傳感檢測技術(shù)及其應(yīng)用第4章-資料下載頁
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【正文】 ???? )21(2對于金屬電阻絲而言， ???? d??? )21( ，而對于半導(dǎo) 來說， ???? d??? )21( ，所以半導(dǎo)體的電阻－應(yīng)變效 應(yīng)為 。量，－半導(dǎo)體材料的彈性模數(shù)；－半導(dǎo)體材料的壓阻系式中PaEEdRR11101 . 6 7 ????????? 2021年 6月 15日 36 （ 1）結(jié)構(gòu) N作為彈性敏感元件，在其上擴(kuò)散制成 P型 電阻，稱為硅杯。 （ 2）特點(diǎn) 體積小，重量輕，可微型化；相應(yīng)頻率高，頻 帶寬，適合動態(tài)測量；精度、靈敏度高等。 （ 3）電源電橋及其特點(diǎn) （ 4）固態(tài)壓阻傳感器的補(bǔ)償 絕壓測量方式、表壓測量方式、差壓測量方式。 壓力傳感器、壓力變送器等。 2021年 6月 15日 37 Freescale(Motorola),Honeywell,Philips等 2021年 6月 15日 38 直流電橋的測量電路如圖所示 恒 壓 源或恒 流 源應(yīng) 變電 橋放 大電 路輸 出六、電阻式傳感器測量電路 2021年 6月 15日 39 （ 1）差動放大器 R 1R 2R 3R 4v 1v 2v o4 2 2213 4 1 1( 1 )o R R Rv v vR R R R? ? ??D Cv iv oZ 0Z ii ii oZ 0Z i 2021年 6月 15日 40 （ 2）運(yùn)算放大器的儀表放大器 ()o IN IN R E FV G V V V??? ? ? 2021年 6月 15日 41 （ 3）運(yùn)算放大器的儀表放大器 ()o IN IN R E FV G V V V??? ? ? 2021年 6月 15日 42 七、電阻式傳感器應(yīng)用 特點(diǎn) ： ① 應(yīng)用和測量范圍廣：測力可達(dá)到 102～ 107N； 測壓力可達(dá) 103～ 108Pa；測加速度可達(dá) 103 m/s3數(shù)量級。 ② 分辨力、靈敏度和精度高。 （ 1）測力 ① 柱筒形彈性元件測力傳感器 2021年 6月 15日 43 2021年 6月 15日 44 2021年 6月 15日 45 2021年 6月 15日 46 ② 環(huán)形彈性元件測力傳感器 2021年 6月 15日 47 ③ 懸臂梁彈性元件測力傳感器 2021年 6月 15日 48 2021年 6月 15日 49 ① 基本應(yīng)用 平面膜片式壓力傳感器，應(yīng)變橋連接成全橋，且 RRRRRRRRRRRR ??????????? 42314321 ,如圖 4－ 22所示，應(yīng)變計(jì) k=，膜片允許測試的最大 應(yīng)變?yōu)?800 ，對應(yīng)的壓力 100kPa，電橋電壓為 5V， 試求最大應(yīng)變時，測量電路輸出端電壓為多少？當(dāng)輸 出電壓為 ，所測壓力為多少？ A4的作用是什么 ？ 2021年 6月 15日 50 2021年 6月 15日 51 該例為恒壓源供電全橋等臂電橋，則電橋輸出電壓為 VUkURRU O 6 ????????? ??電路中 A1， A2， A3運(yùn)放組成同相輸入并串聯(lián)差動放 大電路，放大倍數(shù)為 1000)2020(1)1(521 ???????? ???????RRRRRK fhffF則，最大應(yīng)變時電路輸出端電壓為 UO=*625=5V kP aP 641005 ???輸出端電壓為 2021年 6月 15日 52 （ 1）恒流工作測壓電路 2021年 6月 15日 53 （ 2）恒壓工作測壓電路 2021年 6月 15日 54 （ 3）壓力控制電路 2021年 6月 15日 55 2021年 6月 15日 56 2021年 6月 15日 57 2021年 6月 15日 58 2021年 6月 15日 59 2021年 6月 15日 60 2021年 6月 15日 61 2021年 6月 15日 62 R 2R 1()o IN IN R E FV G V V V??? ? ? 2021年 6月 15日 63 問題： －應(yīng)變效應(yīng)。 ，說明影響電阻應(yīng)變片溫 度誤差的主要因素，如何進(jìn)行補(bǔ)償？ 誤差。 Freescale(Motorola)或 Honeywell半導(dǎo)體 壓力傳感器資料，選擇一種壓力傳感器，設(shè)計(jì)一種 測量空氣流動速度的空速計(jì)。
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