和電子探針ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-30 18:13 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 性能比較樣品室p 掃描電子顯微鏡的樣品室空間較大，一般可放置 ?2010 mm的塊狀樣品。近年來還開發(fā)了可放置尺寸在 ?125mm以上的大樣品臺(tái)。p 觀察時(shí)，樣品臺(tái)可根據(jù)需要沿 X、 Y及 Z三個(gè)方向平移，在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)或沿水平軸傾斜。p 樣品室內(nèi)除放置樣品外，還安置各種信號(hào)檢測器。20 SEM的主要性能指標(biāo)（ 1） 放大倍數(shù) 可從幾倍到 20萬倍 連續(xù) 調(diào)節(jié)。 （ 2） 分辨率 影響 SEM圖像分辨率的主要因素有 ： ① 掃描電子束斑直徑 ； ② 入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng) (原子序數(shù) Z的影響 )； ③ 操作方式及其所用的調(diào)制信號(hào)； ④ 信號(hào)噪音比； ⑤ 雜散磁場； ⑥ 機(jī)械振動(dòng)將引起束斑漂流等，使分辨率下降。 （ 3） 景深 SEM（二次電子像）的景深比光學(xué)顯微鏡的大，成像富有立體感。適合于粗糙表面的觀察和分析。 21 1入射電子束2俄歇電子激發(fā)體積3樣品表面4二次電子激發(fā)體積5背散射電子激發(fā)體積6初級(jí) X射線激發(fā)體積入射電子產(chǎn)生的各種信息的深度和廣度范圍 (a) 電子束散射區(qū)域形狀 (梨形作用體積 ) (b)重元素樣品的電子束散射區(qū)域形狀 (半球形作用體積 )22 第二節(jié) 像襯原理與應(yīng)用 一、像襯原理 p 像的襯度 ：像的各部分 (即各像元 )強(qiáng)度相對(duì)于其平均強(qiáng)度的變化 或圖像上不同區(qū)域間明暗程度的差別。 p SEM可以用 二次電子、背散射電子、 吸收電子、特征 X射線等信號(hào)成像。 23 1．二次電子像襯度及特點(diǎn) p 二次電子信號(hào)主要來自樣品表層 5~10nm深度范圍，能量較低 (小于 50eV)。 p 影響二次電子產(chǎn)額的因素主要 有： (1)二次電子能譜特性； (2)入射電子的能量； (3)材料的原子序數(shù)； (4)樣品傾斜角 ?。 24 從表面發(fā)射出去的二次電子流與入射電子流的比值（ IS/I0）稱為 二次電子產(chǎn)額 ，用 ?表示。二次電子產(chǎn)額與電子能量和入射角的普遍關(guān)系電子能量增加， ?開始增加，達(dá)極大值后反而減少；入射角 ?越大 ， ?越大；25 二次電子像的襯度可以分為以下幾類： (1)形貌襯度 (2)成分襯度 (3)電壓襯度 (4)磁襯度 (第一類 )形貌襯度原理樣品傾斜角 ? 入射電子束 表面法線樣品傾斜角 ?越大， 二次電子產(chǎn)額越大， 圖像越明亮。26 二次電子像襯度的特點(diǎn)： p （ 1）分辨率高 。 p （ 2）立體感強(qiáng) 。 p （ 3）主要反映形貌襯度。 通常所指的掃描電鏡
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