【正文】 用顯微鏡放大后，│ │ │ │ │觀察塵粒大小和數(shù)量的方法│├──┼──────┼────┼────────────┤│27 │純水 │去離子水│指溫度25℃時(shí)，電阻率 ││ │ │深度脫鹽│10^6歐姆厘米的││ │ │水 │水 │├──┼──────┼────┼────────────┤│28 │高純水 │ │指溫度25℃時(shí)，電阻率大于││ │ │ │10^6歐姆厘米，水中││ │ │ │││ │ │ │小于300粒／毫升，活微生││ │ │ │物小于9個(gè)／毫升的純水 │├──┼──────┼────┼────────────┤│29 │純水終端凈 │純水后處│在用水點(diǎn)附近，對(duì)水質(zhì)作進(jìn)││ │化裝置 │理設(shè)備 │一步凈化處理的裝置 │├──┼──────┼────┼────────────┤│30 │高純氣體 │ │指純度大于或等于 ││ │ │ │99，9999％， ││ │ │ │含水量小于5ppm的氣體 │├──┼──────┼────┼────────────┤│31 │氣體終端凈 │ │在用氣點(diǎn)附近，對(duì)氣體作進(jìn)││ │化裝置 │ │一步純化處理的裝置 │├──┼──────┼────┼────────────┤ │32 │高效氣體過 │ │氣體經(jīng)過濾后，達(dá)到小于或││ │濾器 │ │││ │ │ │／升的氣體過││ │ │ │濾器 │└──┴──────┴────┴────────────┘附錄二潔凈室空氣潔凈度的測(cè)試一、潔凈室的空氣潔凈度，應(yīng)進(jìn)行下列測(cè)試：（一）空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試空態(tài)測(cè)試：潔凈室已竣工，凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下邊行測(cè)試。靜態(tài)測(cè)試：潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài)，工藝設(shè)備已安裝，室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。（二）動(dòng)態(tài)測(cè)試潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試。二、潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè)，可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。三、空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試（一）測(cè)試前的準(zhǔn)備應(yīng)對(duì)潔凈室及其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)進(jìn)行徹底清潔。采用光散射粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高效空氣過濾器進(jìn)行檢漏測(cè)試。首先測(cè)定高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)靜壓箱內(nèi)（或風(fēng)管內(nèi)）粒徑大于或等于0．5微米的塵粒數(shù)應(yīng)為大于或等于30，000粒／升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子 計(jì)數(shù)器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器23厘米處，可以2～4厘米／秒的速度移動(dòng)，對(duì)高效空氣過濾器整個(gè)斷面 封頭膠處和安裝框架處進(jìn)行掃描。當(dāng)粒子計(jì)數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0．5微米的塵粒超過3粒／分升（或其穿透率大于0．01‰）即認(rèn)為該處有明顯滲漏，必須進(jìn)行堵漏。（二）測(cè)試內(nèi)容總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新鮮空氣量、排風(fēng)量等；潔凈室壓力值；層流潔凈室斷面風(fēng)速和氣流流向；潔凈工作區(qū)的潔凈度；室內(nèi)溫度、濕度及其控制能力的調(diào)整測(cè)試； 潔凈室內(nèi)噪聲。（三）潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測(cè)試方法對(duì)于粒徑大于或等于0．5微米的塵粒計(jì)數(shù)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)法。對(duì)于粒徑大于或等于5微米的塵粒計(jì)數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計(jì)數(shù)法。光散射粒子計(jì)數(shù)法：光散射粒子計(jì)數(shù)器采樣量100級(jí)：每次采樣量大于或等于1升。l，000級(jí)－l0,000級(jí)：每次采樣量大于或等于0．3升。100，000級(jí)：每次采樣量大于或等于0．1升。對(duì)于100級(jí)潔凈室，宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試；如果條件不具備時(shí)，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計(jì)數(shù)器。采樣注意事項(xiàng) （1）采樣管必須干凈，連接處嚴(yán)禁滲漏。（2）采樣管的長度，應(yīng)根據(jù)儀器的允許長度。當(dāng)無規(guī)定時(shí)，不宜大于1．5米。（3）采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風(fēng)速相接近。測(cè)試人員應(yīng)在采樣口的下風(fēng)側(cè)。（4）采樣順序應(yīng)按含塵濃度從低到高進(jìn)行。測(cè)點(diǎn)布置（l）檢測(cè)在潔凈工作區(qū)內(nèi)進(jìn)行。當(dāng)生產(chǎn)工藝無特殊要求時(shí)，取樣高度宜為離地面1米。（2）層流潔凈室測(cè)點(diǎn)總數(shù)不小于20點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)間距為0．5～2．0米，粒徑大于或等于0．5微米的塵粒數(shù)允許有一個(gè)點(diǎn)超過。水平層流潔凈室測(cè)點(diǎn)僅布置在第一潔凈工作區(qū)內(nèi)。 （3）亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)（附圖2）。每增加20－50平方米，增加35個(gè)測(cè)點(diǎn)。數(shù)據(jù)整理（1）每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理應(yīng)在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值。（2）對(duì)于大于或等于0．5微米的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測(cè)定點(diǎn)最大值，亂流潔凈室取各測(cè)點(diǎn)的平均值。（四）正壓值測(cè)定應(yīng)采用精度可達(dá)0．01毫米水柱的微壓計(jì)。四、動(dòng)態(tài)測(cè)試。在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測(cè)點(diǎn)的氣流上風(fēng)向進(jìn)行，測(cè)試方法同空態(tài)、靜態(tài)測(cè)試。附錄三 潔凈廠房生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類舉例┌──┬────────────────────────┐│生產(chǎn)│ 舉 例 ││類別│ │├──┼────────────────────────┤│甲 │微型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間 ││ │精密陀螺儀裝配的清洗間 ││ │磁帶涂布烘干工段 ││ │化工廠的丁酮、丙酮、環(huán)乙酮易燃熔劑的物 ││ │理提純工作間（光致抗蝕劑的配制工作間） ││ │半導(dǎo)體材料廠使用氫氣的拉晶間、硅烷熱分解室 ││ │集成電路工廠的化學(xué)清洗間（使用閃點(diǎn)小于28℃的易燃││ │液體者）外延間、化學(xué)氣相沉積間和化學(xué)試劑貯存間 │├──┼────────────────────────┤│乙 │膠片廠的洗印車間 │├──┼────────────────────────┤│丙 │計(jì)算機(jī)房記錄數(shù)據(jù)的磁盤貯存間 ││ │顯像管廠裝配工段燒槍間 ││ │磁帶裝配工段 ││ │集成電路工廠的氧化、擴(kuò)散間、光刻間 │└──┴────────────────────────┘附錄四凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)施工的要求一、風(fēng)管、靜壓箱和附件的施工，應(yīng)符合下列要求：（一）施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)保持清潔。風(fēng)管及其附件、靜壓箱、空氣調(diào)節(jié)器、技術(shù)夾層、機(jī)房以及其它設(shè)備、裝置等的清潔工作應(yīng)邊施工邊進(jìn)行；（二）風(fēng)管、靜壓箱和附件等制作后，應(yīng)存放在清潔、干燥的地點(diǎn)，并應(yīng)采取防止積塵的措施；（三）采用復(fù)合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風(fēng)管，在加工、安裝、施工過程中造成的破損應(yīng)補(bǔ)涂涂料；（四）清掃、擦拭應(yīng)選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料。二、高效和亞高效空氣過濾器的安裝，應(yīng)符合下列要求：（一）必須在土建施工、凈化空調(diào)系統(tǒng)初效、中效空氣過濾器安裝完畢，全系統(tǒng)進(jìn)行檢查、擦試、吹洗運(yùn)轉(zhuǎn)12小時(shí)后方能進(jìn)行；（二）高效空氣過濾器必須在安裝時(shí)方可從保護(hù)袋中取出，同時(shí)應(yīng)進(jìn)行透光目視檢查。凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝；（三）過濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施；（四）過濾器安裝就位后，必須進(jìn)行檢漏和堵漏。三、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、氣閘室、余壓調(diào)節(jié)閥等凈化設(shè)備和部件的安裝，應(yīng)嚴(yán)格按照產(chǎn)品的安裝、施工要求進(jìn)行。附錄五凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求一、潔凈室的空氣，宜按附表５規(guī)定進(jìn)行監(jiān)測(cè)潔凈室的空氣監(jiān)測(cè)頻數(shù) 附表5┌──────┬──┬───┬────┬──────┐│＼空氣潔 │ │ │ │ ││鑒測(cè)＼ 凈度│100 │1000 │10,000 │ 100,000 ││項(xiàng)目＼等級(jí) │ │ │ │ │├──────┼──┴───┴────┴──────┤│溫度 │每班二次 │├──────┼──────────────────┤│濕度 │每班二次 │├──────┼────┬─────────────┤│正壓值 │每周一次│每月一次、 │├──────┼────┼──────┬──────┤│潔凈度 │每周一次│每三個(gè)月一次│每六個(gè)月一次│ └──────┴────┴──────┴──────┘附錄六凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)風(fēng)管壁厚風(fēng)管壁厚 附錄6┌─┬────────┬────────┬────────┬────────┐│風(fēng)│冷軋鍍鋅 │鋁板制風(fēng)管 │不銹鋼板制風(fēng)管 │塑料板制風(fēng)管 ││管│鋼板制風(fēng)管 │ │ │ ││形├────┬───┼────┬───┼────┬───┼────┬───┤│狀│外徑或最│壁厚 │外徑或最│壁厚 │外徑或最│壁厚 │外徑或最│壁厚 ││ │大邊長 │（毫 │大邊長 │（毫 │大邊長 │（毫 │大邊長 │（毫 ││ │（毫米）│ 米）│（毫米）│ 米）│（毫米）│ 米 │（毫米） │ 米）│├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│圓│100～200│ │100～320│ │100～500│ │100～320│ ││形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│風(fēng)│220～500│ │360～630│ │560～ │ │360～630│ ││管│ │ │ │ │1120 │ │ │ ││ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│ │560～ │ │700～ │ │1250～ │ │700～ │ ││ │1120 │ │2000 │ │200 │ │1000 │ ││ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│ │1250～ │～ │ │ │ │ │1120～ │ ││ │2000 │ │ │ │ │ │2000 │ │├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│矩│100～200│ │100～320│ │100～500│ │120～320│ ││形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│風(fēng)│220～500│ │360～630│ │560～ │ │100～500│ ││管│ │ │ │ │1120 │ │ │ ││ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│ │560～ │ │700～ │ │1250～ │ │6300～ │ ││ │1120 │ │2000 │ │2000 │ │800 │ ││ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│ │1250～ │～ │ │ │ │ │1000～ │ ││ │2000 │ │ │ │ │ │1250 │ ││ ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤│ │ │ │ │ │ │ │1600～ │ ││ │ │ │ │ │ │ │2000 │ │└─┴────┴───┴────┴───┴────┴───┴────┴───┘附錄七本規(guī)范用詞說明一、執(zhí)行本規(guī)范條文時(shí)，對(duì)于要求嚴(yán)格程度的用詞說明如下，以便執(zhí)行中區(qū)別對(duì)待。表承很嚴(yán)格，非這樣作不可的用詞：正面詞采用“必須”；反面詞采用“嚴(yán)禁”。表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣作的用詞：正面詞采用“應(yīng)”；反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”。表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)，首先應(yīng)這樣作的用詞：正面詞采用“宜”或“可”；反面詞采用“不宜”。二、條文中指明必須按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)按……執(zhí)行”或“應(yīng)符合……要求或規(guī)定”。非必須按所指定的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范執(zhí)行的寫法為，“可參照……”?！?2