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太陽能用晶體硅中鐵雜質(zhì)及其磷吸雜研究-朱笑東-資料下載頁

2024-12-08 08:45本頁面
  

【正文】 壽命的影響 1 鐵沉淀對單晶硅少子壽命的影響 2 鐵沉淀對單晶硅少子壽命的影響 3 吸雜效果 [Fe]~1013cm- 3 變溫吸雜處理 900℃ /+ 700℃ / [Fe]~1013cm- 3 總結(jié) ? 隨著引入鐵濃度的增加, 壽命逐漸下降; ? 間隙鐵傾向于在位錯出聚集,降低了硅片復(fù)合活性; ? 磷吸雜能有效消除鐵沾污的影響,但是位錯阻礙了磷吸雜的效果。 SILAB 謝謝!
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