電子探針分析原理ppt課件(編輯修改稿)
2025-05-28 18:02 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 性分析 ? 基本原理：在電子束的轟擊下，樣品產(chǎn)生組成元素的特征 X射線，然后由譜儀的分光晶體分光，計(jì)數(shù)管接收并轉(zhuǎn)換成脈沖信號，最后由計(jì)數(shù)器顯示，或由記錄儀記錄下試樣組成元素的特征 X射線全譜。 ? 在波譜分析中，通常采樣 L值，而不是 λ值。 L值為：從 X射線源到分光晶體之間的距離，它代表檢測波譜儀位置的波長。 ? 式中， R為譜儀的羅蘭園半徑 (mm)，如 :JEOL 2R＝ 140mm，Cameca 2R＝ 166mm， Shimadzu 2R＝ 102mm。 2d為分光晶體的面網(wǎng)間距， λ為特征 X射線峰的波長， n為 X射線反射級數(shù)。 dRnL22??與 EdS分析相同重元素玻璃的 WDS譜線 與 EDS相比， WDS具有一下優(yōu)點(diǎn)： ① WDS具有高的分辨率； ②高的峰 /背比使 WDS的檢測限大大優(yōu)于 EDS(WDS 100ppm177。 ， EDS 1000ppm 177。 )； ③ WDS能夠分析 Z≥4的元素，雖然新型的 EDS也能分析Z＝ 4的元素，但檢測限要大大降低。 但 WDS也有其缺點(diǎn)： ①用時多，速度慢； ② WDS需用較大的電流。 一、電子特征元素定量分析的基本原理 二、定量分析數(shù)據(jù)的預(yù)處理 三、 ZAF修正 四、定量分析的技術(shù)問題 五、工
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