鍍膜產(chǎn)品常見(jiàn)不良分析-資料下載頁(yè)
2025-06-16 19:41本頁(yè)面
【正文】 須高于圖紙?zhí)岢龅募夹g(shù)要求?！裨O(shè)計(jì)時(shí)考慮基片變異層折射率變化帶來(lái)的影響。●設(shè)計(jì)時(shí)考慮膜料的折射率變化及膜料之間、膜料與基片之間的匹配。二、 工作現(xiàn)場(chǎng)所用膜料、芯片、硝材生產(chǎn)廠家、型號(hào)一旦確認(rèn)不要經(jīng)常變更，必須變更的應(yīng)該多次確認(rèn)。三、 杜絕、避免作業(yè)過(guò)失的發(fā)生，四、 加強(qiáng)每罩鏡片的分光測(cè)試監(jiān)控，設(shè)置警戒分光曲線，及時(shí)調(diào)整膜系。五、 測(cè)試比較片管理加強(qiáng)，確保進(jìn)罩鍍膜的測(cè)試比較片表面無(wú)污染、新鮮、外觀達(dá)到規(guī)定要求。在使用前，對(duì)比較片作一次測(cè)試，測(cè)定其反射率（僅測(cè)一個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)就可以）測(cè)定值與理論之比較，一般測(cè)定值小于理論值（腐蝕層影響），如果二值之間差異較大（比如大于1%）就應(yīng)該考慮對(duì)比較片再?gòu)?fù)新、或更換。六、 鏡片的分光測(cè)試要在基片完全冷卻后進(jìn)行。七、 掌握晶控片敏感度變化規(guī)律，及時(shí)修正控制數(shù)據(jù)。晶控片在新的時(shí)候與使用了若干罩后的敏感度是不完全一樣的，芯片的聲阻抗值會(huì)有微小變化。有些晶控儀（如IC5）可以設(shè)置自動(dòng)修正，而大部分晶控儀沒(méi)有自動(dòng)修正聲阻抗值的功能。掌握了晶片敏感度的規(guī)律，可以在膜厚設(shè)置上矯正。八、 改善晶控探頭的冷卻效果，晶片在溫度大于50℃時(shí)，測(cè)量誤差較大。九、 采用離子輔助鍍膜的工藝，可以提高成膜分光特性的穩(wěn)定性。十、 檢討該膜系在該機(jī)臺(tái)的光控適用性。十一、 檢討光控中的人為影響十二、 經(jīng)常檢查光控的光路、信號(hào)、測(cè)試片等。十三、 設(shè)計(jì)適用于光控的膜系。七、光譜分光不良的補(bǔ)救（補(bǔ)色）分光不良分為二種情況：一是全部膜系鍍制完成后，經(jīng)測(cè)試分光不良，此類(lèi)不良主要按六節(jié)所述方法處理，一般減反膜難以補(bǔ)救。但對(duì)于高反膜、帶通濾光膜等可以通過(guò)加層的方法補(bǔ)救。二是鍍制中途中斷（包括發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤中斷）造成的分光不良，一般都可以通過(guò)后續(xù)努力補(bǔ)救。后續(xù)方法正確，補(bǔ)救的成功率比較高。中斷的原因形式不一：① 停電，② 機(jī)器故障③ 人為中斷（發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤、疑問(wèn)后中斷）中段后信息：㈠ 知道鍍到第幾層，已鍍各層的膜厚；㈡ 知道鍍到第幾層，最后一層膜的膜厚不確定；㈢ 不知道鍍了多少。補(bǔ)救處理：1． 對(duì)于第㈠種情況，比較好處理，只要確認(rèn)前面鍍的沒(méi)錯(cuò)，程序沒(méi)有用錯(cuò)，就可以繼續(xù)原來(lái)的程序，要注意的是：如果某一層鍍了一部分繼續(xù)鍍下去時(shí)，交接處要減少一些膜厚（根據(jù)膜料、蒸發(fā)速率決定減少多少，），如果該層剩下的膜厚已不足1520秒蒸鍍時(shí)，要考慮降低蒸發(fā)速率或干脆不鍍，通過(guò)后續(xù)層調(diào)整膜厚解決。2． 對(duì)于第㈡㈢種情況的處理比較復(fù)雜一些，模擬：根據(jù)已經(jīng)實(shí)鍍的鏡片（測(cè)試比較片）實(shí)測(cè)分光數(shù)據(jù)輸入計(jì)算機(jī)膜系設(shè)計(jì)程序的優(yōu)化目標(biāo)值，再根據(jù)已經(jīng)掌握的膜系信息輸入，采用倒推法逐層優(yōu)化，模擬出實(shí)際鍍制的膜系數(shù)據(jù)。*測(cè)試比較片片是指隨鏡片一起鍍制（在傘片上、與鏡片同折射率），用于測(cè)試鍍后分光曲線的平片。優(yōu)化：再鎖定通過(guò)模擬得到的膜系數(shù)據(jù)，通過(guò)后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實(shí)現(xiàn)目標(biāo)的最佳方案。試鍍：根據(jù)新優(yōu)化的后續(xù)膜層數(shù)據(jù)，試鍍?nèi)舾社R片（12片）或測(cè)試片，確認(rèn)補(bǔ)色膜系的可行性。補(bǔ)色鍍：對(duì)試鍍情況確認(rèn)后實(shí)施補(bǔ)色鍍。補(bǔ)色鍍前，確認(rèn)基片是否潔凈，防止產(chǎn)生其它不良。其它情況處理：對(duì)于用錯(cuò)程序，錯(cuò)誤操作（預(yù)熔未關(guān)閉擋板等）人為中斷需要補(bǔ)救的；以及反光膜、濾光膜鍍后需要補(bǔ)救的情況處理方案：● 模擬：將實(shí)測(cè)分光數(shù)據(jù)輸入計(jì)算機(jī)膜系設(shè)計(jì)程序的優(yōu)化目標(biāo)值。通過(guò)計(jì)算機(jī)模擬（一般是最后一層的膜厚確認(rèn)），找到與實(shí)現(xiàn)測(cè)試值結(jié)果相應(yīng)的膜系數(shù)據(jù)?！?優(yōu)化：根據(jù)模擬得到的膜系數(shù)據(jù)，輸入產(chǎn)品要求的優(yōu)化目標(biāo)值，通過(guò)加層、優(yōu)化后續(xù)膜層的方法，重新優(yōu)化設(shè)計(jì)一個(gè)補(bǔ)救膜系。● 試鍍：確認(rèn)、完善補(bǔ)救膜系效果?！?補(bǔ)救鍍：完成補(bǔ)救工作。八、破邊、炸裂不良一般的鍍膜會(huì)對(duì)基片加熱，由于基片是裝架在金屬（鋁、銅、不銹鋼）圈、碟內(nèi)，由于鏡圈或碟片與鏡片（基片）的熱膨脹系數(shù)不一致，冷卻過(guò)程中會(huì)造成鏡片的破邊或炸裂。有些大鏡片，由于出罩時(shí)的溫度較高，與室溫的溫差較大，鏡片的熱應(yīng)力作用造成鏡片炸裂或破邊。有些零件邊緣倒邊的形狀容易造成卡圈而破邊。改善對(duì)策：① 夾具（鏡圈、碟片）的設(shè)計(jì)，在尺寸配合上要合理，充分考慮制造誤差帶來(lái)的影響。② 注意鏡圈、碟片的變形，已經(jīng)變形的夾具不能使用③ 選用合適的夾具材料（非導(dǎo)磁材料、不生銹、耐高溫不變形），不銹鋼較為理想（熱變形系數(shù)?。褪羌庸るy度大，價(jià)格貴。④ 對(duì)于大鏡片應(yīng)降低出罩時(shí)的溫度，減少溫差，防止炸裂。⑤ 如果是鏡圈，可以考慮在鏡圈上開(kāi)槽，作為緩沖。（鏡圈的使用壽命會(huì)減少很多）九、劃痕（膜傷）劃痕是指膜面內(nèi)外有道子，膜內(nèi)的稱(chēng)劃痕，膜外的稱(chēng)膜傷。這也是鍍膜品質(zhì)改善中的一個(gè)頑癥，雖然很清楚產(chǎn)生的原因和改善方法，但難以根治。產(chǎn)生原因：膜內(nèi)的劃痕：① 前工程外觀不良?xì)埩簦行﹦澓墼阱兡で安蝗菀装l(fā)現(xiàn)，前工程檢驗(yàn)和鍍前上傘檢查都不容易發(fā)現(xiàn)，而在鍍膜后會(huì)將劃痕顯現(xiàn)。② 各操作過(guò)程中的作業(yè)過(guò)失造成鏡片劃痕③ 鏡片擺放太密，搬運(yùn)過(guò)程中造成互相磕碰形成劃痕④ 鏡片的擺放器具、包裝材料造成鏡片表面擦傷⑤ 超聲波清洗造成的傷痕膜外傷痕（膜傷）① 鏡片的擺放器具、包裝材料造成的膜傷。② 鍍后超聲波清洗造成的膜傷。③ 各作業(yè)過(guò)程作業(yè)過(guò)失造成的膜傷。改善思路：檢討個(gè)作業(yè)過(guò)程和相關(guān)器具材料，消除劃痕和膜傷。改善對(duì)策：㈠強(qiáng)化作業(yè)員作業(yè)規(guī)范。㈡訂立作業(yè)過(guò)失清單，監(jiān)督作業(yè)員避免作業(yè)過(guò)失。㈢改善鏡片擺放間隔㈣改善鏡片搬運(yùn)方法㈤改善擺放器具、包裝材料。㈥改善超聲波清洗工藝參數(shù)㈦加強(qiáng)前工程檢驗(yàn)和鍍前檢查。
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