擴(kuò)散作業(yè)ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-04-29 02:54本頁(yè)面
【正文】 查圖 D~T可知： B的擴(kuò)散系數(shù) D1=4 1015cm2/s。 查圖 CSOl~T可知： B的固溶度 CSOl=4 1020cm3。 m i )cm105l n (s/cm1044)cm102()cm1042cm105()CCl n (D4x)C2C(D/tD)C2C(t316318215242320318B2S122j21S2S12221S2S1????????????????????????????可見(jiàn)，當(dāng) T1=950 ℃ 時(shí)， t1=，時(shí)間較短。 取 T1=920℃ ， 查圖 D~T可知： B的 D1=2 1015cm2/s。 查圖 CSOl~T可知： B的固溶度 CSOl= 1020cm3。 m i )105l n (/1024)102()105()l n (4)2(/)2(31631821524232031821222121222121?????????????????????????scmcmscmcmcmcmCCDxCCDtDCCtBSjSSSS???所以，選 T1=920， t1?，CSOl=4 1020cm3CS2；滿足設(shè)計(jì)要求。 某硅晶體管基區(qū)硼預(yù)淀積溫度為 950℃ ，要求預(yù)淀積后的方塊電阻為 120Ω/□ 左右，試確定預(yù)淀積所需要的時(shí)間。 解 : 由于預(yù)沉積屬于 恒定表面源擴(kuò)散 ，它遵循 余誤差分布 。 根據(jù)題意可知：當(dāng)擴(kuò)散 T=950℃ 時(shí)， 查圖 D~T可知： B的 D(950℃ )=4 1015cm2/s。 查圖 NSOl~T可知： CSOl(950℃ )=4 1020cm3。 2142190 11 ???????????? cmscmCqRQp?pp qRqR ???? ??110得到根據(jù)，則預(yù)沉積的雜質(zhì)總量： DCQtDtCQSS /)2(2200 ?? ??? 得到根據(jù)預(yù)沉積所需要的時(shí)間為： m i 1 0 0)/104/()(/)2(/)2(21523202142020???????????????sscmcmcmDNQDNQtSo lS
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