表面粗糙度的測量方法(2)(編輯修改稿)
2025-05-29 18:04 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 1）原理 ? 光切顯微鏡的光路原理如圖 46所示。用測微目鏡量出 a、a’的距離Ｎ，即可求出峰谷間的高度。 ? 由于物鏡分辨率及景深的限制，光切法測量范圍一般為：Rz= (80～ )?m（舊國標(biāo) ?3～ ?9）。 ? 式 h=N/(Vcos45176。 )中有無理數(shù)，計算、使用不便，在儀器設(shè)計時采用機械方法加以有理化 ，其方法如圖 47所示。此時： h= a/2V 式中 : a— 用儀器測微目鏡瞄準(zhǔn)峰谷象高度 N（圖 47 中十字線位置 I與 II）時兩次讀數(shù)差值； h— 表面粗糙度的某一峰谷高度； V — 所選用物鏡的放大倍數(shù)。 雙管顯微鏡 雙管顯微鏡視場圖 雙管顯微鏡 光切顯微鏡讀數(shù) ? （ 2）定度： ? 在光切顯微鏡上，把確定測微目鏡的鼓輪上每小格所對應(yīng)的被測峰谷高度值的過程叫作 “ 定度 ” 。 (h= a/2V) ? 定度首先是求物鏡的放大倍率。求物鏡放大倍率的方法是用一個標(biāo)準(zhǔn)刻線尺（通常為專用附件，刻度間隔為，共 101條刻線）來測定各個物鏡的實際放大率。如圖 48所示，物鏡放大率為： V= a aZ2 1? 令 C=5/V，則： h= (um) 式中， n為測量峰谷高度時兩次讀數(shù)的差值（格數(shù)）。顯然，上式使用簡便。 ? C值的物理意義就是測微鼓輪一小格所對應(yīng)的峰谷方向 的高度值。 3．測量方法 測量前，選擇相應(yīng)的物鏡（表 42）并已知定度值 C。然后調(diào)節(jié)顯微鏡使視場呈現(xiàn)清晰的狹縫象及表面象，且至狹縫象的一個邊緣最清晰為止。 ? （ 1）測量 Rz值 其測量方法應(yīng)符合定義。 Rz值可按下式計算： Rz=C h hi iii39。 /????????? ?? 15155 h h m ixm a x
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