【導(dǎo)讀】可行性研究編制單位：安徽省XX設(shè)計(jì)院有限公司；本可行性研究報(bào)告由安徽省輕工業(yè)設(shè)計(jì)院有限公司編制。究報(bào)告》的合同書(shū)。同行業(yè)在國(guó)際及國(guó)內(nèi)研發(fā)中心的建設(shè)情況。項(xiàng)目提出后已得到各有關(guān)部門(mén)的支持。生產(chǎn)技術(shù)方案和設(shè)備儀器選擇進(jìn)一步深入調(diào)研和磋商。防、環(huán)保、勞動(dòng)安全衛(wèi)生、投資估算和經(jīng)濟(jì)評(píng)價(jià)等方面進(jìn)行全面論證。公司是國(guó)家火炬計(jì)劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)、安徽省高。XX公司主導(dǎo)產(chǎn)品ITO透明導(dǎo)電玻璃是安徽省高新技術(shù)產(chǎn)品，三等獎(jiǎng)；觸摸屏用透明導(dǎo)電玻璃獲2021年蕪湖市科學(xué)技術(shù)二等獎(jiǎng)。目以及省、市級(jí)多個(gè)項(xiàng)目的研發(fā)工作，部分項(xiàng)目已完成并通過(guò)驗(yàn)收。足的提高，已成為全球最大的ITO透明導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)企業(yè)之一。

　　

【正文】 膜的轉(zhuǎn)換效率和光致劣化問(wèn)題，為下一步 aSi 薄膜太陽(yáng)能產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)做好關(guān)鍵技術(shù)的準(zhǔn)備。 （ 6） CIS 薄膜太陽(yáng)能電池中薄膜材料沉積工藝的前期研究。 采用磁控濺射方法沉積 CuIn 層，然后 真空硒化退火的方法 ，得到CIS 薄膜層的技術(shù)路線，著重研究磁控濺射和真空 硒化退火 的工藝技術(shù)、工藝參數(shù)對(duì)膜層性能的影響，為下一步 CIS 薄膜太陽(yáng)能產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)做好關(guān)鍵技術(shù)的準(zhǔn)備。 （ 7）手機(jī)面板和觸摸屏面板新材料 根據(jù)手機(jī)面板絕大多數(shù)為 PMMA， PE 或 PET 等塑料基板這一特點(diǎn)，手機(jī)面板的新材料開(kāi)發(fā)我們需要采 用電子槍蒸發(fā)鍍膜和離子輔助沉積工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)低溫（室溫）真空鍍膜，以獲得結(jié)合力好，物理特性穩(wěn)定的薄膜。 在開(kāi)發(fā)多觸點(diǎn)電容觸摸屏面板方面，主要針對(duì)手機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域的觸摸屏面板需要防暴、高平整度、減反射等性能特點(diǎn)開(kāi)發(fā)。結(jié)合 XX 在導(dǎo)電玻璃制造工藝和技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)，重點(diǎn)研究采用磁控連續(xù)式真空鍍膜的方式，對(duì)多觸點(diǎn)電容觸摸屏面板的化學(xué)鋼化、保證平整度和低反射高透過(guò)率的工藝進(jìn)行開(kāi)發(fā)。 技術(shù)方案、設(shè)備方案 技術(shù)方案 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 39 在真空薄膜技術(shù)中，能真正進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的主要有：平面磁控濺射技術(shù)（ Sputtering）、電子束 蒸發(fā)技術(shù)（ EB Evaporation）和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)（ PECVD）。平面磁控濺射技術(shù)在平板顯示器件領(lǐng)域應(yīng)用最多，電子束蒸發(fā)技術(shù)在光學(xué)多層膜領(lǐng)域應(yīng)用最多，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)則在 TFT 液晶顯示器件、半導(dǎo)體器件和薄膜太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域應(yīng)用最為廣大。 根據(jù) XX 公司的技術(shù)特長(zhǎng)，確定以產(chǎn)業(yè)化為方向的薄膜技術(shù)：平面磁控濺射技術(shù)、電子束蒸發(fā)技術(shù)和等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)作為工程技術(shù)研發(fā)中心的技術(shù)方案。 （ 1） 平面磁控濺射技術(shù) 平面磁控濺射技術(shù)是 在真空條件下實(shí)現(xiàn)等離子體放電，利用電磁場(chǎng)控制帶電粒子的運(yùn) 動(dòng)，轟擊被鍍材料，從而在基片上沉積所需要的薄膜。 平面磁控濺射技術(shù)是目前 XX 公司的主要生產(chǎn)技術(shù)， XX 公司現(xiàn)有的產(chǎn)品： LCD 用 ITO 透明導(dǎo)電玻璃、觸摸屏透明導(dǎo)電玻璃和 TFT 液晶電視平面背光源玻璃都是運(yùn)用平面磁控濺射技術(shù)進(jìn)行生產(chǎn)的。 （ 2）電子束蒸發(fā)技術(shù) 加入被鍍材料，使其原子或分子從表面氣化逸出，形成蒸氣流，入射到基片表面，凝結(jié)形成固態(tài)薄膜。電子束蒸發(fā)技術(shù)應(yīng)用最為廣泛的是光學(xué)薄膜沉積。當(dāng)前在 手機(jī)面板 領(lǐng)域，越來(lái)越多地應(yīng)用到 真空鍍膜 技術(shù)，為手機(jī)表觀提供各種各樣的色澤效果，滿足消費(fèi)者的需求。 （ 3）等離子體增強(qiáng) 化學(xué)氣相沉積技術(shù) 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 40 在保持一定壓力的原料氣體中，輸入直流、高頻或微波功率，產(chǎn)生氣體放電，形成等離子體。在氣體放電等離子體中，由于低速電子與氣體原子碰撞，除產(chǎn)生正負(fù)離子外，還會(huì)產(chǎn)生大量的活性基（激發(fā)原子、分子等），從而可大大增強(qiáng)反應(yīng)氣體的活性。這樣，在相對(duì)溫度較低的基體表面，即可發(fā)生反應(yīng)，沉積薄膜。 設(shè)備方案 根據(jù)上述的技術(shù)方案，工程技術(shù)研發(fā)中心 項(xiàng)目設(shè)備方案如 表 51 所示。 表 51 設(shè)備方案 表 序號(hào) 型號(hào) 名稱 數(shù)量 產(chǎn)地 1 真空磁控濺射鍍膜試驗(yàn)機(jī) 1 國(guó)產(chǎn) 2 電子束真空蒸發(fā)試驗(yàn)機(jī) 1 國(guó)產(chǎn) 3 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相（ PECVD）設(shè)備 1 國(guó)產(chǎn) 4 多功能真空鍍膜中試線 1 國(guó)產(chǎn) 5 超聲玻璃清洗機(jī) 1 國(guó)產(chǎn) 6 AE─PEII 中頻電源 2 美國(guó) 7 AE? 射頻電源 2 美國(guó) 8 AE?PNCL6 6 直流電源 2 美國(guó) 7 1179A11CR1BV 流量計(jì) 8 美國(guó) 8 1179A22CR1BV 流量計(jì) 2 美國(guó) 9 TMP2021LM 分子泵 8 日本 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 41 10 SV300 真空旋片泵 4 德國(guó)等 11 WAU2021 羅茨泵 4 美國(guó) 12 BPG400 電離規(guī) 10 12 CDG045 電容規(guī) 4 13 PCD400 熱偶規(guī) 4 14 VAP 真空角閥 10 15 VAH 真空角閥 10 相應(yīng)配套的檢測(cè)儀器如表 52 所示。 表 52 相應(yīng)配套檢測(cè)儀器明細(xì)表 序號(hào) 型號(hào) 名稱 數(shù)量 產(chǎn)地 1 HS500 顯微硬度計(jì) 1 日本 2 Alpha SE 橢偏儀 1 美國(guó) 3 Dektek 6 膜厚檢測(cè)儀 1 美國(guó) 4 NILP3 光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng) 1 日本 5 Lambda 850 全波長(zhǎng)分光光度計(jì) 1 日本 6 Minolta 色差計(jì) 1 美國(guó) 7 DHS100 恒溫恒濕箱 1 國(guó)內(nèi) 8 LGJS050B 高低溫交變濕熱試驗(yàn)箱 1 國(guó)內(nèi) 9 LSYW075 濕熱鹽霧試驗(yàn)機(jī) 1 國(guó)內(nèi) 10 201AD 金相顯微鏡 1 國(guó)內(nèi) 11 Transpector174。 殘余氣體分析計(jì) (RGA) 1 美國(guó) 12 電腦 10 國(guó) 內(nèi) 總平面布置與運(yùn)輸 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 42 廠區(qū)概述 蕪湖 XX 科技股份有限公司 位于 安 徽省蕪湖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)汽經(jīng)二路“ XX 科技工業(yè)園”內(nèi)。 蕪湖市瀕臨長(zhǎng)江，位于長(zhǎng)江三角洲西端，是沿江一座重要的港口城市，素有 “ 長(zhǎng)江巨埠，皖之中堅(jiān) ” 的美譽(yù)。蕪湖轄三縣四區(qū)，兩個(gè)開(kāi)發(fā)區(qū)，面積 3317 平方公里，其中市區(qū)面積 720 平方公里。全市總?cè)丝?230萬(wàn)，其中市區(qū)人口 103 萬(wàn)。 蕪湖臨江近海、居中靠東、承東啟西、連南接北，是貫通華東、華南、華中、華北地區(qū)的重要交通樞紐，區(qū)位優(yōu)勢(shì)十分突出。 4 條高速公路、 5 條鐵路在此交匯，并擁有長(zhǎng)江溯江而上最大的公鐵兩用長(zhǎng)江大橋 ,可直達(dá)北京、上海、杭州、溫州、廣州、廈門(mén)、福州、西安、南 昌等地；國(guó)家級(jí)對(duì)外開(kāi)放港口蕪湖港是長(zhǎng)江溯江而上的最后一個(gè)深水良港，是中國(guó)內(nèi)河運(yùn)輸?shù)闹鳂屑~港；蕪湖距南京祿口國(guó)際機(jī)場(chǎng)和合肥駱崗機(jī)場(chǎng)均約 90 分鐘車程 ,交通運(yùn)輸條件十分優(yōu)越。 蕪湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)位于蕪湖城市東部和北部，是 1993 年 4 月經(jīng)國(guó)務(wù)院批準(zhǔn)設(shè)立的國(guó)家級(jí)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)，現(xiàn)規(guī)劃面積 122 平方公里，是目前我國(guó)中部地區(qū)非省會(huì)城市唯一的國(guó)家級(jí)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)。區(qū)內(nèi)設(shè)有國(guó)家級(jí)出口加工區(qū)、國(guó)家級(jí)高新技術(shù)創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心、國(guó)家級(jí)汽車零部件出口基地、國(guó)家級(jí)汽車電子產(chǎn)業(yè)園。 總平面布置 總平面設(shè)計(jì)原則 （ 1） 總平面布置符合蕪湖經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)的整體規(guī)劃要求； （ 2）總平面布置設(shè)計(jì)依據(jù)：《工業(yè)企業(yè)總平面布置設(shè)計(jì)規(guī)范》蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 43 (GB5018793)，《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》（ GB500162021）等； （ 3）設(shè)計(jì)在滿足試驗(yàn)和中試功能的前提下，考慮物料運(yùn)輸、環(huán)境保護(hù)、安全衛(wèi)生及消防等方面的用地需要； （ 4）總平面布置設(shè)計(jì)緊密結(jié)合利用場(chǎng)地的現(xiàn)狀及當(dāng)?shù)氐淖匀粭l件； （ 5）在技術(shù)上可行、經(jīng)濟(jì)合理的前提下，把新產(chǎn)品研發(fā)和中試車間合并布置，組成工程研究實(shí)驗(yàn)中心大樓模式的結(jié)構(gòu)，既減少了工業(yè)用地，也節(jié)省了項(xiàng)目投資； （ 6）中心大樓建筑結(jié)構(gòu)合理 ，為通風(fēng)、采光、安全衛(wèi)生、物料運(yùn)輸、綠化等創(chuàng)造有利條件。 總平面布置 本項(xiàng)目用地位于工業(yè)園西南側(cè)，將整個(gè)車間構(gòu)建成一個(gè)整體。合理地利用了原有的道路和高壓線走廊，并與生產(chǎn)車間相呼應(yīng)，即相互聯(lián)系、又相互利用。 本項(xiàng)目研發(fā)中心大樓位于整個(gè)工業(yè)園的西南側(cè)，其軸線與汽緯一路平行，垂直與新建的廠房，坐北朝南。樓的前建大型的廣場(chǎng)，樓后種植草坪和綠化帶，樓下建停車場(chǎng)，節(jié)約了土地，做到了優(yōu)地優(yōu)用。 在高壓電線走廊下種植低矮植物和草坪，大量增加了的綠化面積，實(shí)現(xiàn)了工廠式的生產(chǎn)工業(yè)園。 取直并掘?qū)挻髽潜眰?cè)的道路，將 這條道路設(shè)置為貨物運(yùn)輸?shù)闹鞲傻?，并與大樓東側(cè)道路相連，設(shè)西 2門(mén)，主要供貨物運(yùn)輸用。在汽緯一路設(shè)置南大門(mén)，主要供人員出入，使人員出入口與貨物出入口分離，互不干擾，便于公司管理。 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 44 道路系統(tǒng)設(shè)計(jì) 道路系統(tǒng)設(shè)計(jì)力求完善，路網(wǎng)系統(tǒng)功能明確、分級(jí)合理。 道路以西 1門(mén)為中線向南北放坡，道路最大縱坡度在 5%以下。在南側(cè)設(shè)雨水管排放口，而污水仍向北排放匯入原排放口，供環(huán)保部門(mén)進(jìn)行監(jiān)督、檢測(cè)。 西 2門(mén)拓寬道路確定其寬度不小于 12M，其余道路為 6M，做到功能明確，分級(jí)合理。 豎向設(shè)計(jì) 合理確定新 增土地上建筑物及道路標(biāo)高，減少原有車間與新建項(xiàng)目地面的落差，做到便于利用，又節(jié)約投資為豎向設(shè)計(jì)所需達(dá)到的目標(biāo)。 綠化 綠化工程是工廠建設(shè)的重要組成部分，也是營(yíng)造生態(tài)型工廠的重要手段。設(shè)計(jì)中在廠房四周留有 35m 寬綠的綠帶，沿圍墻設(shè)置綠化帶，植草平和灌木，沿路種植喬木。廢水處理區(qū)所有未利用的地面均進(jìn)行綠化，不使用地面裸露，根據(jù)場(chǎng)地特點(diǎn)可種植大片地被植物。規(guī)劃廠區(qū)道路、用紅線或新增車間與老車間形成的其他多處不規(guī)則地塊設(shè)置集中綠地，重點(diǎn)綠化。形成分散綠地與集中綠地相合，草坪、灌木與高大喬木想結(jié)合，硬 質(zhì)鋪地、水池等建筑小品與綠化想結(jié)合，環(huán)境優(yōu)美怡人的現(xiàn)代化新廠區(qū)。 自然條件 地理?xiàng)l件 本項(xiàng)目建設(shè)在位于蕪湖經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)的“ XX 科技工業(yè)園”內(nèi)，該蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 45 園區(qū)內(nèi)已建有 LCD 用 ITO 透明導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)線五條、觸摸屏用 ITO 透明導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)線二條，各方面生產(chǎn)、生活等基礎(chǔ)配套設(shè)施齊全。本項(xiàng)目將 在新建的廠房中進(jìn)行建設(shè)。 蕪湖市位于皖東南，地處長(zhǎng)江與青弋江交匯處，臨江近海；蕪湖港是溯長(zhǎng)江而上的最后一個(gè)深水港，朱家橋外貿(mào)碼頭對(duì)外輪開(kāi)放，內(nèi)河水系暢通，水運(yùn)條件理想；合蕪高速公路、蕪湖長(zhǎng)江公鐵路兩用大橋 已竣工通車，蕪寧高速公路、沿江高速公路也正在建設(shè)中；周邊兩小時(shí)車程內(nèi)有南京、合肥兩大機(jī)場(chǎng)；境內(nèi)有滬銅、皖贛、淮南、宣杭等鐵路；為產(chǎn)品銷售提供了便利的交通條件。 氣候條件 廠址氣候類型屬于北亞熱帶東亞季風(fēng)氣候。 氣 溫 : 年平均最高溫度 ?C 年平均最低溫度 ?C 氣 壓： 年平均最大值 106KPa 年平均最小值 105Kpa 濕 度： 年平均最大值 81% 年平均最小值 75% 降雨量： 年平均降雨日 123 日 年平均降雨量 24 小時(shí)最大降雨量 降雪量： 年平均降雪日 10 日 基本雪載荷 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 46 風(fēng) 力： 全年主導(dǎo)風(fēng)向 東風(fēng) 年平均風(fēng)速 年平均最大風(fēng)速 年平均最小風(fēng)速 基本風(fēng)壓 其 他： 凍土深度 11cm 地表水深度 地震烈度 7 度 土建工程 項(xiàng)目土建內(nèi)容 本項(xiàng)目研發(fā)中心大樓為 14M64M ， 四層，框架結(jié) 構(gòu)，建筑面積為3600M2，一、二層為辦公樓層，三、四層為實(shí)驗(yàn)室及相關(guān)配套設(shè)施等。 研發(fā)中心大樓設(shè)計(jì)結(jié)合現(xiàn)代工業(yè)園的特點(diǎn)，大樓應(yīng)體現(xiàn)高新技術(shù)企業(yè)風(fēng)貌，立面上通過(guò)采用帶形窗、豎窗幕墻形式，輔以灰色塑鋁門(mén)廳加以點(diǎn)綴，外墻采用淡灰涂料粉刷，樓頂采用湖藍(lán)色走邊，與生產(chǎn)車間廠房相一致。 廠區(qū)道路運(yùn)輸 廠區(qū)內(nèi)道路為 米、 米和 米。均能滿足消防和運(yùn)輸?shù)男枰? 廠內(nèi)外運(yùn)輸 廠外運(yùn)輸 廠外運(yùn)輸主要依靠汽車陸運(yùn)，由原有運(yùn)輸部門(mén)承擔(dān)。 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 47 廠內(nèi)運(yùn)輸 廠區(qū)內(nèi)道路為 米、 米和 米。轉(zhuǎn) 彎半徑為 912 米，廠區(qū)道路平直、順暢，人貨分流，滿足運(yùn)輸及消防要求。 本期項(xiàng)目所有需新建的建（構(gòu)）筑物，詳見(jiàn)表 53 主要建（構(gòu)）筑物表 表 53 名 稱 面 積 數(shù) 量 備 注 研究中心 ＝ 3600m178。 1 個(gè) 框架 結(jié)構(gòu) (底層層高，其余層高 米 ) 給水工程 工程用水量： 工程用水量估算表 表 54 序號(hào) 用水部門(mén) 用水量 (m3/d) 備 注 1 生產(chǎn) 用水 5 2 生活及其它用水 3 3 合 計(jì) 8 4 室內(nèi)消防 15L/s 消防歷時(shí) 2 小時(shí) 5 室外消防 20L/s 水質(zhì)、水壓要求： 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 48 水質(zhì)、水壓要求表 表 55 用水種類 項(xiàng)目 生產(chǎn)用水 生活用水 消防用水 水質(zhì)要求 符合《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》 GB5749 – 85 標(biāo)準(zhǔn)。 水溫（℃） 常 溫 水壓（ MPa） 水源 本工程（指 研發(fā)中心 ）建設(shè)地位于安徽省蕪湖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)，在 XX 科技工業(yè)園內(nèi)實(shí)施。開(kāi)發(fā)區(qū)內(nèi)的