【文章內(nèi)容簡介】 等靜壓石墨的基本概念 等靜壓成型用的主要設(shè)備 等靜壓成型的工藝操作 等靜壓石墨的特性 等靜壓石墨主要特性的概述 各向同性 體積密度的均一性 可以制造大規(guī)格制品 等靜壓石墨的主要性能指標 各向同性石墨與各向異性石墨的性能比較 4．國外等靜壓石墨的生產(chǎn)、技術(shù)的發(fā)展 概述 美國 德國 法國 歐洲其它國家 日本 日本等靜壓各向同性石墨生產(chǎn)、技術(shù)的發(fā)展特點 日本等靜壓各向同性石墨主要生產(chǎn)企業(yè)概況 5．國內(nèi)等靜壓石墨的生產(chǎn)、技術(shù)的發(fā)展 概述 國內(nèi)等靜壓各向同性石墨技術(shù)發(fā)展 國內(nèi)等靜壓石墨的生產(chǎn)情況 國內(nèi)等靜壓石墨的生產(chǎn)能力的變化發(fā)展 國內(nèi)四種類別的等靜壓石墨企業(yè) 外資企業(yè)在我國投建生產(chǎn)廠家的情況 國內(nèi)等靜壓石墨生產(chǎn)用設(shè)備及原材料情況 國內(nèi)等靜壓石墨主要生產(chǎn)企業(yè)情況調(diào)查 概述 上海東洋炭素有限公司 上海碳素有限公司、上海新型石墨材料有限公司 ┄┄ 河南省特種熱工爐材有限公司 雅安恒圣高純石墨科技有限責(zé)任公司 、光伏產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用情況 概述 在單晶爐熱場中的應(yīng)用 單晶爐結(jié)構(gòu)、工作原理 石墨制品在單晶爐熱場中應(yīng)用的品種 單晶硅爐熱場用石墨制品的主要特性要求 單晶硅爐熱場用石墨制品的性能指標 國內(nèi)供應(yīng)單晶硅爐熱場用石墨制品的主要廠家 國內(nèi)單晶硅爐熱場用石墨制品市場需求的分析 在半導(dǎo)體工業(yè)其它方面的應(yīng)用 半導(dǎo)體硅片外延用石墨基座 半導(dǎo)體硅片外延的加工過程及外延反應(yīng)器裝置 外延反應(yīng)器中的石墨基座的作用、種類 對石墨基座的性能要求 切割單晶硅棒用碳石墨墊 PECVD 用石墨晶圓托盤 區(qū)熔半導(dǎo)體材料用石墨舟皿 沉積高純度多晶硅棒用石墨電極 石墨材料在鑄錠多晶硅制造中的應(yīng)用 鑄錠多晶硅 多晶硅鑄錠爐的結(jié)構(gòu)組成 石墨材料在多晶硅鑄錠爐中的應(yīng)用 國內(nèi)單晶硅行業(yè)的生產(chǎn)現(xiàn)狀 國內(nèi)單晶硅企業(yè)情況概述 國內(nèi)半導(dǎo)體用單晶硅主要生產(chǎn)廠家情況 有研半導(dǎo)體材料股份有限公司 洛陽單晶硅有限責(zé)任公司 ┄┄ 無錫華潤華晶微電子有限公司 陜西華山半導(dǎo)體材料廠 國內(nèi)太陽電池用單晶硅主要生產(chǎn)廠家情況 晶龍實業(yè)集團 錦州陽光能源有限公司（錦州 Solargiga 集團）┄┄ 西安隆基硅材料有限公司 上海九晶電子材料股份有限公司 國內(nèi)單晶爐生產(chǎn)企業(yè)情況 境外鑄造多晶硅生產(chǎn)狀況概述 Ersol ┄┄ 綠能科技股份有限公司 Nexolon 國內(nèi)鑄錠多晶硅生產(chǎn)情況 國內(nèi)鑄錠多晶硅主要生產(chǎn)企業(yè)情況 江西賽維 LDK 太陽能高科技有限公司 江蘇林洋新能源有限公司 ┄┄ 江蘇寶佳太陽能發(fā)展有限公司 多晶硅鑄錠爐國內(nèi)外市場現(xiàn)狀及發(fā)展 國內(nèi)外多晶硅鑄錠爐生產(chǎn)概況 國內(nèi)外硅鑄錠爐制造廠家的現(xiàn)狀 國外企業(yè) 國內(nèi)企業(yè)報告中圖、表目錄： 圖 11 石墨的應(yīng)用領(lǐng)域例 圖 12 石墨的應(yīng)用產(chǎn)品例 圖 21 石墨的晶體結(jié)構(gòu) 圖 22 人造石墨主要物理、機械性能隨溫度變化的情況 圖 31 半導(dǎo)體工業(yè)用碳石墨的生產(chǎn)流程 圖 32 日本某石墨企業(yè)的半導(dǎo)體工業(yè)用碳石墨的生產(chǎn)工藝流程 圖 33 四種不同的成型工藝路線的碳石墨的生產(chǎn)工藝流程 圖 34 高純石墨生產(chǎn)中的三種成型工藝方法 圖 35 等靜壓罐構(gòu)造原理圖 圖 36 等靜壓石墨生產(chǎn)、制造的簡要工藝路線框圖 圖 37 等靜壓生產(chǎn)工藝流程圖 圖 38 石墨制品成型加工的壓制方法與制品的體積密度示意圖 圖 41 2008 年世界各個國家、地區(qū)的等靜壓碳石墨材料年生產(chǎn)能力 圖 51 國外企業(yè)等靜壓各向同性高純石墨制品在中國內(nèi)地的市場份額統(tǒng)計 圖 61 CZ 法生產(chǎn)單晶硅生產(chǎn)工藝路線圖 圖 62 CZ 法生產(chǎn)單晶硅生產(chǎn)過程 圖 63 CZ 法單晶硅爐室的結(jié)構(gòu) 圖 64 碳石墨材料在單晶爐石墨熱場應(yīng)用情況 圖 65 在 CZ 單晶爐中主要應(yīng)用的石墨制品 圖 66 直拉單晶爐用石墨坩堝（托碗）圖 67 碳纖維增強碳復(fù)合材料制出的坩堝 圖 68 單晶硅爐用石墨坩堝結(jié)構(gòu)圖 圖 69 單晶硅爐用石墨加熱器工作狀態(tài)圖 圖 610 單晶硅爐用石墨加熱器 圖 611 硅氣相外延加工的設(shè)備圖 圖 612 外延反應(yīng)器的三種基座形式 圖 613 扁平式外延反應(yīng)器進行外延加工的情景 圖 614 外延反應(yīng)器用石墨基座的產(chǎn)品 圖 615 單晶棒切割加工及碳石墨墊應(yīng)用的情況 圖 616 切割單晶棒用碳石墨墊產(chǎn)品 圖 617 PECVD 石墨晶圓托盤 圖 618 區(qū)熔半導(dǎo)體材料用石墨舟皿產(chǎn)品 圖 619 沉積高純度多晶硅棒用石墨電極產(chǎn)品及應(yīng)用 圖 620 兩種工藝渠道生產(chǎn)、供應(yīng)硅太陽電池所用單晶硅片流程 圖 621 太陽能電池制造的典型工藝流程 圖 622 多晶硅片加工流程 圖 623 鑄錠多晶硅產(chǎn)品 圖 624 GT 定向生長多晶鑄錠爐 圖 625 鑄錠多晶硅生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖 圖 626 多晶硅鑄錠爐使用的石墨材料的部位及功效 圖 627 在多晶硅鑄錠爐反應(yīng)熱場中采用的石墨材料 圖 628 石墨加熱器基本結(jié)構(gòu)及其所使用的高純石墨加熱材料 圖 81 2001～2008 年國內(nèi)晶體硅錠產(chǎn)量圖 82 2005～2008 年國內(nèi)鑄造多晶硅錠產(chǎn)量及預(yù)估 表 21 石墨的主要物理特性 表 31 電子級等靜壓石墨的技術(shù)性能質(zhì)量指標 表 32 電子級等靜壓石墨在加工成形為晶體生長熱場部件后參考技術(shù)性能指標 表 33 各向同性石墨與各向異性石墨的特性比較 表 41 世界主要生產(chǎn)等靜壓碳石墨材料的主要生產(chǎn)廠家 表 42 美國主要公司各向同性石墨產(chǎn)品型號與性能 表 43 西格里集團半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)用石墨材料的型號與性能 表 44 西格里集團半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)用部分石墨材料規(guī)格尺寸表 表 45 西格里石墨制品的 SIC 涂層純度指標 表 46 法國羅蘭碳素公司的各向同性石墨產(chǎn)品型號與性能 表 47 俄羅斯、波蘭碳素公司的各向同性石墨產(chǎn)品型號與性能 表 48 日本東洋碳素公司等靜壓各向同性石墨制品技術(shù)性能指標 表 49 日本東洋碳素公司等靜壓石墨制品不純物質(zhì)（雜質(zhì)）分析例 表 410 日本東海碳素株式會各向同性石墨的理化性能 表 411 日本碳素株式會各向同性石墨的理化性能 表 412 日本揖斐川電氣工業(yè)株式會社各向同性石墨的理化性能 表 413 日本東北協(xié)和炭素株式會社各向同性石墨的理化性能 表 414 日立化成工業(yè)株式會社各向同性石墨的理化性能 表 51 國內(nèi)內(nèi)資的生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)的冷等靜壓各向同性石墨產(chǎn)品的產(chǎn)品性能指標 表 52 世界及我國等靜壓各向同性石墨生產(chǎn)能力、實際生產(chǎn)量統(tǒng)計、預(yù)測 表 53 我國目前等靜壓石墨生產(chǎn)企業(yè)的計劃年產(chǎn)能及實際年產(chǎn)量 表 54 我國等靜壓石墨生產(chǎn)企業(yè)擁有冷等靜壓臺數(shù)及其技術(shù)參數(shù)情況統(tǒng)計 表 55 國內(nèi)主要可生產(chǎn)等靜壓各向同性石墨廠家情況 表 56 成都炭素有限責(zé)任公司等靜壓石墨材料技術(shù)性能表 表 57 成都炭素有限責(zé)任公司等靜壓石墨產(chǎn)品主要規(guī)格 表 58 成都市龍泉曙光電碳制品廠等靜壓高純石墨產(chǎn)品的品種及主要技術(shù)性能 表 59 河南省特種熱工爐材公司等靜壓三高石墨品種規(guī)格及主要技術(shù)性能 表 61 碳石墨材料及制品在半導(dǎo)體工業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用情況 表 62 碳石墨材料在單晶爐中應(yīng)用的品種及功能 表 63 墨托碗、加熱器、保溫罩的外形尺寸 表 64 西格里公司應(yīng)用于單晶硅爐的石墨制品規(guī)格及理化性能指標 表 65 東洋碳素株式會社用于單晶硅爐的石墨制品牌號及理化性能指標 表 66 煙臺市芝罘石墨制品廠用于單晶硅爐的石墨制品型號及理化性能指標 表 67 國內(nèi)主要生產(chǎn)多晶硅錠爐企業(yè)主要產(chǎn)品以及與其石墨配件相關(guān)的技術(shù)參 數(shù) 表 71 2008 年國內(nèi)半導(dǎo)體用單晶硅主要生產(chǎn)企業(yè)及單晶硅產(chǎn)量規(guī)模統(tǒng)計 表 72 2008 年國內(nèi)太陽電池用單晶硅主要生產(chǎn)企業(yè)及單晶硅產(chǎn)量規(guī)模統(tǒng)計 表 73 國內(nèi)單晶爐主要生產(chǎn)企業(yè)情況統(tǒng)計 表 81 國內(nèi)主要鑄造多晶硅企業(yè)產(chǎn)能（以 2008 年底計）統(tǒng)計 表 82 國內(nèi)外鑄錠爐生產(chǎn)企業(yè)統(tǒng)計 表 83 中電 48 所生產(chǎn)鑄錠爐的技術(shù)參數(shù) 表 84 精工科技生產(chǎn)鑄錠爐參數(shù)統(tǒng)計1本文由ztxdliuhai908貢獻pdf文檔可能在WAP端瀏覽體驗不佳。建議您優(yōu)先選擇TXT，或下載源文件到本機查看。2010 年版半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)用石墨制品行業(yè) 及市