【文章內(nèi)容簡介】 ，可見探頭頻率越大，則分辨率越大。 但同時可見，超聲波顯微鏡的實際分辨率還受到聲波在材料內(nèi)部縱向傳播速度，探頭聚焦長度，焦點直徑的影響，因此對于不同性質(zhì)的材料或不同聚焦長度、直徑的探頭，儀器實際的分辨率是有差異的。 Special Parameter of Transducers for AMI 超聲波掃描探頭選擇的主要參數(shù) SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING 二、靈敏度： 超聲波顯微鏡探頭的靈敏度影響到儀器分辨率所能達(dá)到的水平，一般的探頭只能達(dá)到波長 L的 1/2，而比較好的探頭則能達(dá)到波長 L的 1/3。影響靈敏度的因素主要決定于探頭焦點的直徑，通常來說焦點直徑越小，靈敏度越大。但實際的焦點直徑非常難精確的測量出來，因為聲波聚焦點沒有明確的邊界，而是以不同灰度形狀環(huán)繞在一起。目前 Sonoscan公司自己研發(fā)的探頭焦點直徑能做到微米以下直徑。 林狀波 Special Parameter of Transducers for AMI 超聲波掃描探頭選擇的主要參數(shù) SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING 三、穿透深度： 超聲波顯微鏡探頭對材料的穿透深度主要受到二個因素影響： ? 探頭聚焦聲波波束在被檢測材料與中間耦合劑之間的折射率 N： N= CL, Material / C L,Water 這里 C L, Material表示聲波在被檢測材料內(nèi)的縱向速度， C L,Water表示聲波在中間介質(zhì)中的傳播速度（通常用水 C L,Water = mm/181。s）； ? 材料對聲波的吸收系數(shù)： 吸收系數(shù)是由材料內(nèi)部的晶格大小、材料性質(zhì)，空隙度等決定，因此比較難以僅用探頭來決定穿透的深度，還取決于不同的材料，或同一種材料內(nèi)部的晶格、空隙等因素。 Special Parameter of Transducers for AMI 超聲波掃描探頭選擇的主要參數(shù) SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING General Application for Different Frequency of Transducers 不同頻率探頭的應(yīng)用領(lǐng)域舉例 Low Frequency (1050 MHz): Anodic bonding, welding structures, packages: 低頻探頭 (10MHz – 30MHz): delaminations, defects。 電極封裝、焊接內(nèi)部結(jié)構(gòu)的分層缺陷、雜質(zhì)、裂紋等 Mid Frequency (5075 MHz): BGAs, die attach, die top: 中頻探頭 (50MHz – 75MHz): delaminations, defects, cracks。 BGA, 粘晶芯片內(nèi)部的分層缺陷、雜質(zhì)、裂紋等； High Frequency (100300 MHz): Delaminations, voids, defects, cracks in thin plastic 高頻探頭 (100MHz – 230MHz): packages and flip chips。 薄型塑封器件、倒裝焊芯片內(nèi)部的分層缺陷、雜質(zhì) 、裂紋等； Ultra High Frequency ( GHz): Nanovoids, cells, defects, boundaries in ceramics 超高頻探頭 (400MHz – 2GHz): alloys material。 陶瓷，合金材料中的納米空洞、顆粒、缺陷、界面 。 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING Typical Parameter CSAM Transducers 典型超聲波傳感器探頭參數(shù) SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING Sonoscan Software for Acoustic Microscope Sonoscan超聲波掃描顯微鏡軟件功能 ? Operation Software 操作軟件基于 Windows XP ? Easy Opertion 便于操作的人性化設(shè)計 ? Image Analyser 具有圖象分析功能 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING Locate the VHR Visual Acoustics icon on the Microsoft Windows? Desktop and doubleclick on this VHR Visual Acoustics icon 雙擊電腦桌面的 VHR軟件圖標(biāo)，打開軟件。 VHR Software Logon VHR軟件登錄 VHR Visual Acoustics Startup VHR軟件啟動 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING VHR Software GUI VHR軟件界面 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING Transducers Selection 探頭選擇和參數(shù)設(shè)定 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING Parameter and Scaning Setup 探頭移動和掃描參數(shù)設(shè)定 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING RF Interface and Scan Mode Setup RF界面和掃描模式參數(shù)設(shè)定 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING RF Image Setup RF圖像和設(shè)定 SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING CSAM D9500 Series ◆ Fast Scan Speed (快速掃描 ) ◆ Production screening, QA, Failure Analysis and process control (適用于產(chǎn)品線 ,QA, 失效分析和制程控制 ) ◆ Userselectable transducers for superior image and resolution (更清晰和更高分 辨率圖像的可選擇探頭 ) ◆ Waterfall transducer option for nonimmersed scanning (針對非 浸入水中的瀑布探頭 ) ◆ Auto Focus and automated image acquisition (自動聚焦 和自動掃描圖像獲取 ) Sonoscan Scanning Acoustic Microscope SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING Sonoscan Scanning Acoustic Microscope CSAM D9500 Series Specifications ? Frequency range: 1 – 500 MHz 頻率范圍 ? Transducer selection: 5 – 400 MHz 探頭頻率選擇 ? Scan field: X, Y方向上 掃描范圍 最小 最大 305 x305mm ? Scan speed: 1000mm/sec 掃描速度 Scanner resolution: +/ 掃描精度 ? Scan modes: A, B, C, M, Bulk, T, 掃描模式 3D, QBAM, P, ZIP ? Image resolution: 4096 x 4096 pixel2 圖象分辨率 （最大） ? Gate resolution: , 最小門限 時間 ? RFgain射頻增益 : 95dB, 以 步增減 ? FFT: 快速傅立葉變換 ? Patent Acoustic Impedance Polarity Detector: 專利聲學(xué)的阻抗 極性探測器 ? VHR image analysis for Sonoscan 專用圖像設(shè)置和分析軟件 ? 操作系統(tǒng) Windows XP, 中英文 ? 外形尺寸 : 180 x 76 x 150cm SKLMS 機械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室 STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING CSAM D9500 Series 超聲波掃描檢測儀技術(shù)規(guī)格表 (1)： 掃描檢測模式： ? Time Domain Pulse Echo (時域 脈沖 反射方式 ) AScan： 單點掃描模式； BScan： Z縱向截面模式； CScan：單一層面掃描模式； MultiScan： 多個層 /界面掃描模式； BulkScan： 塊掃描模式； LOBE： 回聲損失掃描模式，特別適合芯片裂紋和 MLCC缺陷掃描； QBAM： 定量 Z縱向聚焦截面掃描模式，用于虛擬切面分析； Profile： 輪廓掃描模式，包括對角線和任何截面定義； TrayScan： Tray盤掃描模式，可同時掃描 2個 JEDEC標(biāo)準(zhǔn)托盤中的元件，進(jìn)行自動數(shù)據(jù)收集和分析作 為接受或拒收的標(biāo)準(zhǔn)； ThruScan： 選件，可以使用探頭 5MHz~最大 100MHz的固定區(qū)域和大面積掃描穿透式模式； ? STAR： 選件，通過另外的數(shù)據(jù)通道，可以同步 CScan和 TScan掃描模式； ? DIA： 選件，聲波數(shù)字圖像分析軟件和美國軍標(biāo) MILSTD883方法 2030粘接層分析軟件； ? VRM： 選件，虛擬分析模式，收集所有的單點掃描數(shù)據(jù)，用一個掃描存儲所有的數(shù)據(jù)，使用不同的電 子門來重新產(chǎn)生新的圖像，對任何位置的圖像回聲作分析； ? CSAM Interact