精密測(cè)量技術(shù)ppt課件(2)(編輯修改稿)
2025-05-31 06:10 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 至于定位誤差，則理想要素置于相對(duì)于基準(zhǔn)某一確定有位置上，其定位條件可稱為定位最小條件。 2022/6/1 25 跳動(dòng)： 跳動(dòng)的分類： 它可分為圓跳動(dòng)和全跳動(dòng)。 圓跳動(dòng)：是指被測(cè)實(shí)際表面繞基準(zhǔn)軸線作無(wú)軸向移動(dòng)的回轉(zhuǎn)時(shí)，在指定方向上指示器測(cè)得的最大讀數(shù)差。 全跳動(dòng)：是指被測(cè)實(shí)際表面繞基準(zhǔn)軸線無(wú)軸向移動(dòng)的回轉(zhuǎn)，同時(shí)指示器作平行或垂直于基準(zhǔn)軸線的移動(dòng)，在整個(gè)過(guò)程中指示器測(cè)得的最大讀數(shù)差。 跳動(dòng)是某些形位誤差的綜合反映。 2022/6/1 26 167。 31直線度誤差測(cè)量 ? 一、測(cè)量方法 ? 直線度誤差的測(cè)量方法分為線差法和角差法兩大類。 ? (一 )、線差法 ? 線差法的實(shí)質(zhì)是：用模擬法建立理想直線，然后把被測(cè)實(shí)際線上各被測(cè)點(diǎn)與理想直線上相應(yīng)的點(diǎn)相比較，以確定實(shí)際線各點(diǎn)的偏差值，最后通過(guò)數(shù)據(jù)處理求出直線度誤差值。 ? 理想直線可用實(shí)物、光線或水平面來(lái)體現(xiàn)。 ? 實(shí)物基準(zhǔn)法是用高精度的實(shí)物來(lái)體現(xiàn)理想直線，如用刀口尺、標(biāo)準(zhǔn)平尺、拉緊的鋼絲、光學(xué)平晶等體現(xiàn)理想直線。 2022/6/1 27 ? 干涉法 ? 對(duì)于小尺寸精密表面的直線度誤差．可用干涉法測(cè)量。光學(xué)平晶工作面的平面度精度很高，其工作面可作為一理想平面，在給定方向上則體現(xiàn)一條理想直線。測(cè)量時(shí)，把平晶置于被測(cè)表面，在單色光的照射下、兩者之間形成等厚干涉條紋 (如圖 )。然后讀出條紋彎曲度 a及相鄰兩條紋的間距 b值，被測(cè)表面的直線度誤差為 ? (λ為光波波長(zhǎng) )。表面凹凸的判別方法是以平晶與被測(cè)表面的接觸線為準(zhǔn)，條紋向外彎，表面是凸的，反之，表面是凹的。 2ba ??2022/6/1 28 ? 對(duì)于較長(zhǎng)的研磨表面，如研磨平尺，當(dāng)沒(méi)有長(zhǎng)平晶時(shí)，也可采用圓形平晶進(jìn)行分段測(cè)量．即所謂 3點(diǎn)連環(huán)干涉法測(cè)量，如圖所示。若被測(cè)平尺長(zhǎng)度為200mm，則可選用 Φ100mm的平晶，將平尺分成 4段進(jìn)行測(cè)量，每次測(cè)量以兩端點(diǎn)連線為準(zhǔn)，測(cè)出中間的偏差。測(cè)完一次，平晶向前移動(dòng) 50mm(等于平晶的半徑 )。圖中所示被測(cè)平尺只需測(cè)量 3次即可，然后通過(guò)數(shù)據(jù)處理，得出平尺的直線度誤差。 2022/6/1 29 2022/6/1 30 ? 跨步儀法 ? 跨步儀法使用的測(cè)量裝置如圖所示。該裝置由具有兩個(gè)支承的本體和裝在其上的指示表組成，后支承至前支承的距離與前支承至指示表測(cè)頭的距離相等。其測(cè)量原理是以兩支承點(diǎn)的連線作為理想直線測(cè)量第三點(diǎn)相對(duì)于此連線的偏差。測(cè)量前，把此裝置放在高精度平尺或平板上，將指示表的示值調(diào)整為零，然后將測(cè)量裝置放置在被測(cè)面上進(jìn)行測(cè)量，每次移動(dòng)一個(gè) L距離，讀取一個(gè)讀數(shù)。移動(dòng)時(shí)，前次的測(cè)點(diǎn)位置，就是后次測(cè)量的前支承點(diǎn)位置，如此依次逐段測(cè)完全長(zhǎng)，最后經(jīng)數(shù)據(jù)處理，即可求出被測(cè)件的直線度誤差。 2022/6/1 31 ? 則各點(diǎn)相對(duì)于測(cè)量裝置兩支承原始位置 A0和A1，連線的偏差為 y2， y3， … ， yi。因讀數(shù)a2為被測(cè)面上 A2點(diǎn)相對(duì)于 A0、 A1連線的偏差，讀數(shù) a3為被測(cè)面上 A3點(diǎn)相對(duì)于 A A2連線的偏差，其余依此類推，即后一點(diǎn)上的讀數(shù)為相對(duì)于前兩點(diǎn)連線的偏差值。 ? 如圖所示，設(shè)在被測(cè)面的 A2， A3， … ， Ai點(diǎn)上指示表的讀數(shù)分別為 a2,a3…ai, 2022/6/1 32 2022/6/1 33 ? 光軸法 ? 該法是以測(cè)微準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡或自準(zhǔn)直儀所發(fā)出的光線為測(cè)量基線 (即理想直線 )，測(cè)出被測(cè)直線相對(duì)于該理想直線的偏差量，再經(jīng)數(shù)據(jù)處理求出被測(cè)線的直線度誤差。測(cè)量原理如圖所示。 2022/6/1 34 ? 測(cè)量步驟如下： ? (1)將被測(cè)線兩端點(diǎn)連線調(diào)整到與光軸測(cè)量基線大致平行； ? (2)若被測(cè)線為平面線，則 xi代表被測(cè)線長(zhǎng)度方向的坐標(biāo)值， yi為被測(cè)線相對(duì)于測(cè)量基線的偏差值。 ? 沿被測(cè)線移動(dòng)瞄準(zhǔn)靶 2，同時(shí)記錄各點(diǎn)示值(yi)(i=1， 2， …n) 。 ? 再經(jīng)數(shù)據(jù)處理求出直線度誤差值。 ? 該法適用于大、中型工件及孔和軸的軸線的直線度誤差測(cè)量。 2022/6/1 35 ? 激光具有能量集中，方向性和相干性好等優(yōu)點(diǎn)，因此，用激光作為基準(zhǔn)線來(lái)測(cè)量直線度誤差可克服傳統(tǒng)光學(xué)準(zhǔn)直法的上述缺點(diǎn)。 ? 激光準(zhǔn)直儀的原理如圖所示。由氦 氖激光器 1發(fā)出的一束光，通過(guò)擴(kuò)束望遠(yuǎn)鏡 2后射出直徑為 10mm的激光束，此光束橫斷面的光能量分布近似于高斯分布 (正態(tài)分布 )。在一定條件下，相當(dāng)長(zhǎng)距離內(nèi)各斷面光能量的
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