【文章內(nèi)容簡介】 急 １７ 停止按鈕在數(shù)控副面板左側(cè)。待異常情況排除后，方可抬起緊急停止按鈕。 （ 5）參數(shù)設(shè)定。 按下 參數(shù) 鍵，再按下 101200 鍵，用 選定變量。并輸入要求之參數(shù)。（輸入者掌握密碼） １８ 上述參數(shù)的設(shè)定，特別要注意的是單位，一定以微米為單位輸入數(shù)據(jù)。例如： 3 英寸硅片加工直徑為 ,加工主參考邊長度為 ,則在 132 中輸入數(shù)據(jù)為硅片加工直徑 。 在 133 中輸入數(shù)據(jù)為主參考邊長度 。輸入完數(shù)據(jù)后，要仔細察看位數(shù)，不能多， 也不能少，如輸入錯誤，可能造成硅片損壞或設(shè)備故障！ 131~137 根據(jù)實際需要設(shè)定。 138 和 139 速度實際上在程序里設(shè)定。在這里可作為功能備用。 140 是 Y 軸 (旋轉(zhuǎn)軸 )旋轉(zhuǎn)到初始角時，如果角度有誤差，則磨參考邊時，磨之前與磨之后，參考邊起始點有誤差，故必須在 140寫入修正系數(shù)，保證參考邊起始點一致。如果未發(fā)現(xiàn)不一致問題，則 140 可設(shè)置為 0。 140 可以調(diào)整參考邊位置。 如果 硅片原始參考邊與硅片晶格有誤差，也可以用 140 來調(diào)整。正常使用時一般 １９ 不用動 140 數(shù)值，請注意。 上升設(shè)置點 145 數(shù)據(jù)確定原則： 在機床回原點后，用手輪調(diào)整Z 軸位置，當(dāng)升降軸吸盤下平面與硅片取出旋轉(zhuǎn)氣缸擺臂不發(fā)生干涉之位置定為上升設(shè)置點，用手動將硅片取出旋轉(zhuǎn)氣缸擺臂至取片位，此時升降軸吸盤下平面高于硅片取出旋轉(zhuǎn)氣缸擺臂上平面 2MM 即可。觀察 Z 軸機床坐標(biāo)數(shù)據(jù)，用 25 減 Z 軸機床坐標(biāo)數(shù)據(jù)所得差值填入 145 中。 145 中的數(shù)據(jù)實際是 G54 工件坐標(biāo)系坐標(biāo)值，不是 Z 軸機床坐標(biāo)系坐標(biāo)值。 ，特別要注意的是單位，一定以微米為單位輸入數(shù)據(jù)。 G53Z0=G54Z0+25。 吸片位置 144 數(shù)據(jù)確定原則： 在機床回原點后， 用手輪調(diào)整 Z 軸位置，當(dāng)升降軸吸盤下平面與硅片送入吸盤上平面 +硅片厚度不發(fā)生干涉之位置定為吸片位置，用手動將硅片送入到升降軸心位置，此時升降軸吸盤下平面高于硅片上平面 即可。如果過高，硅片不容易吸著，如果過低，容易發(fā)生干涉。觀察 Z 軸機床坐標(biāo)數(shù)據(jù)，用25 減 Z 軸機床坐標(biāo)數(shù)據(jù)所得差值填入 144 中。 144 中的數(shù)據(jù)實際是G54 工件坐標(biāo)系坐標(biāo)值。 機床坐標(biāo)系坐標(biāo)值。 特別要注意的是單位，一定以微米為單位輸入數(shù)據(jù)。 加工點 141 數(shù)據(jù)確定原則： 1：粗調(diào)。在機床回原點后，用手輪調(diào)整 X 軸位置，使砂輪盡量靠近升降 軸吸盤，用手輪調(diào)整 Z 軸位置，觀察升降軸吸盤下平面，趨近于砂輪槽槽中心位置，再向上走 1/2 片厚即可。觀察 Z 軸機床坐標(biāo)數(shù)據(jù)，用 25 減 Z 軸機床坐 ２０ 標(biāo)數(shù)據(jù)所得差值填入 141 中。 2：細調(diào)。單步運行程序 ,程序運行至加工點 ,暫停 ,觀察硅片與砂輪槽相對情況 ,如偏離太多 ,修正 141數(shù)值 ,再重新運行程序 ,程序運行至加工點暫停 ,再觀察硅片與砂輪槽相對情況 , ,如偏離不多 ,則試磨片 ,觀測試磨之硅片 , 精確修正141 數(shù)值。 A 軸進給位置 146 數(shù)據(jù)確定原則： 1：粗調(diào)。在機床回原點后，用手輪調(diào)整 A 軸位置，使 A 軸送料吸盤位置向升 降軸吸盤中心方向移動，當(dāng)送料吸盤與升降軸吸盤左齊平時，記錄下 A 機床坐標(biāo)數(shù)據(jù) 1，再用手輪調(diào)整 A 軸位置，當(dāng)送料吸盤與升降軸吸盤右齊平時，記錄下 A 機床坐標(biāo)數(shù)據(jù) 2，（數(shù)據(jù) 1+數(shù)據(jù) 2） /2=146。此數(shù)值為粗調(diào)值。 2：細調(diào)。單步運行對中找正程序，用百分表測量出 X1 、 X2 數(shù) 值 ， 用 X1 、 X2 差 值 修 正 146 即 可 。146=146+(X2X1)/2。 外圍系統(tǒng)操作 開機與關(guān)機。 開機： 將總電源開關(guān) (QF1)置 ON，控制柜內(nèi)外圍設(shè)備相關(guān)電源 (QF２ QF８ )開關(guān)置 ON。 關(guān)機： 按下手操盤停止按鈕，將控制柜內(nèi)外 圍設(shè)備相關(guān)電源開關(guān)置 OFF，將總電源開關(guān)置 OFF。 手動 將手操盤選擇開關(guān)打到手動，就可在觸摸屏上對外圍設(shè)備進行手動操作。 ２１ 自動 外圍設(shè)備自動運轉(zhuǎn)前先進行設(shè)定 （ 1）切邊有無設(shè)定（觸摸屏）： 在觸摸屏 操作方式 畫面，如果加工片子不需切邊找正按 切邊有無 按鈕彈起；如果加工片子需切邊找正按 切邊有無 按鈕。 （ 2）找切邊電機旋轉(zhuǎn)時間設(shè)定（觸摸屏）： 在觸摸屏 操作方式 畫面，如果加工片子有切邊需設(shè)定找切邊 M 旋轉(zhuǎn)時間。 （ 3）電子尺設(shè)定值（觸摸屏）： 加工片子有切邊時，對電子尺設(shè)定值進行操作，在觸摸屏 操作方式 畫面輸入電子尺切邊找正 時電子尺的位置顯示值作為電子尺的設(shè)定值。 （ 4）設(shè)置菜單（觸摸屏）： 根據(jù)工藝要求對設(shè)置菜單中的參數(shù)進行設(shè)定。 （ 5）回原點（觸摸屏）： 外圍設(shè)備自動運轉(zhuǎn)前先回原點。 （ 6）排除異常： 所有故障排除（見觸摸屏故障顯示）。 （ 7）非常停止： 數(shù)控裝置啟動且未有急停。 以上條件具備按下 復(fù)位 鈕就可對外圍設(shè)備進行自動操作。 啟動 在參數(shù)已設(shè)定好，外圍設(shè)備在原點狀態(tài)，觸摸屏操作方式畫面原點指示燈亮 (原點條件在觸摸屏原點條件畫面顯示 )。數(shù)控設(shè)備先啟動，外圍設(shè)備異常排除，操作盤選擇開關(guān)打到 自動 ，按下復(fù)位，再按下綠色 啟動 按鈕，延時報警后，外圍設(shè)備運轉(zhuǎn)，綠色塔燈及面板上 啟動 綠色運轉(zhuǎn)指示燈亮。 ２２ 停止 按下 停止 外圍設(shè)備停止運轉(zhuǎn)。 復(fù)位 當(dāng)外圍設(shè)備發(fā)生異常，異常鎖，異常排除，按下復(fù)位異常鎖打開。 （ 1）自動狀態(tài)下，當(dāng)切邊找正裝置檢測出切邊歪， 切邊歪 異常指示并報警。此時在運轉(zhuǎn)狀態(tài)下，先拿出異常片子，再按下操作盤復(fù)位 鈕，外圍設(shè)備繼續(xù)運行。 （ 2）自動狀態(tài)下，當(dāng)移載取片子時發(fā)生異常（如片子裂），移載吸著異常報警，移載停止取片并回到上位，操作者清理好發(fā)生異常的片子，排除故障，按下 復(fù)位 ，設(shè)備繼續(xù)運轉(zhuǎn)。 （ 3）自 動狀態(tài)下，當(dāng)硅片取出時發(fā)生異常（如片子裂），硅片取出異常報警，硅片取出裝置回到外端下降吹真空，回到上端后停止，此時按下數(shù)控裝置暫停，清理碎片，清理完后，停止數(shù)控裝置暫停，并按下外圍設(shè)備 復(fù)位 ，設(shè)備繼續(xù)運轉(zhuǎn)。 觸摸屏畫面 （ 1） 1菜單畫面。 ２３ 在菜單畫面通過灰色按鈕可選擇不同的操作畫面。 ：此按鈕使觸摸屏翻到下一個畫面即 2操作方式畫面。 ：此按鈕使觸摸屏回到此畫面之前的顯示畫面。 ：畫面中其他按鈕為畫面切換按鈕，如按下 操作方式 按鈕，畫面便切換到 操作方式 畫面。 （ 2） 2操作方式畫面。 ２４ ：此按鈕使觸摸屏翻到上一個畫面即 1菜單畫面。 ：此按鈕使觸摸屏翻到下一個畫面即 3原點畫面。 ：此按鈕使觸摸屏翻到菜單畫面。 ：在手動情況下按下此按鈕，外圍設(shè)備自動回原點，所謂原點如原 點畫面描述。（回原點后要按下按鈕使按鈕回彈回位） ：外圍設(shè)備各執(zhí)行器件回到原點畫面要求位，原點指示燈亮。 ：如果加工片子有切邊，按下此按鈕。如果加工片子無切邊，彈回此按鈕。 找切邊 M 旋轉(zhuǎn)時間 ：設(shè)定找切邊電機從片子到達檢測點位開始運轉(zhuǎn)的時間。 電子尺設(shè)定值 ：對于有切邊的片子，需對切邊找正，氣缸帶動兩個滾輪頂片子切邊，將切邊頂正，氣缸帶動電子尺，輸入切邊找正氣缸找正切邊時氣缸的行進距離（ 電子尺當(dāng)前值 顯示值），作為電子尺設(shè)定值，每次找切 邊氣缸行進距離與這個設(shè)定值進行比較，判斷片子切邊是否找正。 電子尺當(dāng)前值 ：顯示電子尺當(dāng)前位置值。 （ 3） 3原點畫面。 ２５ 此畫面為原點條件，所有條件滿足，外圍設(shè)備處于原點位置。 ：此按鈕使觸摸屏翻到上一個畫面即 2操作方式畫面。 ：此按鈕使觸摸屏翻到下一個畫面即 4上料盒畫面。 ：此按鈕使觸摸屏翻到菜單畫面。 （ 4） 4上料盒畫面。 此畫面對上料盒，皮帶電機 ，找切邊電機進行手動操作。 ：此按鈕使觸摸屏翻到上一個畫面即 3原點畫面。 ２６ ：此按鈕使觸摸屏翻到下一個畫面即 5移栽畫面。 ：此按鈕使觸摸屏翻到菜單畫面。 上升： 此畫面對上料盒進行手動操作，按下 上升 上料盒電機上升。 下降： 此畫面對上料盒進行手動操作，