光電子技術(shù)—清華大學(xué)-資料下載頁
2025-05-02 06:08本頁面
【正文】 DL:, ?:1sec 電調(diào) PCF衰減器 PCF 應(yīng)用研究進展 電調(diào) PCF 濾波器 PCF 應(yīng)用研究進展 PCF 應(yīng)用研究進展 PCF 耦合器 SMF HOF PCF 寬帶波長 /模選擇耦合器 PCF 應(yīng)用研究進展 二維光子晶體 ( 平光子晶體板－ PCF ) 微電子工藝 PCS 制備工藝 Fig. 1: Photonic crystal waveguide in SOI. Pitch is 460nm, holesize is 290nm. Fig. 2: Photonic crystal hole size after lithography and etch for different triangular lattice designs. 248nm DUV lithography on SOI SOI photonic crystals for 1550nm ： periods ： 400－ 500nm hole sizes： 160－ 300nm. PCS 制備工藝 PBG限制波導(dǎo) PCS 特性 PCS 特性 PBG限制波導(dǎo)－微腔耦合 PC微腔復(fù)用 /解復(fù)用器 PCS 應(yīng)用研究進展 PC濾波器 PCS 應(yīng)用研究進展 共面 PC諧振腔 PCS 應(yīng)用研究進展 1563 nm 1609 nm Lcavity=6?m, Q=400 微腔耦合波導(dǎo)激光器 ( CALTECH ) ( MIT ) PCS 應(yīng)用研究進展 光子晶體微腔激光器 HCL:H2O=4:1 wet chemical etch 4 % Compressively Strained InGaAsP QWs Slab thichness: 10nm QWs separated by 23nm barriers Lattice constant: ? = 550nm, Radius of the holes: d=215nm Central defect cavity: 19 holes PMMA—Electronbeam lithography CrCu layer—Ar+ ion beam etch SiN2 layer—CF4 reactive ion etch InP Substrate InGaAsP QWs region—ECR etch PCS 應(yīng)用研究進展 光子晶體微腔激光器 PCS 應(yīng)用研究進展 光子晶體微腔激光器 PCS 應(yīng)用研究進展 光子晶體 （ 三維 ） 制備工藝 半導(dǎo)體光刻工藝 ? Waves of certain ? can not enter into or propagate through the materials. Model d W Si d d d d a y z (a) (b) (c) (d) (e) b Fabrication Example Si / SiO2 ?? gap= 14 % ? 0,center ? = ?m 制備工藝 溶膠－凝膠（ Solgel)法 Si Substrate Substrate 微球尺度 855nm?％ － SiO2 Opals ( 模板 ) 制備 T h 80oC 65oC 制備工藝 溶膠－凝膠（ Solgel)法 － Si inverted opals 制備 550oC Substrate Substrate Substrate LPCVD 制備工藝 (111) surface 2層 4層 16層 a. 透射譜： — 理論 — 實驗 b. 理論計算的光子能帶 空氣球大小： (a, b): 1mm, (c, e): 670nm 制備工藝 (100) surface c. 理論計算的光子能帶 b. 反射譜： — 841nm, — 1070nm 空氣球大小： (d, f) : 855mm (c )(d) Patterned photonic crystals with high aspect ratios Doping and patterning Si photonic crystals (b) 在大面晶體中刻進 100?m 光子晶體環(huán) (a) 在 Si 光子晶體中引入填隙缺陷 制備工藝 應(yīng)用研究 量子信息處理 光電子學(xué)的未來 《 光電子技術(shù)及應(yīng)用 》 課程的講義參考了： 姚敏玉教授的 《 激光原理 》 講義 劉小明教授的 《 光電子技術(shù)基礎(chǔ) 》 講義 董毅副教授的 《 光通信 》 講義 鄭小平副教授的 《 光纖傳感技術(shù) 》 講義 感謝： 光電子學(xué)的未來 謝 謝
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