，不能檢測(cè)腦部的血氧飽和度，檢測(cè)部位受到限制。南開(kāi)大學(xué)研發(fā)的“腦血氧飽和度檢測(cè)儀”，在檢測(cè)探頭中設(shè)置有可發(fā)出兩種不同波長(zhǎng)的發(fā)光二極管，并安裝有兩個(gè)光接收元件(兩只硅光電池)，得到的檢測(cè)數(shù)據(jù)一路是帶有淺層組織的信息，另一路不僅帶有淺層組織信息也帶有腦組織的血氧信息，此兩數(shù)據(jù)相減，便可得到只含有腦血氧的信息。儀器由探頭、同步放大器、A/D轉(zhuǎn)換器、單片機(jī)系統(tǒng)和顯示器等構(gòu)成。該儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便、靈敏可靠、價(jià)格低廉。該檢測(cè)儀已經(jīng)獲發(fā)明專利授權(quán)。發(fā)明專利（申請(qǐng)）號(hào)：。22. 家庭中水自動(dòng)處理裝置本實(shí)用新型屬于污水處理與回收利用領(lǐng)域，涉及一種家庭中水自動(dòng)處理裝置。本裝置主要由進(jìn)水水質(zhì)識(shí)別器過(guò)濾器5和高級(jí)氧化反應(yīng)器7組成；進(jìn)水水質(zhì)識(shí)別器2前端與污水進(jìn)水口1相連，后端分別與電磁閥11和水泵4連接，電磁閥11與下水道3連接；水泵4的出口端與過(guò)濾器5相聯(lián)，過(guò)濾器5的另一端與高級(jí)氧化反應(yīng)器7的一端相聯(lián)；高級(jí)氧化反應(yīng)器7內(nèi)部設(shè)有紫外燈8，內(nèi)壁有二氧化鈦膜9，高級(jí)氧化反應(yīng)器7的另一端與再生水出口10 相聯(lián)。聯(lián)用過(guò)濾與光催化氧化高級(jí)氧化技術(shù)處理污水，出水水質(zhì)好且不用投加任何藥劑，再生水處理成本低。專利（申請(qǐng)）號(hào): 。23. COD（化學(xué)需氧量）快速測(cè)定儀本儀器利用微波消解技術(shù)，進(jìn)行水樣的消解，適應(yīng)于各種水質(zhì)COD的測(cè)定?？焖貱OD反應(yīng)器所用藥劑為實(shí)驗(yàn)室常備藥劑，并利用微波消解，滴定測(cè)定試樣的COD值?？焖貱OD反應(yīng)器具有以下特點(diǎn)：裝置價(jià)格便宜，僅僅是進(jìn)口設(shè)備的1/4左右；測(cè)試費(fèi)便宜（，主要是催化劑的費(fèi)用）；無(wú)需用水冷卻，可以在沒(méi)有自來(lái)水的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)定；完全密閉，不會(huì)影響環(huán)境；完全氧化水體內(nèi)的有機(jī)物，真實(shí)的反映試樣COD值；測(cè)定時(shí)間短（僅需要7—8分鐘消解）；根據(jù)水樣自由配制溶液。已經(jīng)得到國(guó)家質(zhì)檢總局國(guó)家環(huán)保產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢查中心和國(guó)家環(huán)保監(jiān)測(cè)站等部門的認(rèn)可，適合國(guó)內(nèi)各種院校、科研院院所、企事業(yè)單位和環(huán)保監(jiān)測(cè)站的應(yīng)用。專利（申請(qǐng)）號(hào)：。28 / 28