【文章內(nèi)容簡介】 需溫度。如：工作溫度所需0℃打開背部電源總開關(guān)，按動電源鍵，儀表測量顯示窗顯示工作室內(nèi)當(dāng)前的溫度，設(shè)定窗顯示設(shè)定溫度，按動設(shè)定鍵，設(shè)定顯示窗，最右邊一位閃爍，再按動加、減鍵，使其改變?yōu)?，再按動移位鍵，使其他幾位也改變?yōu)?，再按動設(shè)定鍵，儀表進(jìn)入自動控制狀態(tài)。按動制冷鍵，壓縮機(jī)開始工作。再按動水泵鍵，循環(huán)水泵開始工作。6保養(yǎng) 冷凝器每月清洗一次保持箱內(nèi)外潔凈，經(jīng)常清理雜物、污跡。實驗室分散機(jī)操作規(guī)范文件編號ZKNT/GL產(chǎn)品部12版本／版次A／O生效日期制 訂審 核核 準(zhǔn)一、概述 SWFS400型實驗室分散砂磨機(jī)是采用外國新技術(shù)設(shè)計的新產(chǎn)品，該產(chǎn)品集中了攪拌、砂磨、分散多種設(shè)備的功能與一體。是目前實驗室人員最理想的實驗設(shè)備。本設(shè)備采用電子恒力調(diào)速線路，數(shù)字直接顯示轉(zhuǎn)軸速度，并配有多種砂磨葉盤、分散攪拌葉片。能適應(yīng)實驗室不同的實驗需要，并可根據(jù)顯示的轉(zhuǎn)軸速度，直接計算攪拌、分散、砂磨葉片的線速度與物料粘度及化學(xué)反應(yīng)速率之間的關(guān)系，為大規(guī)模投產(chǎn)提供正確的數(shù)據(jù)。 二、主要技術(shù)參數(shù)電動機(jī)型號：U40080/220 400W 220V 0～8000r/min調(diào)速范圍：無級恒力調(diào)速 0～8000r/min 攪拌分散葉片直徑：Φ50mm Φ60mm砂磨盤直徑：Φ45mm Φ60mm升降行程：250mm外形尺寸： LWH=450*420*760(mm)三、主要構(gòu)造本設(shè)備采用串激整流子電動機(jī)，通過電子恒力無級調(diào)速，數(shù)字直接顯示轉(zhuǎn)軸速度。砂磨葉盤及分散葉片與轉(zhuǎn)軸用螺紋直接連接。簡體采用夾套式結(jié)構(gòu)，可通冷卻水，用不銹鋼材料加工而成。四、安裝將平衡錘安裝在鏈條的螺栓上。兩夾持器分別裝在固定加上，夾持桿平面向上。將主機(jī)上的五芯航空插頭于調(diào)速器聯(lián)接（注意缺口方向）。五、使用與維護(hù)使用時將選用的砂磨葉盤或分散攪拌葉片與轉(zhuǎn)軸固定。旋松電機(jī)鎖緊螺栓，調(diào)速轉(zhuǎn)軸與容器的高低位置，夾緊電機(jī)及容器，放入物料并蓋上容器蓋。將調(diào)速旋鈕調(diào)至零位置，打開電源開關(guān)，然后調(diào)節(jié)速度至需要的轉(zhuǎn)速。本電機(jī)為串激整流子電機(jī)，轉(zhuǎn)動時電刷有火花產(chǎn)生，防爆車間不宜使用。轉(zhuǎn)速大于4000轉(zhuǎn)/分時不宜開空車。當(dāng)電機(jī)電刷長度小于10mm時，應(yīng)進(jìn)行更換。 RTS8型四探針測試儀用戶手冊文件編號ZKNT/GL檢測室01版本／版次A／O生效日期制 訂審 核核 準(zhǔn)1.　概述RTS8型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。儀器由主機(jī)、探針測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由四探針測試儀主機(jī)直接顯示，亦可與計算機(jī)相連接通過四探針軟件測試系統(tǒng)控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。2.　技　術(shù)　指　標(biāo) 測量范圍　 電阻率：104～；　 方塊電阻：103～106Ω/□；電阻：104～105Ω；電導(dǎo)率：105～104s/cm；可測晶片直徑：140mmX150mm (配S2A型測試臺)； 200mmX200mm (配S2B型測試臺)； 400mmX500mm (配S2C型測試臺)； 恒流源電流量程分為 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)； 數(shù)字電壓表　 量程及表示形式：～；　　　　　 分辨力：10μV；輸入阻抗：＞1000MΩ； 精度：177。%；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；　　 四探針探頭基本指標(biāo)間距：1177。；針間絕緣電阻: ≥1000MΩ；機(jī)械游移率: ≤％；探針：碳化鎢或高速鋼材質(zhì)，；探針壓力：5～16 牛頓(總力)； 四探針探頭應(yīng)用參數(shù)見探頭附帶的合格證，合格證含三參數(shù)項：C：探針系數(shù)； F：探針間距修正因子； S：探針平均間距； 模擬電阻測量相對誤差（按 JJG50887 進(jìn)行）、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤％177。１字； 整機(jī)測量最大相對誤差 (用硅標(biāo)樣片: 測試)≤177。5％； 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5％； 外型尺寸（大約）電氣主機(jī): 460mm320mm100mm；S2A型測試臺: 190mm140mm260mm；S2B型測試臺: 300mm210mm400mm；S2C型測試臺: 500mm400mm350mm； 儀器重量（大約）電氣主機(jī): ；S2A型測試臺: 2kg；S2B型測試臺: ；S2C型測試臺: 4kg； 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境溫度:：23177。2℃；相對濕度：≤65％；無高頻干擾；無強(qiáng)光直射；*.注意:使用1μA量程時，%時使用。3．測 量　原　理將四根排成一條直線的探針以一定的壓力垂直地壓在被測樣品表面上，在 4 探針間通以電流 I(mA)，3 探針間就產(chǎn)生一定的電壓 V(mV)(如圖1)。測量此電壓并根據(jù)測量方式和樣品的尺寸不同，可分別按以下公式計算樣品的電阻率、方塊電阻、電阻：↓V1234↑ ①. 薄圓片(厚度≤4mm)電阻率： F（D/S）╳ F（W/S）╳ W ╳ Fsp Ωcm …(1)其中：D—樣品直徑，單位：cm或mm，注意與探針間距S單位一致；S—平均探針間距，單位：cm或mm，注意與樣品直徑D單位一致(四探針頭合格證上的S值)；W—樣品厚度，單位：cm，在F(W/S)中注意與S單位一致；Fsp—探針間距修正系數(shù)(四探針頭合格證上的F值)；F(D/S)—樣品直徑修正因子。當(dāng)D→∞時，F(xiàn)(D/S)=，有限直徑下的F(D/S)由附表B查出：F(W/S)—樣品厚度修正因子。W/S，F(xiàn)(W/S)=1；W/S，F(xiàn)(W/S)值由附表C查出；I—4探針流過的電流值，()；V—3探針間取出的電壓值，單位mV；②. 薄層方塊電阻Ｒ□：Ｒ□＝ F（D/S）╳F（W/S）╳ Fsp Ω/□ …(2)其中：D—樣品直徑，單位：cm或mm，注意與探針間距S單位一致；S—平均探針間距，單位：cm或mm，注意與樣品直徑D單位一致(四探針頭合格證上的S值)；W—樣品厚度，單位：cm，在F(W/S)中注意與S單位一致；Fsp—探針間距修正系數(shù)(四探針頭合格證上的F值)；F(D/S)—樣品直徑修正因子。當(dāng)D→∞時，F(xiàn)(D/S)=，有限直徑下的F(D/S)由附表B查出：F(W/S)—樣品厚度修正因子。W/S，F(xiàn)(W/S)=1；W/S，F(xiàn)(W/S)值由附表C查出；I—4探針流過的電流值，()；V—3探針間取出的電壓值，單位mV；①雙面擴(kuò)散層方塊電阻Ｒ□可按無窮大直徑處理，此時F(D/S)=，由于擴(kuò)散層厚度W遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于探針間距，故F(W/S)=1，此時Ｒ□=②單面擴(kuò)散層、離子注入層、反型外延層方塊電阻此時F(D/S)值應(yīng)根據(jù)D/S值從附表C中查出。另外由于擴(kuò)散層、注入層厚度W遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于探針間距，故F(W/S)=1，此時有Ｒ□＝ F（D/S）Fsp③. 棒材或厚度大于 4mm 的厚片電阻率ρ：當(dāng)探頭的任一探針到樣品邊緣的最近距離不小于 4S 時，測量區(qū)的電阻率為： Ωcm …(3)其中：C＝2πS為探針系數(shù)，單位：cm (四探針頭合格證上的C值)；S 的取值來源于:1/S=（1/S1 +1/S3 –1/(S1+S3) –1/(S2+S3)），S1為(12)針、S2為(23)針、S3 為(34)針的間距，單位：cm；I—4探針流過的電流值，單位mA,()；V—3探針間取出的電壓值，單位mV；④. 電阻的測量：應(yīng)用恒流測試法，電流由樣品兩端流入同時測量樣品兩端壓降。樣品的電阻為： Ω …(3)其中：I—樣品兩端流過的電流值，單位mA,()；V—樣品兩端取出的電壓值，單位mV； 儀器電氣原理如下圖所示220V電源濾波(一)濾波穩(wěn)壓(二)恒流電流選檔換向控制樣品測試A/D轉(zhuǎn)換顯示并行通訊接口計算機(jī)顯示器打印機(jī)4．儀　器　面 板　說　明 RTS8型四探針測試儀主要由主機(jī)(電氣測量裝置)、測試臺、計算機(jī)組成，三部分獨(dú)立放置，通過連接線聯(lián)接。該四探針測試儀亦可脫離計算機(jī)單獨(dú)使用。儀表前面板說明W2W1UK1K2K3K4K5LPK10K9K8K7K6項目說明K1,K2,K3,K4,K5,K6測量電流量程選擇按鍵，共6個量程,當(dāng)按相應(yīng)的量程時，此量程按鈕上方的指示燈會亮。K7“R□ /ρ”測量選擇按鍵，即是測量樣品的方塊電阻還是電阻率的選擇按鍵，開機(jī)時自動設(shè)置在“Ｒ□ ”位。按下此按鍵會在這兩種測量狀態(tài)下切換，按鍵上方的相應(yīng)的指示燈會亮表示現(xiàn)處的測量類別。K8“電流/測量“方式選擇按鍵，開機(jī)時自動設(shè)置在“I”位；按下此按鍵會在這兩種模式下切換，按鍵上方的相應(yīng)的指示燈會亮表示現(xiàn)處的狀態(tài)。即當(dāng)處在“I”時表示數(shù)據(jù)顯示屏顯示的是樣品測量電流值，用戶可根據(jù)測量樣品調(diào)節(jié)量程按鍵或電位器獲得適合樣品測量的電流。當(dāng)在“ρ/ R□”時表示現(xiàn)處于測量模式下，數(shù)據(jù)顯示屏顯示的是方塊電阻或電阻率的測量值。K9電流換向按鍵，按鍵上方的燈亮?xí)r表示反向。滅時表示正向。K10低阻測試擴(kuò)展按鍵(只在10