athlete晶圓植球機(jī)新程序建立-資料下載頁
2025-01-07 09:26本頁面
【正文】 10，選擇“ MOUNTING ROBOT JOG MOVE” 11，將 CHECK CAMERA移動(dòng)到 CHECK POINT 2的上邊緣 12，觀察顯示器上的圖形，選定一球 13，利用“ TABLE CORRECTION JOG MOVE”將球在 MASK開口中移正 14， CANCEL，利用“ MOUNT ROBOT JOG MOVE”將 JOG調(diào)至 10MM倍率，向下移動(dòng) 5次，即 CAMERA50MM行程 ，觀察顯示器上的球與開口位置 15，從 2 圖位置比較可以看出，存在著順時(shí)針角度偏移，需要逆時(shí)針方向調(diào)整，利用“ TABLE CORRECTION JOG MOVE”按照“順 +逆 ”原則進(jìn)行角度調(diào)整，并調(diào)整 X,Y方向?qū)⑶蛱幱陂_口中心 16，選擇“ MT POINT CORRECTION VAUEL AUTOMATIC INPUT”保存植球補(bǔ)正量 17，選擇“ MOUNT ROBOT JOG MOVE”向上移動(dòng) 50MM返回原來位置，觀察現(xiàn)在球與開口位置情況，如果還是存在偏移，繼續(xù)用此方法調(diào)整，直到 Y 方向無變化， X 方向同理，時(shí)時(shí)注意保存。 18，選擇“ TYPE DATA”中的“ PRINT/MOUNT POINT SETTING” 19，將 P PT CORR(WHOL OR F)和 P PT CORR(B SQUEE)里參數(shù)改成與 MOUNT POINT CORRECTN相同。 20，返回至此界面，選擇“ PRINTINT POINT CORRECTION” 21，選擇“ PRINTING MASK RECOGNITION” 22,選擇“ WAFER RECOGNITION” 23，選擇“ PRINTING POINT TRANSFER” 24，選擇“ PRINTING CHECK POINT TRANSFER” 25，涂膠 CHECK點(diǎn)有 2個(gè)位置（ 1， 2） 26，建議選擇 1，將 CHECK CAMERA移動(dòng)至 CHECK1位置 27，將第二個(gè)顯示器選擇 LINE A 28，觀察球與涂膠 MASK開口位置情況，調(diào)整方法同植球 MASK相同，注意的是因?yàn)镃HECK CAMERA裝在刮刀上的，所以只能在 Y方向移動(dòng)，調(diào)整過程勿忘記時(shí)時(shí)將“ PT POINT CORRECTION VAUEL AUTOMATIC INPUT”保存 六，所有 CHECK都調(diào)整完畢，手動(dòng)操作涂遍膠檢查膠情況。
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