某公司新進(jìn)人員培訓(xùn)流程教材(編輯修改稿)
2025-01-23 23:59 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 乾 清洗 蝕刻 剝膜 檢查 清洗 清洗目的 :通過(guò)磨刷 ,脫脂藥液及純水的清洗移除玻染物 ,微粒 ,減少針孔和其他缺 IR/UV照射 :去除玻璃表面氧化物、雜質(zhì)、油脂及水分子 主要控制參數(shù)：清洗液濃度 (20235A,5%),清洗傳遞速度，藥液濃度 /藥液溫度 /脫脂毛刷壓入量 產(chǎn)生不良情況 :刮傷 /疊片 /洗不凈 /卡片 /潔凈度等 涂布 涂布目的 :通過(guò)將一種感光物質(zhì) (光阻 )均勻地涂布于玻璃表面上 產(chǎn)生不良情況 :光阻厚度不均 /涂布不良 主要控制參數(shù)：涂布速度、抽泵頻率、抽泵強(qiáng)度、傳送速度 主要品質(zhì)異常：涂布針孔、涂布箭影、涂布?xì)馀?、光阻回濺 軟烤 軟烤目的 :是將玻璃上光阻層大部分溶劑去除 ,并使光阻由原來(lái)的液態(tài)經(jīng)過(guò)軟烤之后而成為故態(tài)薄膜 ,以加強(qiáng)光阻層對(duì)玻璃表面的附著能力 硬烤 硬烤目的 :將所有光阻中的溶劑蒸發(fā)去除 ,改進(jìn)光阻蝕刻和離子布置的抵抗力 ,改進(jìn)光阻表面的附著力 ,聚合作用和穩(wěn)定光阻 ,光阻流動(dòng)填滿(mǎn)針孔 注意事項(xiàng) :傳送速度 /烘烤溫度 /烘烤時(shí)間 曝光 曝光目的 :將光罩上的圖案轉(zhuǎn)移到光阻上光照的部分被去除
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