電子光學(xué)基礎(chǔ)ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-13 09:12 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 成 ?角，并與軸交于 O’點。 ?有極靴的透鏡極靴使得磁場被聚焦在極靴上下的間隔 h內(nèi)， h可以小到 1mm左右。在此小的區(qū)域內(nèi)，場的徑向分量是很大的。計算透鏡焦距 f的近似公式為： 電子顯微鏡可以提供放大了的像，電子波長又非常短，人們便自然地把電子顯微鏡視為彌補光學(xué)顯微鏡不足的有利工具。 E加速電壓； S極靴孔徑； I通過線圈的電流強度； N線圈每厘米長度上的圈數(shù)； F透鏡的結(jié)構(gòu)系數(shù) ? ? 24 8 . 4 ESfFIN?O z 圖 14 帶鐵殼的帶極靴的透鏡 O’ 有極靴 B（ z） 沒有極靴 無鐵殼 z 圖 73 磁感應(yīng)強度分布圖 電磁透鏡也存在缺陷，使得實際分辨距離遠小于理論分辨距離，對電鏡分辨本領(lǐng)起作用的象差有 幾何象差（球差、象散等）和色差 。 ?幾何象差是因為透鏡磁場幾何形狀上的缺陷而造成的 ； ?色差是由于電子波的波長或能量發(fā)生一定幅度的改變而造成的 。 三 . 電子透鏡的像差與分辨本領(lǐng) (一 ) 球差 ?定義 ： 球差是由于電子透鏡的中心區(qū)域和邊沿區(qū)域?qū)﹄娮拥臅勰芰Σ煌斐傻?。 ?成因 ：遠軸的電子通過透鏡折射得比近軸電子要厲害的多，以致兩者不交在一點上，結(jié)果在像平面成了一個漫散圓斑，半徑為 還原到物平面，則 為球差系數(shù)。 為孔徑角，透鏡分辨本領(lǐng)隨 增大而迅速變壞。 ?減小措施 ：減小 ；縮小 314S M sr M C ??sC?314SMssrrCM ???sC ?α P’ 像 P’’ 透鏡 物 P 光軸 ?定義 ： 由于透鏡的磁場周向不對稱所引起的一種像差。 ?成因 ： 磁場不對稱時，就出現(xiàn)像散 。有的方向電子束的折射比別的方向強， 如圖 所示，在 A平面運行的電子束聚焦在 PA點，而在 B平面運行的電子聚焦在 PB點，依次類推。這樣，圓形物點的象就變成了橢圓形的漫散圓斑，其平均半徑為 還原到物平面 為象散引起的最大焦距差； 透鏡磁場不對稱，可能是 由于極靴被污染，或極靴的機械不對稱性，或極靴材料各向磁導(dǎo)率差異引起 。 ?減小措施 ：減小 和 ； 像散可由附加磁場的電磁消像散器來校正 。 (二 ) 像散
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