【文章內(nèi)容簡介】 標(biāo)準(zhǔn)》(GB1234890)中的3類標(biāo)準(zhǔn)的要求。（4）固體廢物產(chǎn)生及排放情況建設(shè)項目產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片表面處理產(chǎn)生的廢有機溶劑、廢活性炭、表面處理廢物（包括廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿）、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等，具體產(chǎn)生與排放處置情況見表317。工程中采取的固體廢物處理措施為：廢有機溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿和含氟污泥，屬于國家規(guī)定的危險廢物，委托具有相應(yīng)處理資質(zhì)的單位進行處置；廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等可由有關(guān)單位回收利用；生活垃圾等按照環(huán)衛(wèi)部門的有關(guān)要求進行處置。表317 項目固體廢物產(chǎn)生及排放情況序號名稱分類編號產(chǎn)生量（t/a）形狀處置方式1廢有機溶劑S5HW42液委托有資質(zhì)的單位處理2廢硫酸SS1S20HW1730液3廢氫氟酸SSS1S1S2S24HW1796液4廢鹽酸SS1S21HW1720液5廢混酸S1S26HW17300液6廢堿液S12HW17111液7廢活性炭HW062固8含氟污泥HW32620固9廢氨水SS1S20188固由相應(yīng)的單位回收利用或處置10廢研磨劑141液11廢拋光劑170液12單晶硅渣71固13廢石墨固14廢石英固15廢品125固16生活垃圾固按環(huán)衛(wèi)部門要求處理合計4 污染防治措施 大氣污染防治措施評述(a) 大氣污染源根據(jù)工程分析，擬建項目的主要大氣污染源有：單晶硅拋光片制作產(chǎn)生的甲苯、異丙醇、HF、HCl、硫酸霧、NHNOx；硅外延片制作產(chǎn)生的硫酸霧、NHHCl、SiHCl3和微量的PHB2H6；外延爐的石英管清洗產(chǎn)生HF、NOx。(b) 大氣污染防治措施及可行性分析銀笛（揚州）微電子有限公司根據(jù)同類型企業(yè)廢氣治理措施的經(jīng)驗，對工程中的各種廢氣采取了技術(shù)可行、經(jīng)濟合理、可操作性較強的治理方案。廢氣處理主要工藝具體如下：（1）有機廢氣清洗工序產(chǎn)生的有機廢氣甲苯、異丙醇通過集氣罩、風(fēng)管導(dǎo)入吸附設(shè)備，利用活性炭的表面吸附力去除甲苯、異丙醇，凈化后的廢氣通過排氣筒直接排入大氣。甲苯和異丙醇的去除率可達80%以上。具體工藝流程見圖41。廢氣吸附設(shè)備風(fēng)管集氣罩引風(fēng)機排放圖41有機廢氣處理系統(tǒng)流程圖（2）酸、堿廢氣酸性或堿性廢氣通過集氣罩收集，由抽風(fēng)機將其抽至填充式廢氣洗滌塔，用稀堿液或稀酸液進行噴淋吸收處理，凈化后的廢氣通過排氣筒直接排入大氣，所產(chǎn)生的廢氣洗滌水進入廢氣洗滌循環(huán)水池，該水池中的排污水進入廢水處理系統(tǒng)進行處理。酸、堿廢氣系統(tǒng)處理能力分別為80000m3/h，15000m3/h。具體處理工藝流程見圖42。洗滌液廢氣洗滌塔主風(fēng)管支風(fēng)管引風(fēng)機廢氣洗滌循環(huán)水池進入廢水處理系統(tǒng)排放圖42酸、堿廢氣處理系統(tǒng)流程圖洗滌塔采用氣液逆向吸收方式處理，即吸收液霧撒而下形成小水滴，氣體由塔底向上逆流而上，使氣體充分接觸。采用具疏松表面的填充濾料，較大的表面積，可使氣體、液體停留時間延長，提高吸收效率。凈化后的廢氣通過排氣筒排入大氣。酸性廢氣（HF、HCl、NOx、硫酸霧）的去除效率達到90%，堿性廢氣（NH3）的去除效率達到95%以上。（3）特種廢氣對外延生產(chǎn)工序產(chǎn)生的特種廢氣HCl、SiHCl3以及微量的PH3和B2H6經(jīng)過收集后進入濕式外延清洗器，采用5段水噴淋和水洗方式對外延尾氣進行充分的水洗和稀釋，將其中絕大部分的HCl、SiHClB2H6和微量的PH3溶解于水，經(jīng)過水洗后的尾氣在設(shè)備中被大量的空氣稀釋，再通過管道向室外高空排放；廢氣洗滌水進入廢水處理設(shè)施處理。濕式外延清洗器設(shè)有手動的旋轉(zhuǎn)刮板裝置，用于清理尾氣入氣口處的附著物粘附在入氣口的管壁造成堵塞；并采用氮氣密封裝置，將入氣口清理裝置的尾氣與外界隔離，確保沒有尾氣泄漏；通過水流量表和調(diào)節(jié)閥，用于水流量調(diào)節(jié)，以滿足使用；采用不銹鋼做骨架，增加強度和仿腐蝕能力；其他均采用透明PVC材料，抗腐蝕和阻燃能力強，同時還便于觀測內(nèi)部的工作狀況；設(shè)備結(jié)構(gòu)簡潔、防爆、可靠性高。特種廢氣HCl、SiHCl3和微量B2H6的去除率達到99%，微量PH3的去除率約1%。上述各種廢氣治理措施是半導(dǎo)體、IC企業(yè)普遍采用、經(jīng)驗較成熟的方案。只要加強管理、嚴(yán)格按照廢氣治理措施進行運營，本項目中產(chǎn)生的廢氣污染物在滿足達標(biāo)排放的前提下，會盡可能的減少向周圍環(huán)境的排放量，使其對大氣環(huán)境的影響得到合理的控制與減緩。 水污染防治措施評述(a) 廢水處理工藝擬建項目廢水設(shè)施建設(shè)遵循雨污分流、清污分流、分質(zhì)處理的原則。根據(jù)工程中廢水來源、廢水水質(zhì)的不同，將廢水按種類分為切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水、酸性廢水、堿性廢水、含氟廢水、含氨廢水、一般清洗水、廢氣洗滌水、生活污水和清下水（包括鍋爐排水、純水制備產(chǎn)生的濃水、空調(diào)系統(tǒng)排水）。，廢氣洗滌水為30t/d，生活污水49t/d。，廢水中的主要污染因子為：COD、SS、氟化物、NH3N、TP。根據(jù)建設(shè)項目的實際情況，并結(jié)合開發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃與環(huán)境保護規(guī)劃，擬建項目對所產(chǎn)生的各種廢水采取的處理排放方案為：①含氟廢水含氟廢水來源于單晶硅拋光片的清洗工序、外延爐石英管的清洗。含氟廢水排至生產(chǎn)廢水處理站相應(yīng)的集水池。含氟廢水采用化學(xué)沉淀法進行處理。廢水先進入混凝反應(yīng)槽，在凝反應(yīng)槽內(nèi)投加H2SOPAC、PCM、Ca(OH)2，然后進入沉淀池進行固液分離。廢水再進入進入廢水調(diào)節(jié)池。沉淀池污泥經(jīng)污泥濃縮，用污泥泵送至污泥脫水機干化后運至指定地點填埋。②酸堿廢水酸堿廢水主要來自于各清洗工序、廢氣洗滌水，此類廢水排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)節(jié)池中。由于酸堿廢水中主要成分是無機酸、堿，故采用化學(xué)中和法處理。在反應(yīng)槽中投加NaOH（或Ca(OH)2）、H2SO4使廢水pH值調(diào)節(jié)為69。③切片倒角廢水、研磨廢水、拋光廢水切片倒角用水噴淋硅粉產(chǎn)生的切片倒角廢水；研磨廢水主要來源于研磨清洗工序；拋光廢水主要來源于拋光清洗工序。此類廢水的主要成分為硅粉，先在使用點附近設(shè)沉淀池,然后排至生產(chǎn)廢水處理站的廢水調(diào)節(jié)池中，再用泵送入混凝反應(yīng)槽進行沉淀處理。④一般廢水一般廢水來自拋光片的最后一道清洗和外延片的第一道清洗水，此類廢水較為清潔，直接排至混合廢水調(diào)節(jié)池中，與其他廢水一起處理。⑤生活污水根據(jù)開發(fā)區(qū)的要求，建設(shè)后的生活污水經(jīng)化糞池簡單處理后，進入真州污水處理廠集中處理。經(jīng)過廢水處理設(shè)施處理過的廢水達到真州污水處理廠的接管標(biāo)準(zhǔn)，與生活污水接入真州污水處理廠處理達到《城鎮(zhèn)污水處理廠排放標(biāo)準(zhǔn)》（JB181982002）表1中一級B級標(biāo)準(zhǔn)后，統(tǒng)一排入長江儀征段，廢水排放標(biāo)準(zhǔn)見表41。表41 地表水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及廢水排放標(biāo)準(zhǔn)項目真州污水處理廠的接管標(biāo)準(zhǔn)mg/L自建廢水站排放標(biāo)準(zhǔn)值mg/L真州污水處理廠排放標(biāo)準(zhǔn)限值mg/LPH(無量綱)6—96969COD500≤20060SS400≤20020TP≤5NH3N35≤3515氟化物20≤1010廢水處理設(shè)施總排出口設(shè)有氟化物、PH值的自動監(jiān)控儀表，并設(shè)有常規(guī)化學(xué)分析儀器，定時檢測水中有害成分，監(jiān)控生產(chǎn)廢水處理效果。具體廢水工藝流程見圖43。含氟廢水廢水調(diào)節(jié)池沉淀槽混凝反應(yīng)槽HF調(diào)節(jié)池出水槽自動過濾帶酸性廢水堿性廢水一般廢水混凝反應(yīng)槽中間水槽沉淀槽Ca(OH)H2SOPAC、PAMP1P2P3P4污泥槽外運處理壓濾機達標(biāo)排放研磨廢水拋光廢水沉淀池圖43 廢水處理工藝流程圖Na(OH)H2SOPAC、PAM(b) 污泥處理回用處理系統(tǒng)和廢水處理系統(tǒng)產(chǎn)生的污泥自流到污泥槽進行污泥的濃縮脫水，脫水的對象是污泥中的空隙水，濃縮的目的是為了減少污泥體積。濃縮后的污泥由泵送入到廂式壓濾機，脫水的泥餅裝袋后委托處理。污泥濃縮池、貯泥罐、廂式壓濾機產(chǎn)生的濾液經(jīng)過濾液儲池收集后泵入綜合廢水調(diào)節(jié)池。(c) 真州污水處理廠概況,主要接納生活污水和工業(yè)廢水。真州污水處理一期工程已在2005年10月建成投入試運行。真州污水處理廠服務(wù)范圍主要包括儀征主城區(qū)、汽車工業(yè)園、揚州化學(xué)工業(yè)園（管道路以東）、儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)（包括船舶工業(yè)園）等范圍。真州污水處理廠廢水處理工藝采用改良的A2/O工藝，污泥處理采用一體化帶式濃縮脫水機。工藝流程見圖44。真州污水處理廠尾水處理達到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB189182002)中的一級B標(biāo)準(zhǔn)后排入長江儀征段。圖44 真州污水處理廠廢水處理工藝流程圖改良A2/O曝氣池泥餅外運回流鼓風(fēng)機房紫外線殺毒沉渣外運粗格柵進水泵房沉砂池細(xì)格柵二沉池接觸消毒池出水至長江儀征段排江泵房污泥泵房儲泥濃縮脫水間剩余污泥進 水其工藝主要特點如下:①污染物去除效率高,運行穩(wěn)定。②采用A2/O工藝,可將經(jīng)過一級物理處理后的污水、通過厭氧、缺氧、好氧的三個生物處理過程，將水中的BOD、COD、SS、氨氮、磷酸鹽同時去除；③污泥沉降性能好；④能較好的耐受沖擊負(fù)荷；⑤出水水質(zhì)穩(wěn)定。建設(shè)項目在污水收集范圍之內(nèi)。,%，在其處理能力之內(nèi)。本項目廢水經(jīng)廠區(qū)自建廢水處理設(shè)施處理后各項污染物濃度均低于接管標(biāo)準(zhǔn)限值。目前儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)的污水管網(wǎng)正在積極建設(shè)中，計劃在建設(shè)項目投產(chǎn)前將全部完工并投入使用，本項目建設(shè)期為一年，與污水處理廠處理廢水及儀征經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水管網(wǎng)建設(shè)能夠銜接。因此從接收水量、接管標(biāo)準(zhǔn)、時間和管網(wǎng)布設(shè)等方面綜合考慮，本項目廢水排入真州污水處理廠是可行的。 噪聲污染防治措施評述①選用低噪聲設(shè)備；②設(shè)置減振、隔振基礎(chǔ)：對有振動的設(shè)備設(shè)置減振臺、隔振基礎(chǔ)以減少噪聲產(chǎn)生和傳遞；③隔聲、吸音處理：對空壓機組、冷凍機組產(chǎn)生高噪聲的設(shè)備，設(shè)置隔音門窗，墻面采取吸音板。以減少噪聲的對外傳播。此外，采用封閉式廠房、隔聲墻壁，隔聲墻壁、隔聲窗等措施隔離噪音，利用建筑物隔聲減輕污染；同時在廠區(qū)加強綠化也可降低噪聲對裝置區(qū)外的影響。經(jīng)上述治理后可有效的減少各類噪聲源在廠區(qū)內(nèi)外的擴散，降低噪聲對環(huán)境造成的污染，廠區(qū)附近環(huán)境噪聲基本能達到《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標(biāo)準(zhǔn)》中的Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)。 固體（廢液）污染防治措施評述建設(shè)項目產(chǎn)生的固體廢物種類主要包括硅片表面處理產(chǎn)生的廢有機溶劑、廢活性炭、表面處理廢物（廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸和廢堿）、污水處理產(chǎn)生的含氟污泥、廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英以及生活垃圾等，固體廢物產(chǎn)生總量為1961t/a。本項目根據(jù)各種固體廢物的產(chǎn)生來源、組成及性質(zhì)，對照《國家危險廢物名錄》，將固體廢物分為危險廢物和一般固體廢物。再依據(jù)其可利用情況，分別采取與之相應(yīng)的處理/處置措施。具體方案如下：（1）危險廢物:對屬于國家規(guī)定危險廢物之列的固體廢物，必須委托有資質(zhì)的處置單位進行妥善處理。其中廢有機溶劑、廢活性炭、廢硫酸、廢氫氟酸、廢鹽酸、廢混酸、廢堿、含氟污泥屬于危險廢物，應(yīng)按照危險廢物處置的有關(guān)規(guī)定，委托具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進行無害化處理。（2）一般固體廢物：廢氨水、廢研磨劑、廢拋光劑、單晶硅渣、廢石墨、廢石英等具有一定再利用價值的廢物，由相應(yīng)的廢品回收部門進行收購；對員工辦公與生活中產(chǎn)生的生活垃圾，在廠內(nèi)定點收集儲存，按照當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護和衛(wèi)生管理部門的要求統(tǒng)一處置。通過上述措施，擬建項目產(chǎn)生的各種固體廢物的處置/處理率達到了100%，沒有直接外排。 非正常排放防范措施（1）對廢水處理裝置進水水質(zhì)進行常規(guī)監(jiān)測，及時調(diào)整運行參數(shù)，確保穩(wěn)定達標(biāo)。（2）加強安全管理，建立崗位責(zé)任制，避免因管理不當(dāng)、操作失誤等，造成不達標(biāo)排放。（3）對水泵、閥門等定期檢修維護，防止跑、冒、滴、漏。（4）對各種化學(xué)藥品的儲存與使用，要嚴(yán)守管理制度與操作要求，嚴(yán)防泄露、著火等意外事故，消除安全隱患（5）制定定時巡檢制度，對污水、廢氣處理設(shè)施非正常情況及時發(fā)現(xiàn)、及時處理，盡量減少污染物外排。 綠化綠化在防治污染保護環(huán)境方面起著特殊作用。綠色植物具有吸附塵埃、吸收CONOSO凈化空