蒸鍍車間一周總結(jié)ppt課件-資料下載頁
2025-05-03 06:01本頁面
【正文】 間：時間長的話清洗比較干凈 （以上均是自己的理解，若有不對的地方請指出） 高溫?zé)崽幚頎t ? 主要作用： （ 1） 500℃ 或 550 ℃ 對鍍過 ITO的片子進行熱處理，以得到更好結(jié)晶效果的 ITO，使 ITO電阻率更低，透過率更高。 （ 2） 300 ℃ 對鍍過鉻和金的片子進行合金化處理，以得到更好效果的歐姆接觸的電極，并使 wafer各層間有更好的融合性。 蒸鍍車間用到的主要測試儀器 ? 四探針測電阻率（一般面電阻 R□ 控制在 40Ω / □ 以下即可） ? 穿透儀測膜厚和透過率（現(xiàn)在做的片子厚度一般在 2500197。左右， 透過率一般要大于 90%） ? 金相顯微鏡 謝謝，請多指教！
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