鍍膜產(chǎn)品常見不良分析-資料下載頁
2025-06-16 19:41本頁面
【正文】 須高于圖紙?zhí)岢龅募夹g要求?！裨O計時考慮基片變異層折射率變化帶來的影響。●設計時考慮膜料的折射率變化及膜料之間、膜料與基片之間的匹配。二、 工作現(xiàn)場所用膜料、芯片、硝材生產(chǎn)廠家、型號一旦確認不要經(jīng)常變更，必須變更的應該多次確認。三、 杜絕、避免作業(yè)過失的發(fā)生，四、 加強每罩鏡片的分光測試監(jiān)控，設置警戒分光曲線，及時調(diào)整膜系。五、 測試比較片管理加強，確保進罩鍍膜的測試比較片表面無污染、新鮮、外觀達到規(guī)定要求。在使用前，對比較片作一次測試，測定其反射率（僅測一個波長點就可以）測定值與理論之比較，一般測定值小于理論值（腐蝕層影響），如果二值之間差異較大（比如大于1%）就應該考慮對比較片再復新、或更換。六、 鏡片的分光測試要在基片完全冷卻后進行。七、 掌握晶控片敏感度變化規(guī)律，及時修正控制數(shù)據(jù)。晶控片在新的時候與使用了若干罩后的敏感度是不完全一樣的，芯片的聲阻抗值會有微小變化。有些晶控儀（如IC5）可以設置自動修正，而大部分晶控儀沒有自動修正聲阻抗值的功能。掌握了晶片敏感度的規(guī)律，可以在膜厚設置上矯正。八、 改善晶控探頭的冷卻效果，晶片在溫度大于50℃時，測量誤差較大。九、 采用離子輔助鍍膜的工藝，可以提高成膜分光特性的穩(wěn)定性。十、 檢討該膜系在該機臺的光控適用性。十一、 檢討光控中的人為影響十二、 經(jīng)常檢查光控的光路、信號、測試片等。十三、 設計適用于光控的膜系。七、光譜分光不良的補救（補色）分光不良分為二種情況：一是全部膜系鍍制完成后，經(jīng)測試分光不良，此類不良主要按六節(jié)所述方法處理，一般減反膜難以補救。但對于高反膜、帶通濾光膜等可以通過加層的方法補救。二是鍍制中途中斷（包括發(fā)現(xiàn)錯誤中斷）造成的分光不良，一般都可以通過后續(xù)努力補救。后續(xù)方法正確，補救的成功率比較高。中斷的原因形式不一：① 停電，② 機器故障③ 人為中斷（發(fā)現(xiàn)錯誤、疑問后中斷）中段后信息：㈠ 知道鍍到第幾層，已鍍各層的膜厚；㈡ 知道鍍到第幾層，最后一層膜的膜厚不確定；㈢ 不知道鍍了多少。補救處理：1． 對于第㈠種情況，比較好處理，只要確認前面鍍的沒錯，程序沒有用錯，就可以繼續(xù)原來的程序，要注意的是：如果某一層鍍了一部分繼續(xù)鍍下去時，交接處要減少一些膜厚（根據(jù)膜料、蒸發(fā)速率決定減少多少，），如果該層剩下的膜厚已不足1520秒蒸鍍時，要考慮降低蒸發(fā)速率或干脆不鍍，通過后續(xù)層調(diào)整膜厚解決。2． 對于第㈡㈢種情況的處理比較復雜一些，模擬：根據(jù)已經(jīng)實鍍的鏡片（測試比較片）實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設計程序的優(yōu)化目標值，再根據(jù)已經(jīng)掌握的膜系信息輸入，采用倒推法逐層優(yōu)化，模擬出實際鍍制的膜系數(shù)據(jù)。*測試比較片片是指隨鏡片一起鍍制（在傘片上、與鏡片同折射率），用于測試鍍后分光曲線的平片。優(yōu)化：再鎖定通過模擬得到的膜系數(shù)據(jù)，通過后續(xù)層膜厚優(yōu)化找到實現(xiàn)目標的最佳方案。試鍍：根據(jù)新優(yōu)化的后續(xù)膜層數(shù)據(jù)，試鍍?nèi)舾社R片（12片）或測試片，確認補色膜系的可行性。補色鍍：對試鍍情況確認后實施補色鍍。補色鍍前，確認基片是否潔凈，防止產(chǎn)生其它不良。其它情況處理：對于用錯程序，錯誤操作（預熔未關閉擋板等）人為中斷需要補救的；以及反光膜、濾光膜鍍后需要補救的情況處理方案：● 模擬：將實測分光數(shù)據(jù)輸入計算機膜系設計程序的優(yōu)化目標值。通過計算機模擬（一般是最后一層的膜厚確認），找到與實現(xiàn)測試值結果相應的膜系數(shù)據(jù)?！?優(yōu)化：根據(jù)模擬得到的膜系數(shù)據(jù)，輸入產(chǎn)品要求的優(yōu)化目標值，通過加層、優(yōu)化后續(xù)膜層的方法，重新優(yōu)化設計一個補救膜系。● 試鍍：確認、完善補救膜系效果?！?補救鍍：完成補救工作。八、破邊、炸裂不良一般的鍍膜會對基片加熱，由于基片是裝架在金屬（鋁、銅、不銹鋼）圈、碟內(nèi)，由于鏡圈或碟片與鏡片（基片）的熱膨脹系數(shù)不一致，冷卻過程中會造成鏡片的破邊或炸裂。有些大鏡片，由于出罩時的溫度較高，與室溫的溫差較大，鏡片的熱應力作用造成鏡片炸裂或破邊。有些零件邊緣倒邊的形狀容易造成卡圈而破邊。改善對策：① 夾具（鏡圈、碟片）的設計，在尺寸配合上要合理，充分考慮制造誤差帶來的影響。② 注意鏡圈、碟片的變形，已經(jīng)變形的夾具不能使用③ 選用合適的夾具材料（非導磁材料、不生銹、耐高溫不變形），不銹鋼較為理想（熱變形系數(shù)?。褪羌庸るy度大，價格貴。④ 對于大鏡片應降低出罩時的溫度，減少溫差，防止炸裂。⑤ 如果是鏡圈，可以考慮在鏡圈上開槽，作為緩沖。（鏡圈的使用壽命會減少很多）九、劃痕（膜傷）劃痕是指膜面內(nèi)外有道子，膜內(nèi)的稱劃痕，膜外的稱膜傷。這也是鍍膜品質(zhì)改善中的一個頑癥，雖然很清楚產(chǎn)生的原因和改善方法，但難以根治。產(chǎn)生原因：膜內(nèi)的劃痕：① 前工程外觀不良殘留，有些劃痕在鍍膜前不容易發(fā)現(xiàn)，前工程檢驗和鍍前上傘檢查都不容易發(fā)現(xiàn)，而在鍍膜后會將劃痕顯現(xiàn)。② 各操作過程中的作業(yè)過失造成鏡片劃痕③ 鏡片擺放太密，搬運過程中造成互相磕碰形成劃痕④ 鏡片的擺放器具、包裝材料造成鏡片表面擦傷⑤ 超聲波清洗造成的傷痕膜外傷痕（膜傷）① 鏡片的擺放器具、包裝材料造成的膜傷。② 鍍后超聲波清洗造成的膜傷。③ 各作業(yè)過程作業(yè)過失造成的膜傷。改善思路：檢討個作業(yè)過程和相關器具材料，消除劃痕和膜傷。改善對策：㈠強化作業(yè)員作業(yè)規(guī)范。㈡訂立作業(yè)過失清單，監(jiān)督作業(yè)員避免作業(yè)過失。㈢改善鏡片擺放間隔㈣改善鏡片搬運方法㈤改善擺放器具、包裝材料。㈥改善超聲波清洗工藝參數(shù)㈦加強前工程檢驗和鍍前檢查。
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