第四章-各類光學(xué)薄膜設(shè)計-1減反射膜20xx(編輯修改稿)
2024-08-19 22:19 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 ??????? ? ? ?????? ? ? ??????? ? ? ??? ??? ? ? ?? ? ? ???? ? ? ??????? ? ? ????? ? ? ? ? ???? ? ? ? ?????? ? ??????? ? ? ?221 3 20//Y C B n n nYn?????若 則 在 中 心 波 長 處 出 現(xiàn) 反 射 最 小 值 雙層增透膜 —— 雙層 λ0／ 4膜層 19 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 上面討論的 λ0／ 4 λ0／ 4 結(jié)構(gòu)的 V形膜只能在較窄的光譜范圍內(nèi)有效地減反射，因此僅適宜于工作波段窄的系統(tǒng)中應(yīng)用．厚度為 λ0／ 4 λ0／2型的雙層增透膜，在中心波長 λ0兩側(cè)， 可望有兩個反射率極小值，反射率曲線呈 W型，所以也有把這種雙層增膜稱作為 W型膜的．對于中心波長膜層和基片組合的特征矩陣為 雙層增透膜 20 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 12121231 1 1 2 2 2001200311311213si n si nc os c os 1si n c os si n c os22,4 2 210/ 100 01//iiBCiiniinBnninCinY C B n n???????? ? ? ? ? ???? ? ?? ? ???? ? ? ?????? ? ? ??????? ? ? ??? ??? ? ? ?? ? ? ? ? ????? ????? ? ? ?????????? ? ? ????? ? ? ??? ????????? 雙層增透膜 —— λ0／ 4 λ0／ 2型雙層膜 顯然，在中心波長處的反射率與單層膜相同。 21 0123454 0 0 4 5 0 5 0 0 5 5 0 6 0 0 6 5 0 7 0 0單層膜、 λ /4 λ /4 和 λ /2 λ /2 型雙層增透膜理論曲線% ReflectanceW a v e l e n g t h ( n m )薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 雙層增透膜 單層膜 λ0／ 4 λ0／ 2雙層膜 λ0／ 4 λ0／ 4雙層膜 22 薄 膜 光 學(xué) —— 典型膜系 三層增透膜 雙層增透膜的減反射性能比單層增透膜要優(yōu)越得多，但它并沒有全部克服單層增透膜的兩個主要缺點（ 1）剩余反射高；（ 2）帶寬小。為了克服以上的缺點人們設(shè)計出了三層以及多層增透膜。對于 λ0／ 4 λ0／ 4 型的增透膜在中心波長處增透效果好但是帶寬較小， λ0／ 4 λ0／ 2型的增透膜在一定程度上展寬了帶寬但是總體的減反射效果不理想，人們想到將它們結(jié)合起來，設(shè)計出 λ0/4λ0/2λ0/4型增透膜，不僅提高了增透效果，而且展寬了帶寬。 總之，人們可以通過調(diào)整層數(shù)、厚度、材料來不斷的優(yōu)化設(shè)計，由于實際工作中 λ0／ 4的整數(shù)倍厚度容易控制，人們把全部 由 λ0／ 4整數(shù)倍厚度組成的膜系稱為規(guī)整膜系，反之為非規(guī)整膜系。 23 ? 舉例： Glass/M/2H/L/A ? 在 550nm 處， ?Glass: n= ?M: Alq3 n= ?H: ITO n= ?L: n=？ λ0/4λ0/2λ0/4型增透膜 : G/M2HL/A 24 IMPROVED MLAR ON PMMA ? Requires 3 or more layers – 中間層必須是 H halfwave (n=) – 中間層計算時可作為 2 quarterwaves –
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