測試與分析ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-31 04:17 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 透鏡分為恒磁透鏡和電磁透鏡．磁透鏡在許多方面優(yōu)于靜電透鏡，尤其是其不易受高電壓的影響．利用電磁線圈激磁的電磁透鏡，通過調(diào)節(jié)激磁電流可以很方便地調(diào)節(jié)磁場強度，從而調(diào)節(jié)透鏡焦距和放大倍數(shù)．所以在電子顯微鏡中廣泛采用電磁透鏡 3．成像系統(tǒng) 透射電子顯微鏡的成像系統(tǒng)由物鏡、中間鏡 ( 2個 )和投影鏡 ( 2個 )組成．成像系統(tǒng)的兩個基本操作是將衍射花樣或圖像投影到熒光屏上． 2．照明系統(tǒng) 照明系統(tǒng)的作用是提供亮度高、相干性好、束流穩(wěn)定的照明電子束．它主要由發(fā)射并使電子加速的電子槍和會聚電子束的聚光鏡組成． 電子顯微鏡使用的電子源有兩類：一類為熱電子源，即在加熱時產(chǎn)生電子；另一類為場發(fā)射源，即在強電場作用下產(chǎn)生電子．為了控制由電子源產(chǎn)生的電子束，并將其導(dǎo)人照明系統(tǒng)，須將電子源安裝在稱為電子槍的特定裝置內(nèi)． （ 2）掃描式電子顯微鏡 一束細(xì)聚焦的電子束轟擊試樣表面時，入射電子與試樣的原子核和核外電子將產(chǎn)生彈性或非彈性散射作用，并激發(fā)出反映試樣形貌、結(jié)構(gòu)和組成的各種信息。 有：二次電子、背散射電子、陰極發(fā)光、特征 X 射線、俄歇過程和俄歇電子、吸收電子、透射電子等。 與透射電鏡比較 ,有如下特點 : 用于觀察尺寸較大的試樣 放大倍數(shù)變化范圍 景深較大 分析功能多 分辯率低 History of SEM 1935： 法國的 卡諾爾 提出掃描電鏡的設(shè)計思想和工作原理。 1942： 劍橋大學(xué)的 馬倫 首次制成世界第一臺掃描電鏡。 OM amp。 SEM ?parison 顯微鏡類型 照明源 照射方式 成像信息 OM 可見光 光束在試樣上以靜 止方式投射 反射光 /投射光 SEM 電子束 電子束在試樣上作 光柵狀掃描 反射電子 ● Pictures of SEM 注射針頭的掃描電鏡照片 Pictures of SEM 果蠅： 不同倍率的掃描電鏡照片 Features of SEM 高分辨率 Features of SEM 強立體感
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