【正文】 動作、電氣開關動作、氣體置換操作等都必須由專人在業(yè)主技術人員的指導下完成，未經(jīng)許可，嚴禁操作。對于切割改造工作必須提前在被切割管道全線和切割處明顯標示，被標示管道現(xiàn)場需得到業(yè)主和施工方的技術人員確認，嚴防誤操作。 施工前必須將管道內的氣體用高純氮氣充分置換，且應將管道系統(tǒng)抽真空處理,； 被置換出的氣體必須經(jīng)過尾氣處理器處理,達標排放。 改造管道在切割前應保持常壓，施工人員必須穿戴防護用品；嚴禁管內真空狀態(tài)下進行切割。 施工完畢、測試合格后，應將管道系統(tǒng)的空氣用氮氣吹掃干凈并使管道系統(tǒng)處于正壓狀態(tài)。 進入潔凈室(區(qū))作業(yè)的人數(shù)應控制：潔凈度為5級和更嚴的潔凈室(區(qū))，低于5級的潔凈室(區(qū))。　特種氣體系統(tǒng)的檢驗 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后應對系統(tǒng)進行檢驗。 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后檢查系統(tǒng)的設備、管道、配件及閥門的規(guī)格、型號、材質及連接形式應符合設計要求。支架設置應合理牢靠，焊縫外觀質量檢查合格。 管道施工完畢，應逐點檢查每個系統(tǒng)連接的正確性，閥門應有與圖紙相同的編號，并有顯示開關的狀態(tài)顯示牌?！∥矚馓幚硌b置的安裝 尾氣處理裝置安裝除執(zhí)行本規(guī)范外，尚應符合現(xiàn)行國家標準《機械設備安裝工程施工及驗收通用規(guī)范》的規(guī)定。 尾氣處理裝置的安裝人員必須經(jīng)培訓考核持證上崗。 尾氣處理裝置的基礎必須堅固平整，設備的水平度不得大于3‰。 系統(tǒng)閥門應開關靈活，鎖定裝置可靠。 每個系統(tǒng)的管線及閥門都應貼上正確醒目的標識。 尾氣排氣系統(tǒng)的管道必須經(jīng)過脫脂處理，嚴禁使用含有油份的管道?！∩踩O施安裝 施工人員在生產(chǎn)、施工區(qū)域內，嚴禁任意搬弄各種閥門、開關、按鈕； 特種氣體報警裝置的安裝應符合設計規(guī)定，并滿足下列要求：1 ，報警裝置探頭應安裝在所處場所的頂部；2 ，；13　特種氣體系統(tǒng)驗收　一般規(guī)定 特種氣體系統(tǒng)驗收包括設備驗收、管路系統(tǒng)驗收和氣體探測/監(jiān)控系統(tǒng)驗收等。 特種氣體系統(tǒng)的驗收應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道工程質量檢驗評定標準》GB50184和《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB50235的規(guī)定?！≡O備驗收 機械部件驗收對照流程圖、配置表、鋼瓶接口形式等設計參數(shù)進行檢驗，包括管道橫平豎直、焊接質量、調節(jié)閥規(guī)格和流向、氣動/手動閥門規(guī)格和流向、單向閥規(guī)格和流向、微漏閥規(guī)格和流向、壓力變送器/壓力表規(guī)格、過濾器規(guī)格、過流開關規(guī)格和安裝方向、安全閥流向和設定壓力、VCR安裝、管道支架安裝、吹掃入口管徑、工藝出口管徑、排放口管徑、危險標簽等。檢查出廠各項儀器測試報告，包括保壓、氦檢、顆粒度、水分、氧分等測試。參見管路與系統(tǒng)驗收章節(jié)。 控制部件驗收：根據(jù)控制邏輯，檢查各監(jiān)測和聯(lián)動部件的功能，包括壓力傳感器、電子秤、過流開關、高溫開關、火焰探測器、負壓開關、緊急切斷、輸入電源、輸入輸出信號、接地保護、功能聯(lián)動測試等。設備供應商提供現(xiàn)場設備功能調試報告。 尾氣處理設備驗收：外觀檢查：根據(jù)設計文件，檢查尾氣處理器的型號、流程、配管、配電、儀表量程、標簽、說明書、出廠測試報告等；性能檢查：測量儀表顯示、本體阻力、漏風率、噪音、滴漏、處理量、去除效率、報警連鎖測試、緊急切斷等。設備供應商提供現(xiàn)場設備功能調試報告?！」苈放c系統(tǒng)驗收 外觀檢驗1 檢查管件的安裝位置和方向是否符合照流程圖；2 檢查焊接管道特別是彎管處是否有裂縫；3 檢查管道對焊是否符合下列要求：凹陷度10%管壁厚；凸起度10%管壁厚；錯邊量10%管壁厚；；色澤無明顯變色；焊縫偏斜度20%焊縫寬度。 文件檢驗1 檢查管道組成件的質量文件；2 檢查施工過程中的焊樣、焊接日志。 進行管道通氣試驗，檢查管線連接正確： 特種氣體管道安裝完畢，外觀檢驗合格后,應進行壓力試驗，并符合下列規(guī)定：1 壓力試驗采用氣壓試驗，試驗氣體宜采用高純氮氣或氬氣。2 壓力試驗前焊縫及其它待檢部位應未進行絕熱，待試管道與無關系統(tǒng)已用盲板或采取其它措施隔開，待試管道上的安全閥、爆破板及儀表元件等已經(jīng)拆下或加以隔離；3 在進行系統(tǒng)保壓之前請確認完成管道吹掃，避免鐵屑污染閥門及管道。4 ，時間30分鐘。5 ，時間24小時。6 壓力試驗過程應記錄起止溫度?？紤]溫度修正后，壓降值不得超過1%；6 建設單位應參加壓力試驗。壓力試驗合格后，應和施工單位一同填寫“管道系統(tǒng)壓力試驗記錄”,。　特種氣體氦檢漏測試要求1 所有可能泄漏點需要用塑料袋隔離；2 氦檢漏應采用質譜式檢測儀，其檢測下限不低于1x1010 ()。3 特氣系統(tǒng)宜采用內向測漏法；4 內向測漏法測試不得高于1x109 5 閥座測漏不得高于１x106 6 外向測漏法測試不得高于１x106 7 氦檢漏的測試順序為：內向測漏、閥座測漏、外向測漏；8 檢測漏點修補后，必須重新經(jīng)過保壓測試，然后才能再進行氦檢漏； 9 系統(tǒng)測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，并進行吹掃；10 測試完畢后，應提交測試報告?！√胤N氣體顆粒測試要求1　特氣系統(tǒng)需要顆粒測試時，吹掃氣體流量應根據(jù)管道直徑計算得出。2 應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；3 推薦測試指標：（即≤1 pcs @）；連續(xù)3次合格則測試完成；4 顆粒測試完畢后，應提交測試報告。 特種氣體水分測試要求1 特氣管道需要水分測試時，吹掃速度低于管道設計流速的10%，且小于50slpm；2 應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；3 推薦測試指標：20ppbv，測試氣體水分增量；4 測試結果達到后，數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢20分鐘后，測試結束；5 水分測試完畢后，應提交測試報告。 特種氣體氧分測試要求1 特氣管道需要氧分測試時，吹掃速度低于管道設計流速的10%，且小于50slpm；2 應首先測試氣源純度；合格后再進行樣品測試；3 推薦測試指標：20ppbv，測試氣體氧分增量；4 測試結果達到后，數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢20分鐘后，測試結束；5 氧分測試完畢后，應提交測試報告。　氣體偵測/監(jiān)控系統(tǒng)驗收 特種氣體探測器對照設計文件檢查氣體探測器的類型、報警設定值(應小于TLVTWA)、探頭標定時間、安裝位置、數(shù)量、排放管道位置、電源信號接線、出廠質量文件等。對所有探測器的輸出信號應進行模擬測試。 特種氣體系統(tǒng)檢查1 對照設計文件，檢查內存和硬盤容量、CPU、控制箱面板、輸入輸出設備位置和數(shù)量、電纜規(guī)格、電源、接地等。根據(jù)控制邏輯，對各報警和切斷信號進行模擬測試，檢查聲光報警和聯(lián)動系統(tǒng)的動作。測試系統(tǒng)啟動、報警解除步驟。2 測試軟件系統(tǒng)圖形與實際系統(tǒng)的一致性、操作系統(tǒng)、登錄安全級別、遠程登錄、歷史數(shù)據(jù)存儲位置、短信通知、通訊協(xié)議、反應速度等。附錄A　電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質（單一氣體）　　　特種氣體的危險性質特種氣體的物理性質　分子式特氣狀態(tài) @ 70 F特氣壓力. @ 70176。FLC50 (ppm) – CGATLVTWA (ppm) ACGIHLFL % in airUFL % in air分子量比重. (air =1)比容. ft^3/lb臨界溫度. (F)臨界壓力. (psig)C2H2G250%100%NH3L11473382515%28%ArG2640AsH3L20320%78%BBr3L3801BCl3L25415CO2L838COG200037602512%75%Cl2L293ClF3L299B2H6G210080%88%SiH2Cl2L3145%96%CF4G2000CHF3L611CH2F2L23214%31%CH3FL538　　C2F6LC5F8L11242F2G4001851GeH4G638571%30%　　HeG2640H2G2640%75%HBrL30128603HClL614312051185HFL13003574H2SL24971210%46%CH4G2400%15%NOG40011525N2G2640NF3G1450670010N2OL73750O2G2640PH3L47920%98%SiH4G126019k5%97%SiCl4L7505SiF4G1000450SO2L25202SF6L2951000SiHCl3L10405%83%WF6L2173XeG645附錄B　電子工業(yè)用特種氣體舉例氣體名稱　　　　　　　　　　　　　特種氣體的危險性質化學名分子式氣體狀態(tài) @ 70 F氣體壓力. @ 70176。F惰性氧化性腐蝕性毒性可燃性自燃性水反應性.健康等級燃燒等級反應等級LC50 (ppm) TLVTWA (ppm)LFLUFL乙炔C2H2G250　　　　F　　043%100%氨氣NH3L114　　CLTF　　31073382515%28%氬氣ArG2640I　　　　　　000砷化氫AsH3L203　　　HTF　　44220%78%三溴化硼B(yǎng)Br3L　　CT　　W3023801三氯化硼B(yǎng)Cl3L　　CT　　　3　125415二氧化碳CO2L838I　　　　　　000一氧化碳COG2000　　　LTF　　34037602512%75%氯氣Cl2L　OCT　　　400293三氟化氯ClF3L　OCT　　W403299已硼烷B2H6G2100　　CHTFPW44380%88%二氯二氫硅SiH2Cl2L　　CTF　W4423145%96%F14CF4G2000I　　　　　　000F23CHF3L611I　　　　　　000F32CH2F2L232　　　　F　　04014%31%F41 [氟化甲基]CH3FL538　　　　F　　040　　F116 [六氟乙烷]C2F6LI　　　　　　000FC418 [八氟化五碳]C5F8L　　　T　　　31011242氟氣F2G400　OCHT　　W4041851鍺化四氫GeH4G638　TFP