精密工作臺概述ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-31 06:07 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 （微晶玻璃） ? 2．測量技術(shù) 測量手段主要有光柵測量和激光干涉儀測量。 目前光柵測量的分辨率可達到納米量級，測量精度為土 ，測量范圍為 100mm。 可實現(xiàn)非接觸測量。 ? 3. 驅(qū)動技術(shù) 驅(qū)動技術(shù)直接決定了工作臺的速度、精度、行程和整個設(shè)備的效率。驅(qū)動技術(shù)有間接驅(qū)動和直接驅(qū)動兩種方式。 間接驅(qū)動方式是驅(qū)動元件通過傳動機構(gòu)驅(qū)動工作臺。這種方式存在的缺點是：傳動鏈較長，系統(tǒng)結(jié)構(gòu)復(fù)雜，附加慣量大，剛度低，而且零部件的彈性變形會影響精度，此外，由于摩擦磨損將導(dǎo)致精度漸變等。 驅(qū)動元件常采用直流伺服電機、交流伺服電機，有時也采用步進電機。 直接驅(qū)動方式：即利用電機直接驅(qū)動工作臺，取消電機到工作臺之間的傳動環(huán)節(jié)，使傳動
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