表面粗糙度測(cè)量ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-11 10:46 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 10， 被 10反射又回到分光 鏡 7， 再由 7經(jīng)聚 11到反射鏡 16， 由 16進(jìn)入 目鏡 12；另一束光線向上通過物鏡 6， 投射 到 被測(cè)零 件表 面 ， 由被測(cè) 表面反射 回來 通 過分光鏡 聚光鏡 1 1到反射鏡 16， 由 1 6 反射也進(jìn)入目 12。 在目鏡 12的視場(chǎng)內(nèi)可觀 察 到 這 兩 束 光 線 因 光 程 差 而 形 成 的 干 涉 帶 圖形 ， 若 被 測(cè) 表 面 粗 糙 不 平 ， 干 涉 帶 即 成 彎 曲 形 狀 如 圖 。 由 測(cè) 微 目 鏡 可 讀 出 相 鄰 兩 二干涉帶距離 a以及干涉帶彎曲高度 b。 由 于 光 程 差 每 增 加 半 個(gè) 波 長(zhǎng) ， 即 形 成 一 條 干 涉帶，故被測(cè)表面微觀不平度的實(shí)際高度為 式中： λ為光波波長(zhǎng)。 圖４－２－６干涉顯微鏡測(cè)量原理 1一光源； 2， 11， 15一聚光鏡； 3一濾色片； 4一光闌； 5一透鏡； 6， 9物鏡； 7一分光鏡；8一補(bǔ)償鏡； 10， 14， 16一反射鏡； 12一目鏡；13一透光窗 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測(cè)量 ２．干涉法的特點(diǎn)： 所用儀器為干涉顯微鏡，可測(cè) 參數(shù) Rz、 Ry，具有較大的放大倍數(shù)． 測(cè)量范圍：（１～０．０３ 181。m） 適用于測(cè)量不規(guī)則表面（如磨削等 加工表面），被測(cè)件不應(yīng)太大且具有 反射能力，最適用于量塊表面粗糙度 的測(cè)量．屬于非接觸測(cè)量． 圖 ４－１－７ ６ J型干涉顯微鏡 第四章 表面粗糙度及表面微觀形貌測(cè)量 四．觸針法與電動(dòng)輪廓儀 １．觸針法的測(cè)量原理： 如圖所示：傳感器一端一個(gè)很尖的觸針（半徑可做到微米級(jí)的金剛石針尖）垂直安置在被測(cè)表面上作橫向移動(dòng)，將縱向微小的位移通過傳感器轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再經(jīng)測(cè)量電路放大、調(diào)理處理、計(jì)算、即可以在顯示器上讀出工件的表面粗糙度值，也可通過記錄器描繪出表面輪廓圖形 圖４－２－８觸針法
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1