【正文】 動(dòng)作、電氣開關(guān)動(dòng)作、氣體置換操作等都必須由專人在業(yè)主技術(shù)人員的指導(dǎo)下完成，未經(jīng)許可，嚴(yán)禁操作。對(duì)于切割改造工作必須提前在被切割管道全線和切割處明顯標(biāo)示，被標(biāo)示管道現(xiàn)場(chǎng)需得到業(yè)主和施工方的技術(shù)人員確認(rèn)，嚴(yán)防誤操作。 施工前必須將管道內(nèi)的氣體用高純氮?dú)獬浞种脫Q，且應(yīng)將管道系統(tǒng)抽真空處理,； 被置換出的氣體必須經(jīng)過尾氣處理器處理,達(dá)標(biāo)排放。 改造管道在切割前應(yīng)保持常壓，施工人員必須穿戴防護(hù)用品；嚴(yán)禁管內(nèi)真空狀態(tài)下進(jìn)行切割。 施工完畢、測(cè)試合格后，應(yīng)將管道系統(tǒng)的空氣用氮?dú)獯祾吒蓛舨⑹构艿老到y(tǒng)處于正壓狀態(tài)。 進(jìn)入潔凈室(區(qū))作業(yè)的人數(shù)應(yīng)控制：潔凈度為5級(jí)和更嚴(yán)的潔凈室(區(qū))，低于5級(jí)的潔凈室(區(qū))?！√胤N氣體系統(tǒng)的檢驗(yàn) 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后應(yīng)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行檢驗(yàn)。 特種氣體系統(tǒng)安裝完成后檢查系統(tǒng)的設(shè)備、管道、配件及閥門的規(guī)格、型號(hào)、材質(zhì)及連接形式應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。支架設(shè)置應(yīng)合理牢靠，焊縫外觀質(zhì)量檢查合格。 管道施工完畢，應(yīng)逐點(diǎn)檢查每個(gè)系統(tǒng)連接的正確性，閥門應(yīng)有與圖紙相同的編號(hào)，并有顯示開關(guān)的狀態(tài)顯示牌。　尾氣處理裝置的安裝 尾氣處理裝置安裝除執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收通用規(guī)范》的規(guī)定。 尾氣處理裝置的安裝人員必須經(jīng)培訓(xùn)考核持證上崗。 尾氣處理裝置的基礎(chǔ)必須堅(jiān)固平整，設(shè)備的水平度不得大于3‰。 系統(tǒng)閥門應(yīng)開關(guān)靈活，鎖定裝置可靠。 每個(gè)系統(tǒng)的管線及閥門都應(yīng)貼上正確醒目的標(biāo)識(shí)。 尾氣排氣系統(tǒng)的管道必須經(jīng)過脫脂處理，嚴(yán)禁使用含有油份的管道?！∩踩O(shè)施安裝 施工人員在生產(chǎn)、施工區(qū)域內(nèi)，嚴(yán)禁任意搬弄各種閥門、開關(guān)、按鈕； 特種氣體報(bào)警裝置的安裝應(yīng)符合設(shè)計(jì)規(guī)定，并滿足下列要求：1 ，報(bào)警裝置探頭應(yīng)安裝在所處場(chǎng)所的頂部；2 ，；13　特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收　一般規(guī)定 特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收包括設(shè)備驗(yàn)收、管路系統(tǒng)驗(yàn)收和氣體探測(cè)/監(jiān)控系統(tǒng)驗(yàn)收等。 特種氣體系統(tǒng)的驗(yàn)收應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程質(zhì)量檢驗(yàn)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)》GB50184和《工業(yè)金屬管道工程施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50235的規(guī)定。　設(shè)備驗(yàn)收 機(jī)械部件驗(yàn)收對(duì)照流程圖、配置表、鋼瓶接口形式等設(shè)計(jì)參數(shù)進(jìn)行檢驗(yàn)，包括管道橫平豎直、焊接質(zhì)量、調(diào)節(jié)閥規(guī)格和流向、氣動(dòng)/手動(dòng)閥門規(guī)格和流向、單向閥規(guī)格和流向、微漏閥規(guī)格和流向、壓力變送器/壓力表規(guī)格、過濾器規(guī)格、過流開關(guān)規(guī)格和安裝方向、安全閥流向和設(shè)定壓力、VCR安裝、管道支架安裝、吹掃入口管徑、工藝出口管徑、排放口管徑、危險(xiǎn)標(biāo)簽等。檢查出廠各項(xiàng)儀器測(cè)試報(bào)告，包括保壓、氦檢、顆粒度、水分、氧分等測(cè)試。參見管路與系統(tǒng)驗(yàn)收章節(jié)。 控制部件驗(yàn)收：根據(jù)控制邏輯，檢查各監(jiān)測(cè)和聯(lián)動(dòng)部件的功能，包括壓力傳感器、電子秤、過流開關(guān)、高溫開關(guān)、火焰探測(cè)器、負(fù)壓開關(guān)、緊急切斷、輸入電源、輸入輸出信號(hào)、接地保護(hù)、功能聯(lián)動(dòng)測(cè)試等。設(shè)備供應(yīng)商提供現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備功能調(diào)試報(bào)告。 尾氣處理設(shè)備驗(yàn)收：外觀檢查：根據(jù)設(shè)計(jì)文件，檢查尾氣處理器的型號(hào)、流程、配管、配電、儀表量程、標(biāo)簽、說明書、出廠測(cè)試報(bào)告等；性能檢查：測(cè)量?jī)x表顯示、本體阻力、漏風(fēng)率、噪音、滴漏、處理量、去除效率、報(bào)警連鎖測(cè)試、緊急切斷等。設(shè)備供應(yīng)商提供現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備功能調(diào)試報(bào)告?！」苈放c系統(tǒng)驗(yàn)收 外觀檢驗(yàn)1 檢查管件的安裝位置和方向是否符合照流程圖；2 檢查焊接管道特別是彎管處是否有裂縫；3 檢查管道對(duì)焊是否符合下列要求：凹陷度10%管壁厚；凸起度10%管壁厚；錯(cuò)邊量10%管壁厚；；色澤無明顯變色；焊縫偏斜度20%焊縫寬度。 文件檢驗(yàn)1 檢查管道組成件的質(zhì)量文件；2 檢查施工過程中的焊樣、焊接日志。 進(jìn)行管道通氣試驗(yàn)，檢查管線連接正確： 特種氣體管道安裝完畢，外觀檢驗(yàn)合格后,應(yīng)進(jìn)行壓力試驗(yàn)，并符合下列規(guī)定：1 壓力試驗(yàn)采用氣壓試驗(yàn)，試驗(yàn)氣體宜采用高純氮?dú)饣驓鍤狻? 壓力試驗(yàn)前焊縫及其它待檢部位應(yīng)未進(jìn)行絕熱，待試管道與無關(guān)系統(tǒng)已用盲板或采取其它措施隔開，待試管道上的安全閥、爆破板及儀表元件等已經(jīng)拆下或加以隔離；3 在進(jìn)行系統(tǒng)保壓之前請(qǐng)確認(rèn)完成管道吹掃，避免鐵屑污染閥門及管道。4 ，時(shí)間30分鐘。5 ，時(shí)間24小時(shí)。6 壓力試驗(yàn)過程應(yīng)記錄起止溫度。考慮溫度修正后，壓降值不得超過1%；6 建設(shè)單位應(yīng)參加壓力試驗(yàn)。壓力試驗(yàn)合格后，應(yīng)和施工單位一同填寫“管道系統(tǒng)壓力試驗(yàn)記錄”,?！√胤N氣體氦檢漏測(cè)試要求1 所有可能泄漏點(diǎn)需要用塑料袋隔離；2 氦檢漏應(yīng)采用質(zhì)譜式檢測(cè)儀，其檢測(cè)下限不低于1x1010 ()。3 特氣系統(tǒng)宜采用內(nèi)向測(cè)漏法；4 內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)試不得高于1x109 5 閥座測(cè)漏不得高于１x106 6 外向測(cè)漏法測(cè)試不得高于１x106 7 氦檢漏的測(cè)試順序?yàn)椋簝?nèi)向測(cè)漏、閥座測(cè)漏、外向測(cè)漏；8 檢測(cè)漏點(diǎn)修補(bǔ)后，必須重新經(jīng)過保壓測(cè)試，然后才能再進(jìn)行氦檢漏； 9 系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)饣驓鍤猓⑦M(jìn)行吹掃；10 測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告?！√胤N氣體顆粒測(cè)試要求1　特氣系統(tǒng)需要顆粒測(cè)試時(shí)，吹掃氣體流量應(yīng)根據(jù)管道直徑計(jì)算得出。2 應(yīng)首先測(cè)試氣源純度；合格后再進(jìn)行樣品測(cè)試；3 推薦測(cè)試指標(biāo)：（即≤1 pcs @）；連續(xù)3次合格則測(cè)試完成；4 顆粒測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。 特種氣體水分測(cè)試要求1 特氣管道需要水分測(cè)試時(shí)，吹掃速度低于管道設(shè)計(jì)流速的10%，且小于50slpm；2 應(yīng)首先測(cè)試氣源純度；合格后再進(jìn)行樣品測(cè)試；3 推薦測(cè)試指標(biāo)：20ppbv，測(cè)試氣體水分增量；4 測(cè)試結(jié)果達(dá)到后，數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢(shì)20分鐘后，測(cè)試結(jié)束；5 水分測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。 特種氣體氧分測(cè)試要求1 特氣管道需要氧分測(cè)試時(shí)，吹掃速度低于管道設(shè)計(jì)流速的10%，且小于50slpm；2 應(yīng)首先測(cè)試氣源純度；合格后再進(jìn)行樣品測(cè)試；3 推薦測(cè)試指標(biāo)：20ppbv，測(cè)試氣體氧分增量；4 測(cè)試結(jié)果達(dá)到后，數(shù)值需保持穩(wěn)定或下降趨勢(shì)20分鐘后，測(cè)試結(jié)束；5 氧分測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。　氣體偵測(cè)/監(jiān)控系統(tǒng)驗(yàn)收 特種氣體探測(cè)器對(duì)照設(shè)計(jì)文件檢查氣體探測(cè)器的類型、報(bào)警設(shè)定值(應(yīng)小于TLVTWA)、探頭標(biāo)定時(shí)間、安裝位置、數(shù)量、排放管道位置、電源信號(hào)接線、出廠質(zhì)量文件等。對(duì)所有探測(cè)器的輸出信號(hào)應(yīng)進(jìn)行模擬測(cè)試。 特種氣體系統(tǒng)檢查1 對(duì)照設(shè)計(jì)文件，檢查內(nèi)存和硬盤容量、CPU、控制箱面板、輸入輸出設(shè)備位置和數(shù)量、電纜規(guī)格、電源、接地等。根據(jù)控制邏輯，對(duì)各報(bào)警和切斷信號(hào)進(jìn)行模擬測(cè)試，檢查聲光報(bào)警和聯(lián)動(dòng)系統(tǒng)的動(dòng)作。測(cè)試系統(tǒng)啟動(dòng)、報(bào)警解除步驟。2 測(cè)試軟件系統(tǒng)圖形與實(shí)際系統(tǒng)的一致性、操作系統(tǒng)、登錄安全級(jí)別、遠(yuǎn)程登錄、歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)位置、短信通知、通訊協(xié)議、反應(yīng)速度等。附錄A　電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)（單一氣體）　　　特種氣體的危險(xiǎn)性質(zhì)特種氣體的物理性質(zhì)　分子式特氣狀態(tài) @ 70 F特氣壓力. @ 70176。FLC50 (ppm) – CGATLVTWA (ppm) ACGIHLFL % in airUFL % in air分子量比重. (air =1)比容. ft^3/lb臨界溫度. (F)臨界壓力. (psig)C2H2G250%100%NH3L11473382515%28%ArG2640AsH3L20320%78%BBr3L3801BCl3L25415CO2L838COG200037602512%75%Cl2L293ClF3L299B2H6G210080%88%SiH2Cl2L3145%96%CF4G2000CHF3L611CH2F2L23214%31%CH3FL538　　C2F6LC5F8L11242F2G4001851GeH4G638571%30%　　HeG2640H2G2640%75%HBrL30128603HClL614312051185HFL13003574H2SL24971210%46%CH4G2400%15%NOG40011525N2G2640NF3G1450670010N2OL73750O2G2640PH3L47920%98%SiH4G126019k5%97%SiCl4L7505SiF4G1000450SO2L25202SF6L2951000SiHCl3L10405%83%WF6L2173XeG645附錄B　電子工業(yè)用特種氣體舉例氣體名稱　　　　　　　　　　　　　特種氣體的危險(xiǎn)性質(zhì)化學(xué)名分子式氣體狀態(tài) @ 70 F氣體壓力. @ 70176。F惰性氧化性腐蝕性毒性可燃性自燃性水反應(yīng)性.健康等級(jí)燃燒等級(jí)反應(yīng)等級(jí)LC50 (ppm) TLVTWA (ppm)LFLUFL乙炔C2H2G250　　　　F　　043%100%氨氣NH3L114　　CLTF　　31073382515%28%氬氣ArG2640I　　　　　　000砷化氫AsH3L203　　　HTF　　44220%78%三溴化硼B(yǎng)Br3L　　CT　　W3023801三氯化硼B(yǎng)Cl3L　　CT　　　3　125415二氧化碳CO2L838I　　　　　　000一氧化碳COG2000　　　LTF　　34037602512%75%氯氣Cl2L　OCT　　　400293三氟化氯ClF3L　OCT　　W403299已硼烷B2H6G2100　　CHTFPW44380%88%二氯二氫硅SiH2Cl2L　　CTF　W4423145%96%F14CF4G2000I　　　　　　000F23CHF3L611I　　　　　　000F32CH2F2L232　　　　F　　04014%31%F41 [氟化甲基]CH3FL538　　　　F　　040　　F116 [六氟乙烷]C2F6LI　　　　　　000FC418 [八氟化五碳]C5F8L　　　T　　　31011242氟氣F2G400　OCHT　　W4041851鍺化四氫GeH4G638　TFP