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蒸鍍車間一周總結(jié)ppt課件-資料下載頁

2025-05-03 06:01本頁面

　　

【正文】間：時(shí)間長(zhǎng)的話清洗比較干凈（以上均是自己的理解，若有不對(duì)的地方請(qǐng)指出）高溫?zé)崽幚頎t ? 主要作用：（ 1） 500℃ 或 550 ℃ 對(duì)鍍過 ITO的片子進(jìn)行熱處理，以得到更好結(jié)晶效果的 ITO，使 ITO電阻率更低，透過率更高。（ 2） 300 ℃ 對(duì)鍍過鉻和金的片子進(jìn)行合金化處理，以得到更好效果的歐姆接觸的電極，并使 wafer各層間有更好的融合性。蒸鍍車間用到的主要測(cè)試儀器 ? 四探針測(cè)電阻率（一般面電阻 R□ 控制在 40Ω / □ 以下即可） ? 穿透儀測(cè)膜厚和透過率（現(xiàn)在做的片子厚度一般在 2500197。左右，透過率一般要大于 90%） ? 金相顯微鏡謝謝，請(qǐng)多指教！

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