次離子質(zhì)譜simsppt課件-資料下載頁
2025-05-01 02:47本頁面
【正文】 nt α: degree of ionzation f: mass spectrometer transmission by Helmut W. Werner SIMS—二次離子質(zhì)譜儀： (Charge neutralization) SIMS—離子源： ? 熱陰極電離型離子源 ? 雙等離子體離子源 ? 液態(tài)金屬場離子源 一次探束多樣： Ar＋ 、 Xe＋ … ； O、 O2+… ； Cs+、Ga+… ； CF3+、 C2F5+、 C3F7+、 SF5+、 C60、 gold cluster…… SIMS—質(zhì)量分析器： ? 四極質(zhì)譜計（ Quadrupole Mass Spectrometer） ? 雙聚焦磁偏轉(zhuǎn)（ Double Focusing Magic Sector —QMS ）質(zhì)譜計 ? 飛行時間（ Time of Flight—TOF）質(zhì)譜計 代表性的商品化 SIMS儀器： Quadrupole Based SIMS ? 德國 ATOMIKA 4600 ? 美國 Φ (PHYSICAL ELECTRONIC） ADEPT – 1010 Double Focusing Magic SIMS ? 法國 CAMECA IMS 6f, 1270和 NANO 50 ? 澳大利亞國立大學 SHRIMP RG TOF (TimeofFlight) SIMS ? 德國 IONTOF GmbH TOFSIMS IV ? 美國 Φ (PHYSICAL ELECTRONIC） TRIFT III Quadrupole Based SIMS Double Focusing Magic SIMS TOF (TimeofFlight) SIMS SIMS的發(fā)展 —離子探針 ? 又稱離子微探針質(zhì)量分析器（ Ion Microprobe Mass Analyzer—IMMA）或掃描離子顯微鏡（ SIM） SIMS的發(fā)展 —直接成像質(zhì)量分析器 ? Director Imaging Mass Analyzer(DIMA)，又稱成像質(zhì)譜儀（ Imaging Mass Spectrometer—IMS）或離子顯微鏡（ IM） SIMS的發(fā)展 —靜態(tài) SIMS和動態(tài) SIMS ? Static SIMS amp。 Dynamic SIMS SIMS的發(fā)展 —SNMS ? Sputter Neutral Mass Spectroscopy SIMS—局限性： ? 樣品成分復雜時識譜困難 ? 基體效應（ Matrix Effect） ? 定量分析困難 SIMS應用示例（一）： Peter Sj214。vall et al. Analytical Chemistry, 2022,75: 34293434. 鑒別和定位生物樣品中的有機分子 ImprintImaging TOFSIMS SIMS應用示例（二）： 藥物研究 Anna M. Belu et al., Biomaterials, 2022,24:36353653. SIMS還應用于： 半導體及微電子領(lǐng)域：基體表面痕量雜質(zhì)分析 環(huán)境領(lǐng)域：大氣中微粒成分分析 地球及天體科學：地質(zhì)樣品 納米科學：納米材料的結(jié)構(gòu) …… ? 化學、物理學、生物學、材料科學、微電子、光電、冶金、地質(zhì)、礦物、醫(yī)藥等領(lǐng)域
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