金屬工藝學(xué)下學(xué)期課件第三章-資料下載頁(yè)
2025-05-02 06:00本頁(yè)面
【正文】 源消耗少，無(wú)加工污染，在節(jié)能、環(huán)保等方面有較大優(yōu)勢(shì)。 第三章 特種加工 高能束加工 一、激光加工 (1)激光打孔 (2)激光焊接 (3)激光切割 (4)激光表面熱處理 (5)其它應(yīng)用 激光切割原理圖 第三章 特種加工 高能束加工 二、電子束和離子束加工 （ electron beam machining,EBM） (1) 電子束加工原理 在真空條件下，利用電子槍中產(chǎn)生的 電子極細(xì)束流高速?zèng)_擊到工件表面上極小的 部位，使材料局部熔化或蒸發(fā)，來(lái)去除材料 (2) 電子束加工的特點(diǎn) 1) 高功率密度 2) 電子束強(qiáng)度、位置、聚焦可精確控制 3) 環(huán)境污染少 電子束加工原理圖 1發(fā)射陰極 2控制柵極 3加速陽(yáng)極 4聚焦系統(tǒng) 5電子束斑點(diǎn) 6工件 7工作臺(tái) 第三章 特種加工 高能束加工 二、電子束和離子束加工 （ electron beam machining,EBM） (2) 電子束加工的應(yīng)用范圍 1)電子束打孔 2)電子束 3)光刻 4)其它應(yīng)用 電子束加工曲面、彎孔 用電子束加工的孔 第三章 特種加工 高能束加工 二、電子束和離子束加工 （ ion beam machining,IBM） (1) 離子束加工原理 真空條件下利用離子源（離 子槍）產(chǎn)生的離子經(jīng)加速聚焦形 成高能的離子束流投射到工件表 面，使材料變形、破壞、分離以 達(dá)到加工目的 第三章 特種加工 高能束加工 二、電子束和離子束加工 （ ion beam machining,IBM） (2) 離子束加工特點(diǎn) 1)加工精度高。 2)在較高真空度下進(jìn)行加工，環(huán)境 污染少。 3)加工應(yīng)力小，變形極微小，加工 表面質(zhì)量高 (3) 離子束加工的應(yīng)用范圍 包括離子蝕刻、離子鍍膜及離 子濺射沉積和離子注入等。 離子束加工的應(yīng)用
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