電子光學(xué)基礎(chǔ)ppt課件-資料下載頁
2025-05-04 06:55本頁面
【正文】 磁場的裝置叫消像散器。 ?AA fr ???Company Logo 色差 ?色差 是由于成像電子的能量不同或變化，從而在透鏡磁場中運動軌跡不同以致不能聚焦在一點而形成的像差。 ?最小的散焦斑 RC。同樣將 RC折算到物平面上，得到半徑為 Δr C的圓斑。色差 Δr C由下式來確定： ?引起電子能量波動的原因有兩個，一是電子加速電壓不穩(wěn)，致使入射電子能量不同；二是電子束照射試樣時和試樣相互作用，部分電子產(chǎn)生非彈性散射，致使能量變化。 EECrcC???? ?Company Logo 衍射效應(yīng)的分辨率和球差造成的分辨率 ?衍射效應(yīng)對分辨率的影響 ?象差對分辨率的影響 因球差、象散和色差影響，使試樣上的光點在像平面上擴展成散焦斑，三者中最大的決定分辨率。 ?提高孔徑半角 α 可以提高分辨率 Δr 0，但卻大大降低了 Δr S。因此電鏡設(shè)計中必須兼顧兩者。唯一的辦法是讓 Δr S=Δr 0，考慮到電磁透鏡中孔徑半角 α 很?。?102103rad），則 ?那么 Δr S=Δr 0， 即： 整理得： ?代入 Δ r0， 透射電鏡孔徑半角 α 通常是 102103rad；目前最佳的電鏡分辨率只能達(dá)到 。 ???? s in0 ??? nr300 4 ???sC?410 ?????????sC??43410 ?sCr ????s in6100 0 nMRr ??? ＝Company Logo 66 景深和焦長 ? 電磁透鏡的 景深 是指當(dāng)成像時，像平面不動，在滿足成像清晰的前提下，物平面沿軸線前后可移動的距離 。 ? 當(dāng)物點位于 O處時，電子通過透鏡在 Oˊ 處會聚。讓像平面位于 Oˊ 處，此時像平面上是一像點；當(dāng)物點沿軸線漸移到 A處時，聚焦點則從 Oˊ 沿軸線移到了 Aˊ 處，由于像平面固定不動，此時位于 Oˊ 處的像平面上逐漸由像點變成一個散焦斑。如果衍射效應(yīng)是決定電磁透鏡分辨率的控制因素，那么散焦斑半徑 R0折算到物平面上的尺寸只要不大于 Δr 0，像平面上就能成一幅清晰的像。 ? 軸線上 AB兩點間的距離就是景深 Df。 ??00 22 rtgrDf????Company Logo 焦長 ? 焦長 是指物點固定不變（物距不變），在保持成像清晰的條件下，像平面沿透鏡軸線可移動的距離。 ? 當(dāng)物點位于 O處時，電子通過透鏡在Oˊ 處會聚。讓像平面位于 Oˊ 處，此時像平面上是一像點；當(dāng)像平面沿軸線前后移動時，像平面上逐漸由像點變成一個散焦斑。只要散焦斑的尺寸不大于 R0（折算到物平面上的尺寸不大于 Δr 0），像平面上將是一幅清晰的像。此時像平面沿軸線前后可移動的距離為 DL：由圖中幾何關(guān)系得： 20220 2222 MrMrtgMrtgRDL ???????????LOGO 作業(yè)： P129， 3， 4
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