【正文】
ument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan ? 測量范圍: 300*300*300 mm ? 3 軸體積干涉儀測量位移 ? 測量不確定度 : 30nm ? 定位重復(fù)性 : 5 nm 韓國 BUPE超高精度 CMM Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 瑞士 METASCMM ?測量范圍: 90*90*38mm ?平面激光干涉儀系統(tǒng)測量平臺三維定位位置 ?重復(fù)性: 5nm ?精度: 30nm ?探頭直徑: mm至 1 mm Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 用于 STM/AFM的 測量機臺 美國 MIT與北卡大學(xué)合作的Subatomic 測量機 美國 NIST的分子測量機 Nano Measurement Lab. School of Instrument Science and Optoelectronics Engineering. HFUT Prof. K. C. Fan 臺灣大學(xué) NanoCMM Autofocus probe PZT XY stage Nanomotion Xamp。Y stages CCD camera Rectangular bridg