光子晶體匯報(bào)ppt課件-資料下載頁
2025-01-14 07:51本頁面
【正文】 蝕刻 ,反應(yīng)離子束蝕刻 ,化學(xué)氣相淀積等技術(shù)運(yùn)用于堆積式的光子晶體制造 . S. Y. Lin et al.,Nature 394, 251 (1998) (1) 利用電子束 ,激光束等在 Si基上進(jìn)行蝕刻 ,留出一系列彼此平行的Si棒 。 (2) 再用水解等方法將 Si棒之間的區(qū)域用 SiO2進(jìn)行填充 ,并進(jìn)行表面機(jī)械拋光 。 (3) 然后再用多晶 Si沉積的方法在(2)中所得的層上鋪一層 Si,以便蝕刻與 (2)中 Si棒向垂直的第二層 Si棒 (4) 重復(fù)以上步驟以制得所需的層數(shù) ,然后再用酸將 SiO2清洗掉 ,即得三維周期性結(jié)構(gòu) ?膠體自組織法 ?激光全息法 光子晶體被科學(xué)界和產(chǎn)業(yè)界稱為“光半導(dǎo)體”或“未來的半導(dǎo)體”。 可以預(yù)計(jì)，光子晶體的許多基本應(yīng)用將會(huì)在市場(chǎng)上體現(xiàn)出來，在這些應(yīng)用中，將會(huì)有高效光子晶體激光發(fā)射器和高亮度的發(fā)光二極管。 在二十年內(nèi)，應(yīng)該制造出第一個(gè)光子晶體邏輯路 。 由光子晶體制造的光通訊器件將會(huì)改變光通訊的現(xiàn)狀，光子晶體技術(shù)的發(fā)展必將對(duì)光通信技術(shù)產(chǎn)生重大而深遠(yuǎn)的影響。 四、光子晶體的發(fā)展前景 探求光子晶體的新物理效應(yīng) 設(shè)計(jì)有特定帶隙結(jié)構(gòu)的光子晶體 制作光子晶體的新方法 光子晶體在實(shí)際中的應(yīng)用 總 結(jié) ?數(shù)值計(jì)算 ?結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) ?制作方法 謝 謝
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