先進(jìn)制造技術(shù)顧明成-資料下載頁(yè)
2025-05-13 15:03本頁(yè)面
【正文】 技術(shù)。 在光致抗蝕劑上生成 曝光圖形實(shí)體 ； 用曝光蝕刻的圖形實(shí)體作電鑄用胎膜，在胎膜上沉積金屬形成金屬微結(jié)構(gòu)件； 用 金屬微結(jié)構(gòu)件作為注塑模具注塑出所需的微型零件。 LIGA工藝過(guò)程 封接技術(shù) 目的 ：將微機(jī)械件連接在一起，使其滿(mǎn)足使用要求。 方法 ：反應(yīng)封接、淀積密封膜和鍵合技術(shù)。 反應(yīng)封接 ：是將多晶硅結(jié)構(gòu)與硅基片通過(guò)氧化反應(yīng)封接在一起。 淀積密封膜 ：是用化學(xué)氣相淀積法在構(gòu)件和襯底之間淀積密封膜。 硅 硅直接鍵合 ：在高溫下依靠硅原子力量直接鍵合在一起形成一個(gè)整體； 靜電鍵合 ：將硅和玻璃之間加上電壓產(chǎn)生靜電引力而使兩者結(jié)合成一體。 分子裝配技術(shù) 掃描隧道顯微鏡 STM、原子力顯微鏡 AFM具有 分辨率，是精度最高的表面形貌觀測(cè)儀。利用其探針尖端可以俘獲和操縱分子和原子，并可按照需要拼成一定的結(jié)構(gòu)， 進(jìn)行分子和原子的裝配制作微機(jī)械 。 美國(guó)的 IBM公司用 STM操縱 35個(gè)氙原子 ，在鎳板上拼出了 “ IBM”三個(gè)字母； 日本用原子拼成了 “ Peace”一詞 中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所用原子擺成 中國(guó)地圖 ； ? 加工方法多樣化 兩個(gè)領(lǐng)域：微機(jī)械加工、半導(dǎo)體化學(xué)加工； 從單一加工技術(shù)向組合加工技術(shù)發(fā)展。 ? 從單純硅材料向著多種類(lèi)型材料發(fā)展 如玻璃、陶瓷、樹(shù)脂等。 ? 提高微細(xì)加工的經(jīng)濟(jì)性 LIGA出現(xiàn)是微機(jī)械進(jìn)行批量生產(chǎn)的范例。 ? 微細(xì)加工機(jī)理研究 。 微細(xì)加工技術(shù)的發(fā)展與趨勢(shì)
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1