【正文】 my — 測(cè)試上限處測(cè)試輸出值的平均值； 1y — 測(cè)試下限處測(cè)試輸出值的平均值； x — 測(cè)試系統(tǒng)在測(cè)試范圍內(nèi)的物理量值 （ 2）計(jì)算各測(cè)試點(diǎn)的正、反行程算術(shù)平均值與端點(diǎn)連線方程的差值： 第 31 頁(yè) 共 38頁(yè) I( )Ii i EP iyLH y y? ? ? ( 1, 2 , )im? () D( ) D i i EP iyLH y y? ? ? ( 1, 2 , )im? () 從上兩式的數(shù)據(jù)中，找出最大的正偏差 ()yLH?? 和最大的負(fù)偏差 ()yLH??? ，則端點(diǎn)平移線的截距 a按下式計(jì)算： 1a = y ( ) ( )2 y LH y LH? ??? ? ? ? ? ??? () 端點(diǎn)平移線的斜率與端點(diǎn)連線的斜率相同： 11b= mmyyxx?? () 系統(tǒng)的工作直線為端點(diǎn)平移線的方程： 1a+b( )SEy x x?? () （ 3）滿量程輸出值 FSy 系統(tǒng)工作直線的上限值與下限值之差的絕對(duì)值為系統(tǒng)的滿量程輸出值： 1FS myyy ?? () （ 4）誤差 ① 重復(fù)性誤差： 按下式計(jì)算各測(cè)試點(diǎn)上正、反行程子樣標(biāo)準(zhǔn)偏差： 2I 1 I I1 ()1 ij iS y yn? ? ?? ? （ ) 2D D D1 ()1i ij iS y yn??? ? 第 32 頁(yè) 共 38頁(yè) () 測(cè)試傳感器在整個(gè)測(cè)試范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)偏差為： ID22111 ()2iimmiiS S Sm ?????? () 測(cè)試傳感器的重復(fù)性誤差表示為隨機(jī)誤差的極限值，按下式計(jì)算： FS3 1 0 0 % 2 .4 6 %S Sy? ? ? ? () ② 用端點(diǎn)平移線為工作直線的校準(zhǔn)系統(tǒng)，其系統(tǒng)誤差即線性度，是 傳感器實(shí)際平均輸出特性曲線對(duì)端基直線的最大偏差與傳感器滿量程輸出的百分比，按下式計(jì)算： LHFS1 ( ) ( )2 100%y L H y L Hy? ? ??? ? ? ? ????? () 線性校準(zhǔn)系統(tǒng)的基本誤差，即不確定度為 [41]： LHA= ( )S???? () 在絕壓 100kPa～ 100kPa 的測(cè)量范圍內(nèi)選取 10 個(gè)壓力點(diǎn)，進(jìn)行 3 次循環(huán)（正行程、反行程）實(shí) 驗(yàn)。壓力標(biāo)定實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如表 表 壓力標(biāo)點(diǎn)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù) 電壓（ V） 壓力 （ kPa） 第一次循環(huán) 第二次循環(huán) 第三次循環(huán) 正行程 反行程 正行程 反行程 正行程 反行程 0 第 33 頁(yè) 共 38頁(yè) 2， 03998 10個(gè)輸入壓力值對(duì)應(yīng)的正行程輸出電壓值的算術(shù)平均值記為 y，反行程輸出電壓值的平均值記為 y1，正行程和反行程的算術(shù)平均值記為 y2。 由 y2 形成的曲線稱為校準(zhǔn)曲線，應(yīng)用 EXCEL 進(jìn)行校準(zhǔn)曲線擬合，如圖 所示： 圖 EXCEL 擬合曲線 所得擬合曲線的方程式 y=+ 端點(diǎn)連線方程為： 1111() 63 81 5 62 24 9 62 24 9 ( 80 .4)99 .8+8 62 24 9 10 55 3 ( 80 .4) 10 55 3 10 67 3mEPmyyy y x xxxxxx?? ? ??? ? ?? ? ??? 表 標(biāo)定數(shù)據(jù)處理 i EPiy ( )IiyLH? ( )DiyLH? 第 34 頁(yè) 共 38頁(yè) 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 經(jīng)計(jì)算 得： ? ， ? 代入的方程為： 1+ ( ) + ( ) SEy a b x xxx???? 滿量程輸出值為： 1 0 1FS = 1566 25yyy ?? 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)偏差為： S= 重復(fù)性誤差為：FS3 1 0 0 % 0 .5 2 %S Sy? ? ? ? 線性誤差為： 1 0 0 % 0 . 3 5 %L M A XLH FSyy? ? ? ? ? 不確定度為： LHA = ( ) 0 .8 7 %S??? ? ? 第 35 頁(yè) 共 38頁(yè) 5 結(jié) 論 本文設(shè)計(jì)的校準(zhǔn)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)硬件的設(shè)計(jì)和軟件的初步調(diào)試之后，運(yùn)行穩(wěn)定、可靠。對(duì)大量測(cè)定的數(shù)據(jù)進(jìn)行誤差分析后，它的功能和性能指標(biāo)達(dá)到了設(shè)計(jì)的基本要求。 基于 MAX1452 的硅壓力傳感器溫度補(bǔ)償系統(tǒng)有以下特點(diǎn)： 1. 改進(jìn)了傳感器補(bǔ)償?shù)姆椒?，提高了補(bǔ)償?shù)木群驼_度。 2. 通過(guò)數(shù)據(jù)采集，使計(jì)算機(jī)能直接讀取電橋電壓和 MAX1452 輸出的電壓。 3. 可以通過(guò)多次的數(shù)據(jù)采集和補(bǔ)償使測(cè)量的壓力標(biāo)點(diǎn)曲線接近線性變化。 我們都知道當(dāng)今計(jì)算機(jī)技術(shù)，電子技術(shù)，控制技術(shù)等各種技術(shù)的飛速發(fā)展，個(gè)方面的 技術(shù)都在不斷的革新，針對(duì)本文的設(shè)計(jì)，對(duì)未來(lái)的發(fā)展有一些展望： ，能進(jìn)一步的提高測(cè)試數(shù)據(jù)的精度和設(shè)計(jì)方面的精確度。 ，加快產(chǎn)品化發(fā)展。 ，更好的將傳感器應(yīng)運(yùn)與各個(gè)領(lǐng)域。 第 36 頁(yè) 共 38頁(yè) 參考文獻(xiàn) [1]王衛(wèi)華，丁漢，熊有倫 .基于 IEEE 標(biāo)準(zhǔn)的傳感器 儀表 .(8).811. 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