畢業(yè)設(shè)計(jì)-tft-lcd顯示技術(shù)(編輯修改稿)
2025-01-06 03:40 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 工藝名稱 工藝目的 清洗 清潔基板表面，防止成膜不良 濺（ SPUTTER） 成 Al 膜、 Cr 膜和 ITO 膜 PCVD 成 aSi 膜、 n+aSi 膜和 SiNx 膜 PR/曝光 形成 MASK 圖案相一致的光刻膠圖案 濕刻（ WE） 刻蝕掉未被光刻膠掩蔽的金屬膜 干刻（ DE） 刻蝕掉未被光刻膠掩蔽的非金屬膜 剝離 去掉殘余的光刻膠 二．工藝不良： 前 P/T Dep前 P/T的辨別主要根據(jù) P/T的周圍有無 Discolor,區(qū)分為在 Gate和 S/D線上(A)和在像素區(qū)上 (B) Spec: =30ea/glass 后 P/T 一般 Dep后 P/T 在清洗之后會(huì)去除 Spec: =100ea/glass 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 9 CF 工藝 所謂 Color Filter（ CF）是為做彩色 LCD，在玻璃上有序地涂 紅 ? 綠 ? 藍(lán) ３種種顏色種顏色而制作成的基板。工藝流程如圖 23： 圖 23 CF Process 概要圖 一 ．液晶面板各驅(qū)動(dòng)方式和特性總結(jié)：液晶面板有 TN,FFS,MVA 三中驅(qū)動(dòng)方式。 Color 的問題， TN mode 各種顏色的視角特性之例看的角度不同，顏色也不同。 視角改善的問題， FFS mode 各種顏色的視角特性之例不同的角度，顏色變化范圍小。 二． ITO 濺射設(shè)備 : 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 10 (1):.將需鍍膜的樣品與膜的原料（靶材）就近放置。 (2)：使整體處于真空狀態(tài)，導(dǎo)入惰性氣體后在樣品與靶材之間加入電壓。 (3)：惰性氣體電離，離子撞擊靶材。 (4)：撞擊靶材的離子，彈飛靶材上的粒子。 (濺射現(xiàn)象） (5)：彈飛的原材料粒子撞擊樣品并附著進(jìn)而成膜。 ？ （ 1）可視光透過率為 60％以上的、面阻在１０８Ω／□以下的稱為透明導(dǎo)電膜。 （ 2） 高品位透明導(dǎo)電膜的要素。最理想的狀態(tài)是可視光透過率高，面阻低。 （ 3） 1931 年：美國， Corning 公司 報(bào)告的 SnO２薄膜。 （ 4） ITO （ Indium Tin Oxide）比 SnO２薄膜，性能更強(qiáng)，生產(chǎn)穩(wěn)定性更具優(yōu)勢。 Cell 工藝 Cell 以前段 Array 的玻璃為基板，與彩色濾光片的玻璃基板結(jié)合，并在兩片玻璃基板間灌入液晶 (LC)?？煞譃?PI,Rubbing,Ass39。y,Cutting 四部分。其工藝流程如24圖： 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 11 圖 24 Cell 工藝流程 PI 工藝 一 . PI 的目的： 為了使液晶分子能夠正確地取向，而在 TFT 和 CF 的表面上涂上一層 PI膜的工藝過程。 PI 液相關(guān)： 用途及目的： 用于形成取向膜 ,經(jīng)摩擦后可使液晶分子有規(guī)律排列 ,同時(shí)還要有一定的PreTilt Angle. 二．設(shè)備及特性 圖 25 PI 工藝流程圖 Machine 版胴 :用于安裝 APR Plate. Table : 印刷時(shí)托放 Glass，要求平坦度在 20? 以內(nèi) . Anilox Roll : 均膠輥 ,用于將 PI 液涂到 APR 板上 ,上有小坑 [15? 深 ],成網(wǎng)狀排布 Mesh[400 Line/inch], 傾斜角度 [45?],目的是使 PI 液涂布均勻 . Doctor Roll (Blade) : 目的是使 Anilox Roll 上的 PI 液均勻 , 分 Roll Type和 Blade . Figure 1 : 版胴 , Anilox Roll , Doctor Roll 相互關(guān)系 2. 印刷板 (APRPlate) ： Asahikasei Photosensitive Resin 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 12 Mesh ： 500 Line/ Square Inch ； Angle : 45 ? 開口率 ： 30％ （ ② 的面積 / ① +② 的面積）；深度 15177。 2? （ ①的深度） 3. HyperMix 開發(fā)目的：（ 1） 高速 傳送時(shí) Rinse 性 提高（ 2） 1? 以下的 Particle 除去能力提高（ 3） DI, Air 使用量 減少（ 4） Tool 設(shè)置 空間 減少 用途：（ 1） Rinse 用 Nozzle Shower 的 代替（ 2） MS Shower 代替 UV（紫外線） 目的是提高 PI 印刷的適印性。適合在清洗后，印刷前使用。 Jet 在水中沖入高壓空氣，產(chǎn)生氣泡。氣泡在基板表面破裂時(shí)，可除去基板表面的Particle Brush (1)BRUSH 材質(zhì) : NYLON (2).直徑 : 70mm 三．不良介紹 見表 22 表 22 常見不良及對策 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 13 Rubbing 工藝 一． Rubbing 目的及原理： 1．目的： 為了形成一定的 Pre tilt 角，并且按照一定方向排列液晶分子， 在 PI Coating 之后，對玻璃表面已經(jīng)印刷好的 Polyimide 進(jìn)行摩擦，使其表面形成一定方向性的溝道， 最終使得基板表面液晶分子按照溝槽方向排列，并且形成一定的預(yù)傾角度。 注： 液晶分子的長軸方向與基板面有一定的傾斜角度， PI 材料自身的化學(xué)性質(zhì)是使液晶分子產(chǎn)生傾角的主要原因 。 2．原理： 摩擦取向的實(shí)質(zhì)：摩擦導(dǎo)致取向?qū)颖砻娴母飨虍愋?，而液晶分子在這種表面上與取向?qū)臃肿酉嗷プ饔茫捎谠诟鱾€(gè)方向上受力不同，為了達(dá)到能量最小的穩(wěn)定態(tài)，液晶分子沿受力最大的方向排列。 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 14 二．設(shè)備分類 如表 23 表 23 Rubbing 工藝的設(shè)備分類 三．不良及原因 如表 24 表 24 不良現(xiàn)象及對策 四． Rubbing Cloth 比較 如表 25 表 25 Rubbing Cloth 比較 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 15 Ass39。y 工藝 一 . 工藝目的 : 將調(diào)配的 LC 及確定量的 LC Amount 滴定到 TFT 或者 CF 基板上，在 TFT 或者CF 基板上 Drawing Sealant 以形成 LC 與外界的封閉空間， TFT amp。CF 基板在真空環(huán)境下完成對盒。 Seal Dispenser 的目的： 為了貼合 TFT 基板和 C/F 基板形成密封性容器，防止液晶和外部空氣接觸反映，采用有粘特性的 Sealant；為了使上下基板導(dǎo)通和保證盒厚， Seal 中混入一定比例的 AU Ball 和 Glass Fiber。 TR 目的：一種導(dǎo)電膠，作用是為 C/F提供電信號(hào)，導(dǎo)通 ITO 電極。 二．工藝流程 如圖 26 滄州職業(yè)技術(shù)學(xué)院畢業(yè)論文 16 圖 26 Cell Ass39。y 流程圖 三． Cell Ass’ y Seal 工藝材料 Ball 的用途：金球，用于連接 aTFT amp。C/F 電極，即起到導(dǎo)電作用。 Fiber 的用途： 玻璃纖維， ALKALI 金屬氧化物含有量 1%以下的 GLASS，與 sealant 混合共同維持 cell gap :主要成分為 Ag 和樹脂 :主要成分為樹脂，種類有熱固化型和光（ UV）固化型。熱固化型接著強(qiáng)度高，但固化時(shí)間長；光固化型接著強(qiáng)度低，但固化時(shí)間短； 5G采用混合型。 四．常見不良： 1. 配向不良； ； 。 Cutting 工藝 一、 Cutting 目的 在 LCD 制造工藝中，切割 C/F 和 TFT 貼合后的 PANEL
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