一、壓力傳感器-資料下載頁(yè)
2025-06-26 07:36本頁(yè)面
【正文】 度極高的設(shè)計(jì)則適用于高壓力測(cè)量。陶瓷測(cè)量元件被用于低成本的傳感器技術(shù)和較低測(cè)量精度的應(yīng)用。壓阻式傳感器壓阻原理以1954年首次發(fā)現(xiàn)的半導(dǎo)體效應(yīng)為基礎(chǔ)。在機(jī)械應(yīng)力作用下，半導(dǎo)體的電阻值變化比金屬大兩個(gè)數(shù)量級(jí)。與當(dāng)時(shí)使用的金屬應(yīng)變儀方法相比，這個(gè)發(fā)現(xiàn)開(kāi)拓了一個(gè)全新的應(yīng)用領(lǐng)域。從那時(shí)起，其它相近的技術(shù)開(kāi)始出現(xiàn)，如金屬上的濺射薄膜技術(shù)、陶瓷上的厚膜技術(shù)等。測(cè)量元件壓阻測(cè)量元件(如：濺射薄膜敏感元件、厚膜陶瓷敏感元件、單晶硅等)的彈性膜片在壓力作用下產(chǎn)生曲變。金屬或半導(dǎo)體電阻元件組成的惠斯通電橋被擴(kuò)散在膜片中。由于電橋在壓力作用下失去平衡，從而產(chǎn)生成比例的電壓信號(hào)輸出。 178。應(yīng)變式充油芯體178。 厚膜陶瓷敏感元件靜態(tài)和動(dòng)態(tài)特點(diǎn)硅壓阻測(cè)量元件具有很好的靜態(tài)測(cè)量特點(diǎn)。硅是一種單晶體，能保持彈性直至斷裂點(diǎn)，不能承受任何塑性變形。因此，硅元件是非常穩(wěn)定的，其性能即使經(jīng)過(guò)很長(zhǎng)時(shí)間也不變化。它們的動(dòng)態(tài)特性也很好。由于尺寸小，硅元件的固有頻率很高。根據(jù)壓力范圍不同(膜片厚度)，固有頻率為15200kHz。信號(hào)調(diào)理由壓阻式傳感器產(chǎn)生的實(shí)際測(cè)量信號(hào)是一個(gè)由惠斯頓電橋輸出的電壓值。低噪聲電壓放大器不僅對(duì)信號(hào)進(jìn)行調(diào)理，同時(shí)還為壓力傳感器提供激勵(lì)恒流和低電壓。為了達(dá)到最大的綜合精度，一個(gè)典型完整的測(cè)量系統(tǒng)包括一個(gè)壓力傳感器和與傳感器相匹配的橋式放大器。為了補(bǔ)償由于溫度引起的測(cè)量誤差，一些壓阻式放大器帶有所謂“數(shù)字補(bǔ)償”。即傳感器出廠前在各種溫度和壓力下進(jìn)行測(cè)量，誤差矩陣用多項(xiàng)式近似并存儲(chǔ)在放大器中，從而可對(duì)被測(cè)量的壓力進(jìn)行連續(xù)和自動(dòng)修正，進(jìn)一步改善綜合精度。硅壓阻傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)：交變應(yīng)力下壽命長(zhǎng)、 優(yōu)異的穩(wěn)定性、 測(cè)量重復(fù)性高、 設(shè)計(jì)緊湊、抗沖擊和振動(dòng)、 高輸出電壓、 固有頻率高、 線性良好。7 /
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