機構(gòu)所平面顯示器課程(編輯修改稿)
2025-03-28 09:49 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 2. 溫度與溼度控制 3. 人員動線 4. 儀器設備位置與移機動線 5. 噪音防止 6. 靜電與電磁防止 7. 震動問題 8. 安全設施 8 無塵室空間規(guī)畫－－府視圖 2. 無塵室設計考量 1. 人員動線 2. 儀器設備位置與移機動線 微修區(qū) 黃光工程區(qū) 薄膜工程區(qū) 乾蝕刻製程區(qū) 機臺移入 /出平區(qū) 參觀走道／緊急出口走道 機具設備拆解／組合／清拭區(qū) 廠務區(qū) 檢測機臺 濕蝕刻區(qū) 基板清洗區(qū) 基板儲存區(qū) 基板儲存區(qū) 中央廢氣廢液處理區(qū) 零組件／耗材處理及儲存區(qū) 基板儲存區(qū) 9 2. 無塵室設計考量 無塵室空間規(guī)畫－－側(cè)視圖 廠務區(qū) 中央廢氣廢液處理區(qū) 空調(diào)管路 水氣電管路 抽器管路 末端管路 製程機臺 照明與送風口 維修 /緊急出口走道 10 2. 無塵室設計考量 3. 粉塵之阻止 (1) 粉塵來源之防止 Filter Module 無塵室空氣中之微塵粒子主要藉由空調(diào)管路中之濾網(wǎng)去除，且為防止周圍環(huán)境之粉塵進入，無塵室需保持正壓狀態(tài) 。 HEPA 之結(jié)構(gòu) 11 (2) 粉塵堆積之防止 2. 無塵室設計考量 (1) 粉塵來源之防止 在無塵室中易產(chǎn)生粉塵堆積之部分，包括 ? 機械運動所產(chǎn)生之粉塵 ? 人員運動所產(chǎn)生之揚塵 ? 玻璃或矽晶圓與承載具之磨擦 ? 擦拭工具或材料所產(chǎn)生之粉屑 ? 未經(jīng)擦拭之維修工具 , 通訊器材或文具 ? 製程腔體釋放之微塵顆?；蚍坌? ? 身體肌膚之體屑 ? 儀器設備之死角 ? 無塵室結(jié)構(gòu)之接縫 ? 玻璃或矽晶圓承載具之內(nèi)部 在無塵室中應避免可能之粉塵源產(chǎn)生，包
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