【正文】 平板型的電極，與樣品支架形成一個(gè)放電回路，在腔室中的工藝氣體在兩個(gè)極板之間的交流電場(chǎng)的作用下在空間形成等離子體，分解sih4中的si和h，以及nh3種的n形成sin沉積到硅表面。這種沉積系統(tǒng)目前主要是日本島津公司在進(jìn)行生產(chǎn)。但與管式pecvd設(shè)備相比，平板式pecvd具備產(chǎn)能大、裝卸片容易，易于自動(dòng)化集成等優(yōu)點(diǎn)，但到目前為止，國(guó)產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)上仍未真正出現(xiàn)相關(guān)的成熟產(chǎn)品，但國(guó)產(chǎn)樣機(jī)已完成研發(fā)，單元技術(shù)獲得一定的突破，部分關(guān)鍵零部件仍然要依賴進(jìn)口，工藝結(jié)果及穩(wěn)定性有待進(jìn)一步驗(yàn)證。在確保中低端設(shè)備持續(xù)向前發(fā)展的勢(shì)頭下，開發(fā)具有更高自動(dòng)化水平和單機(jī)生產(chǎn)效率的高端設(shè)備，提高整線生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，是太陽(yáng)能電池制造設(shè)備發(fā)展的必然方向。大型平板pecvd設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化，正令國(guó)內(nèi)客戶翹首以待。令人欣慰的是，國(guó)產(chǎn)平板pecvd設(shè)備的開發(fā)也確實(shí)正在緊鑼密鼓的進(jìn)行當(dāng)中，由北京北方微電子公司進(jìn)行的大型平板pecvd設(shè)備的自主研發(fā)，目前已經(jīng)接近尾聲，并于20__年第二季度推向市場(chǎng)。國(guó)產(chǎn)pecvd設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)推薦北方微電子：北方微電子研發(fā)的平板型pecvd設(shè)備成膜的均勻性、折射率、減反射效果以及各種工藝技術(shù)指標(biāo)都達(dá)到了世界先進(jìn)水平，經(jīng)過反復(fù)測(cè)試，具有良好的穩(wěn)定性和可維護(hù)性。采用獨(dú)有的反應(yīng)室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提升反應(yīng)室內(nèi)等離子場(chǎng)、溫度場(chǎng)、流體場(chǎng)和壓力場(chǎng)的均勻性，確保膜層具有優(yōu)良性能。采用1010片的在線式架構(gòu)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)每小時(shí)1500片的設(shè)計(jì)產(chǎn)量?？蓴U(kuò)展多工藝腔設(shè)計(jì)，按照客戶需求實(shí)現(xiàn)更大產(chǎn)能。該產(chǎn)品于今年二季度末推向市場(chǎng)，北方微電子建立了專門的電池生產(chǎn)線用于該產(chǎn)品測(cè)試。中電四十八所：中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所20__年開始研制m82200—1/um型生產(chǎn)型軟著陸管式pecvd設(shè)備，經(jīng)過大量工藝試驗(yàn)，%—%之間，單晶硅太陽(yáng)能電池平均轉(zhuǎn)換效率在16%—17%，基本接近國(guó)外設(shè)備的先進(jìn)水平。該管式設(shè)備采用了國(guó)內(nèi)獨(dú)一無二的、與國(guó)際先進(jìn)水平相當(dāng)?shù)能浿懲浦鬯推⒑箅姌O自動(dòng)連接、自動(dòng)精密真空門等先進(jìn)技術(shù)，在產(chǎn)能提高一倍的同時(shí)，使氮化硅成膜質(zhì)量又一次得到提高，每管日產(chǎn)量4000片左右，目前已在多家太陽(yáng)能生產(chǎn)線上使用，運(yùn)行狀況良好，在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)型設(shè)備中處于領(lǐng)先地位。北京七星華創(chuàng)：七星華創(chuàng)研究薄膜淀積技術(shù)和相關(guān)設(shè)備已多年，在“八五”攻關(guān)的工程中，研制生產(chǎn)的pecvd系統(tǒng)獲得國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。但該公司以前的pecvd設(shè)備主要應(yīng)用于ic行業(yè)，在此基礎(chǔ)上七星華創(chuàng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行較大的改進(jìn)以適應(yīng)于太陽(yáng)能行業(yè)。在做了大量試驗(yàn)并參考了國(guó)外設(shè)備之后，最終于20__年成功研制出了雙管臥式熱壁型pecvd設(shè)備，并在當(dāng)年銷售四臺(tái)設(shè)備，銷售收入超過500多萬元。該設(shè)備采用石墨制作裝片舟用來承載硅片，并根據(jù)實(shí)際使用情況不斷改進(jìn)其結(jié)構(gòu)，逐步完善石墨舟的設(shè)計(jì)，使其更加適用于大規(guī)模太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線，目前每管生產(chǎn)率達(dá)96片/45min。在如何引入電極的方式上，也做了大膽的創(chuàng)新。該pecvd設(shè)備與進(jìn)口同類設(shè)備所用的尾部電極引入方式不同，采用了由爐門處引入電極的前引入方式，此方式與電極后引入方式相比，引入結(jié)構(gòu)更加安全可靠，尤其利于設(shè)備的維護(hù)。通過該設(shè)備在單/多晶硅基底上所生長(zhǎng)的減反射膜，在片內(nèi)、片間和批間的均勻性和一致性都達(dá)到了國(guó)際同類產(chǎn)品水平。該設(shè)備已成功應(yīng)用于國(guó)內(nèi)多家電池生產(chǎn)線，并出口至新加坡等國(guó)家。青島賽瑞達(dá)：賽瑞達(dá)pecvd設(shè)備為管式，采用進(jìn)口壓力控制、閉環(huán)系統(tǒng)及進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門。有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，裝片數(shù)量為250片/每爐管，采用軟著陸懸臂式推拉舟送取片方式。上海航天機(jī)電：上海航天機(jī)電與上海太陽(yáng)能科技有限公司于20__年成功研制了太陽(yáng)能光伏用平板型pecvd，該設(shè)備通過了上海市科技攻關(guān)計(jì)劃《半導(dǎo)體器件制造工藝關(guān)鍵裝備技術(shù)的研究》項(xiàng)目驗(yàn)收，樣機(jī)在上海太陽(yáng)能科技有限公司生產(chǎn)線上實(shí)際運(yùn)作半年以上并取得良好效果。上海航天汽車機(jī)電公司此次研發(fā)的光伏生產(chǎn)線核心裝備pecvd設(shè)備涵蓋了pecvd薄膜工藝技術(shù)、光機(jī)電一體化技術(shù)、真空技術(shù)、微波技術(shù)、電子與信息技術(shù)(包括自動(dòng)化技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)通信技術(shù)等)、節(jié)能技術(shù)等多項(xiàng)技術(shù)領(lǐng)域，整個(gè)研發(fā)過程耗時(shí)3年多，在研發(fā)過程中采用了多項(xiàng)國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)的技術(shù)，各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到同類設(shè)備的國(guó)際先進(jìn)水平，部分性能優(yōu)于進(jìn)口設(shè)備，可以完全取代同類進(jìn)口設(shè)備，打破了國(guó)外設(shè)備的技術(shù)壟斷，使整個(gè)裝備的國(guó)產(chǎn)化率超過80%。絲網(wǎng)印刷機(jī)：絲網(wǎng)印刷機(jī)手動(dòng)全部國(guó)產(chǎn)，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)于去年已推向市場(chǎng)太陽(yáng)電池經(jīng)過制絨、擴(kuò)散及pecvd等工序后，已經(jīng)制成pn結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，需要在電池表面上制作正、負(fù)兩個(gè)電極。制造電極的方法很多，而絲網(wǎng)印刷是目前制作太陽(yáng)電池電極最普遍的一種生產(chǎn)工藝。絲網(wǎng)印刷是采用壓印的方式將預(yù)定的圖形印刷在基板上，該設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。其工作原理為：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透過漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。油墨在移動(dòng)中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內(nèi)，印刷中刮板始終與絲網(wǎng)印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，從而完成印刷行程。目前在國(guó)內(nèi)，手動(dòng)及半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，并成功應(yīng)用于電池生產(chǎn)線，全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已有研發(fā)，由深圳市網(wǎng)印巨星推出的全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)，正在電池生產(chǎn)線中進(jìn)行測(cè)試，各項(xiàng)數(shù)據(jù)已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。而擁有更高定位精度的新一代半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)已經(jīng)在主流廠商試用。國(guó)內(nèi)絲網(wǎng)印刷機(jī)生產(chǎn)企業(yè)推薦深圳網(wǎng)印巨星：成立于20__年的深圳網(wǎng)印巨星機(jī)電設(shè)備有限公司，是國(guó)內(nèi)致力于高精度、自動(dòng)化、智能化絲網(wǎng)印刷機(jī)械設(shè)計(jì)制造的專業(yè)企業(yè)。20__年該公司的主要產(chǎn)品絲網(wǎng)印刷機(jī)通過了歐盟的ce認(rèn)證，是國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)絲網(wǎng)印刷機(jī)械國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)主要制定單位。目前該公司在太陽(yáng)能電池制造領(lǐng)域，涉及半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)兩大類產(chǎn)品。中電四十五所：中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五研究所在絲網(wǎng)印刷領(lǐng)域涉及三種產(chǎn)品，分別為半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)，該機(jī)為手動(dòng)上下料，自動(dòng)印刷，適合中小型太陽(yáng)能生產(chǎn)線中硅片的印刷。另外還有精密網(wǎng)版印刷機(jī)、視覺對(duì)位網(wǎng)版印刷機(jī)。三個(gè)型號(hào)的絲網(wǎng)印刷機(jī)已裝備了國(guó)內(nèi)40多條太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線和試驗(yàn)線。四十五所在成功研制半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及全自動(dòng)ltcc絲網(wǎng)印刷機(jī)的技術(shù)基礎(chǔ)上針對(duì)太陽(yáng)能電池印刷的技術(shù)特點(diǎn)，進(jìn)行大量的調(diào)查研究，重點(diǎn)解決自動(dòng)圖像對(duì)準(zhǔn)技術(shù)、柔性傳輸技術(shù)、大直徑四工位高精度高速旋轉(zhuǎn)任務(wù)臺(tái)設(shè)計(jì)制造技術(shù)、自動(dòng)烘干控制技術(shù)、基片測(cè)試分選技術(shù)、智能化控制技術(shù)、軟件控制技術(shù)等7項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，成功研制出用于太陽(yáng)能電池基片的背鋁、背銀和正銀印刷、烘干、燒結(jié)、測(cè)試、分選的全自動(dòng)生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線主要包括1臺(tái)自動(dòng)上料機(jī)、3臺(tái)自動(dòng)視覺對(duì)準(zhǔn)絲網(wǎng)印刷機(jī)、2臺(tái)烘干爐、1臺(tái)燒結(jié)爐、1臺(tái)測(cè)試分選機(jī)等8個(gè)部分，各部分協(xié)調(diào)任務(wù)，不需要人為干預(yù)。昆山合信：昆山合信太陽(yáng)能設(shè)備有限公司是一家以研發(fā)、生產(chǎn)、銷售太陽(yáng)能電池絲網(wǎng)印刷機(jī)、厚膜印刷機(jī)等設(shè)備的企業(yè)。該公司目前有半自動(dòng)及全自動(dòng)兩種類型的39。絲網(wǎng)印刷機(jī)，基本以代理銷售為主。萊茵茜斯田(天津)：該公司跟據(jù)市場(chǎng)所需，研發(fā)出了全自動(dòng)太陽(yáng)能電池專用絲網(wǎng)印刷機(jī)，該產(chǎn)品引用先進(jìn)的韓國(guó)技術(shù)研發(fā)而成，主體構(gòu)造有影像系統(tǒng)全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)及近紅外線烘干設(shè)備組成，不僅能印刷太陽(yáng)能電池核心部位的電極，還可進(jìn)行高品質(zhì)印刷，且印刷后干燥速度快(從印刷到干燥最多用5秒)，可大大提升生產(chǎn)能力。同時(shí)，此款全自動(dòng)太陽(yáng)能電池專用絲網(wǎng)印刷機(jī)還可在印刷全過程中監(jiān)控承印物的破壞與否，而采用自動(dòng)刮膠調(diào)節(jié)壓力感應(yīng)器裝置，能維持均勻的壓力，并可維持均一的印刷厚度，新概念的校位方式保證了低不良率，在價(jià)格上比歐美進(jìn)口設(shè)備要更為低廉。高溫?zé)Y(jié)爐國(guó)內(nèi)生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)明顯提高，開始批量在大生產(chǎn)線使用，但進(jìn)口仍占多數(shù)經(jīng)過絲網(wǎng)印刷后的硅片，不能直接使用，需經(jīng)燒結(jié)爐快速燒結(jié)，將有機(jī)樹脂粘合劑燃燒掉，剩下幾乎純粹的、由于玻璃質(zhì)作用而密合在硅片上的銀電極。當(dāng)銀電極和晶體硅在溫度達(dá)到共晶溫度時(shí)，晶體硅原子以一定的比例融入到熔融的銀電極材料中去，從而形成上下電極的歐姆接觸，提高電池片的開路電壓和填充因子兩個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，使其具有電阻特性，以提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。燒結(jié)爐分為預(yù)燒結(jié)、燒結(jié)、降溫冷卻三個(gè)階段。預(yù)燒結(jié)階段目的是使?jié){料中的高分子粘合劑分解、燃燒掉，此階段溫度慢慢上升。燒結(jié)階段中燒結(jié)體內(nèi)完成各種物理化學(xué)反應(yīng)，形成電阻膜結(jié)構(gòu)，使其真正具有電阻特性，該階段溫度達(dá)到峰值。降溫冷卻階段，玻璃冷卻硬化并凝固，使電阻膜結(jié)構(gòu)固定地粘附于基片上。目前在國(guó)內(nèi)高溫?zé)Y(jié)爐產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)上取得了突破，主要體現(xiàn)在以下幾方面：尖峰燒結(jié)溫度曲線的形成與控制。均勻熱場(chǎng)形成技術(shù)?？焖倮鋮s技術(shù)以及充分的排膠設(shè)計(jì)。產(chǎn)品市場(chǎng)調(diào)研報(bào)告篇七：說明本次調(diào)研所涉及到的對(duì)象和范圍，如產(chǎn)品線客戶的需求，主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手等，并陳述各部分調(diào)研的具體目的。：對(duì)調(diào)研過程作出簡(jiǎn)要說明，包括：調(diào)研小組及分工。調(diào)研計(jì)劃安排及執(zhí)行情況及搜集到的主要信息。調(diào)研費(fèi)用預(yù)算及執(zhí)行情況等。*(needsamp。wants)分析對(duì)于客戶需要及*的描述作出必要的解釋：根據(jù)產(chǎn)品必須做什么，而不是可能做什么來表達(dá)需求。表達(dá)原始數(shù)據(jù)的具體需求。用肯定句，而不是否定句。將需求當(dāng)作產(chǎn)品的屬性表達(dá)。描述是如何進(jìn)行決策的。是誰來做決策的(個(gè)人還是團(tuán)體)?誰/什么影響著決策?客戶決策的方式是什么?客戶進(jìn)行決策所用的流程是什么?決策部門(dmu)。典型購(gòu)買者。影響者(職位順序)。決策流程。描述客戶從產(chǎn)生類別需求(即考慮采購(gòu)哪類的產(chǎn)品包/服務(wù))開始，到做出采購(gòu)決策為止的購(gòu)買過程及影響因素：客戶何時(shí)產(chǎn)生類別需求?誰影響?客戶通過何種渠道了解供應(yīng)商及其產(chǎn)品包/服務(wù)?影響客戶購(gòu)買的驅(qū)動(dòng)力是什么?影響客戶購(gòu)買的障礙是什么?客戶認(rèn)為的出局標(biāo)準(zhǔn)是什么?描述客戶關(guān)注的價(jià)值要素，以及這些要素的變化(含優(yōu)先級(jí))：在供應(yīng)商提供的產(chǎn)品包/服務(wù)的所有要素中，客戶最關(guān)注什么(質(zhì)量/價(jià)格/服務(wù)/品牌/交貨期/付款方式……)?客戶關(guān)注的首要(2~3項(xiàng))的偏好是什么?不同類型客戶的偏好有何不同?客戶偏好有何變化?說明一般以哪幾個(gè)維度對(duì)客戶分類，分為哪些類型，從市場(chǎng)細(xì)分的角度來看，什么維度可以作為戰(zhàn)略性細(xì)分的維度?還有沒有更利于對(duì)市場(chǎng)有效細(xì)分的維度?分析客戶的使命愿景、業(yè)務(wù)戰(zhàn)略、業(yè)務(wù)模式、面臨的業(yè)務(wù)問題、購(gòu)買趨勢(shì)等。說明當(dāng)前客戶數(shù)據(jù)庫(kù)的狀況，增加客戶數(shù)據(jù)庫(kù)有哪些渠道或來源?這些渠道的有效性、成本如何?需要重點(diǎn)補(bǔ)充哪些重要的客戶信息?說明市場(chǎng)上哪些客戶是非常重要的，如大客戶、戰(zhàn)略性客戶，對(duì)這些客戶分類或分別作出分析。對(duì)主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的業(yè)務(wù)戰(zhàn)略定位/目標(biāo)、業(yè)務(wù)發(fā)展趨勢(shì)、競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)/劣勢(shì)、贏利模型、品牌形象、業(yè)務(wù)問題等作出分析..................初步識(shí)別本公司已經(jīng)進(jìn)入和將來準(zhǔn)備進(jìn)入的細(xì)分市場(chǎng)，明確在這些市場(chǎng)中的兩家主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，分析本公司兩家主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的優(yōu)、劣勢(shì)和本公司在不同細(xì)分市場(chǎng)中的競(jìng)爭(zhēng)力排名。描述中間渠道的類型、層次和結(jié)構(gòu)：本公司使用的渠道類型、層次和結(jié)構(gòu)。競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手使用的渠道類型、層次和結(jié)構(gòu)。哪種中間渠道(可能)很重要?為什么?。哪些渠道注定會(huì)成為或繼續(xù)作為競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手?。描述市場(chǎng)上不同的渠道模式，對(duì)本公司目前渠道及將來可能選擇的渠道作出對(duì)比分析：市場(chǎng)上具有哪些渠道模式?變化的趨勢(shì)是什么?本公司目前及將來可能的渠道有哪些?各渠道的優(yōu)劣勢(shì)如何?投入產(chǎn)出比如何?分析本公司主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的定價(jià)策略、價(jià)格分布、客戶的價(jià)格期望及敏感性分析：本公司的定價(jià)策略是什么?價(jià)格是如何分布的?主要競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手的定價(jià)策略是什么?價(jià)格是如何分布的?客戶對(duì)不同供應(yīng)商的價(jià)格預(yù)期是怎樣的?如何排名?如果提價(jià)或降價(jià)，客戶是否增加或減少采購(gòu)?描述本公司產(chǎn)品包與主要競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品包在功能/性能等方面的對(duì)比：對(duì)于產(chǎn)品線現(xiàn)有的技術(shù)、新技術(shù)發(fā)展進(jìn)行系統(tǒng)分析。描述哪些關(guān)鍵技術(shù)屬于本公司的核心技術(shù)，并作出分析：這些核心技術(shù)為本公司產(chǎn)品帶來哪些優(yōu)勢(shì)或戰(zhàn)略控制點(diǎn)?對(duì)于這些核心技術(shù)，哪些方面需要改進(jìn)或加強(qiáng)才能給客戶帶來體驗(yàn)上的明顯差別?何種核心技術(shù)可能在將來不成為核心技術(shù)?何種關(guān)鍵技術(shù)可能成為本公司的核心技術(shù)?如何獲取?是否存在體積破壞性技術(shù)將根本改變產(chǎn)品/技術(shù)狀況?這種技術(shù)何時(shí)可能推出產(chǎn)品?何時(shí)可能高用?、市場(chǎng)容量的影響說明哪種技術(shù)的發(fā)展將對(duì)客戶需求、市場(chǎng)容量產(chǎn)生的影響。(imc)策略及建議