薄膜電阻應(yīng)變式壓力傳感器的研制-資料下載頁
2025-06-22 19:46本頁面
【正文】 清華大學(xué)無機非金屬材料教研組譯. 北京: 建筑工業(yè)出版社, 1987. （編輯 曹大剛）Research of thin film resistance pressure sensorWAN Yun, ZHOU Yinsui, LIANG Ju, WANG Hui(Department of Physics, Northwest University, Xi’an, 710069,China)Abstract: The sensitive bar of strainresistance pressure sensor is designed and fabricated using vacuum evaporation technology and ordinary photolithography with quartz and ceramics AL2O3. The properties of the devices are measured within 0～. The results show that all sensors can work normally in this load. Its linear degree and sensitive degree are more excellent than conventional sensor. The characteristic of the device in high temperature and forbear cauterization are very valuable in industry. Key words: pressure sensor。 thin film。 sensitive bar 作 者 簡 介萬 云，女，陜西西安人，生于1963年11月，西北大學(xué)物理學(xué)系副教授。1987年畢業(yè)于清華大學(xué)無機非金屬材料專業(yè)。 2002～2003年期間，作為訪問學(xué)者在清華大學(xué)材料科學(xué)與工程系工作、學(xué)習(xí)。講授過材料學(xué)、陶瓷工藝、物理學(xué)、科技文獻檢索、工程制圖基礎(chǔ)、英語(成人班)、材料物理實驗、基礎(chǔ)物理實驗等課程。主要從事固體氧化物材料、固體材料應(yīng)用及高溫超導(dǎo)電子學(xué)等方面的研究。1998年以來負責(zé)承擔(dān)科研項目4項，其中：國家自然科學(xué)基金項目1項（固體電解質(zhì)材料的結(jié)構(gòu)缺陷及導(dǎo)電機制研究），陜西省科技攻關(guān)項目1項（高精、高穩(wěn)、高溫壓力傳感器研制），西北大學(xué)科研基金項目1項（高溫超導(dǎo)薄膜約瑟夫遜結(jié)的研究），西北大學(xué)教學(xué)基金項目1項（大學(xué)物理雙語教學(xué)多媒體課件開發(fā)）；參與合作研究項目4項，其中陜西省自然科學(xué)基金項目2項，陜西省教委專項科研基金項目1項，西北大學(xué)科研基金項目1項。1998年以來在Materials Letters、Key Engineering Materials、《光電子、激光》、《光子學(xué)報》、《激光與紅外》、《紅外技術(shù)》、《低溫與超導(dǎo)》、《西北大學(xué)學(xué)報》（自然科學(xué)版）、《高等理科教育》、《高壓電器》、《電瓷避雷器》等刊物上發(fā)表科研、教學(xué)論文24篇，其中SCI收錄2篇，EI收錄3篇。8 / 8
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